一种开放式晶圆匣搬运车制造技术

本实用新型专利技术公开一种开放式晶圆匣搬运车，涉及开放式晶圆匣搬运设备技术领域，以解决开放式晶圆匣搬运效率低的问题。所述开放式晶圆匣搬运车一种开放式晶圆匣搬运车，包括主体结构，主体结构上设置有用于承载开放式晶圆匣的承载结构、用于实现开放式晶圆匣移送/释放动作的执行机构以及用于实现主体结构移动的行走机构，执行机构包括夹紧组件和驱动夹紧组件运动的驱动装置，驱动装置驱动夹紧组件运动靠近或远离开放式晶圆匣，夹紧组件用于夹紧或松开开放式晶圆匣，所述开放式晶圆匣搬运车用于搬运开放式晶圆匣。搬运开放式晶圆匣。搬运开放式晶圆匣。

【技术实现步骤摘要】
一种开放式晶圆匣搬运车


[0001]本技术涉及开放式晶圆匣搬运设备
，尤其涉及一种开放式晶圆匣搬运车。

技术介绍

[0002]开放式晶圆匣(Open Cassette)是半导体一种常用的晶圆临时存储装置，其周向具有开口，以便于晶圆的存取。在晶圆的加工运输过程中，通常需要利用开放式晶圆匣将晶圆搬运至不同位置，目前常采用人工搬运的方式搬用开放式晶圆匣，但人工搬运耗时耗力，影响开放式晶圆匣的搬运效率，导致开放式晶圆匣搬运不方便。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种开放式晶圆匣搬运车，以提高开放式晶圆匣的搬运效率，使得开放式晶圆匣搬运更加方便。
[0004]为了实现上述目的，本技术提供一种开放式晶圆匣搬运车，包括主体结构，主体结构上设置有用于承载开放式晶圆匣的承载结构、用于实现开放式晶圆匣移送/释放动作的执行机构以及用于实现主体结构移动的行走机构，执行机构包括夹紧组件和驱动夹紧组件运动的驱动装置，驱动装置驱动夹紧组件运动靠近或远离开放式晶圆匣，夹紧组件用于夹紧或松开开放式晶圆匣。
[0005]采用上述技术方案的情况下，主体结构上设置有用于承载开放式晶圆匣的承载结构和用于实现开放式晶圆匣移送/释放动作的执行机构，执行机构包括夹紧组件和驱动夹紧组件运动的驱动装置；采用这种结构，驱动装置可以驱动夹紧组件运动靠近开放式晶圆匣，夹紧组件可以运动夹紧开放式晶圆匣，当开放式晶圆匣被夹紧后，驱动装置可以带动夹紧组件运动至指定搬运位置，实现执行机构的移送动作；当开放式晶圆匣放置时，夹紧组件可以运动松开开放式晶圆匣，驱动装置可以驱动夹紧组件运动远离开放式晶圆匣，实现开放式晶圆匣的释放动作，从而可以通过驱动装置与夹紧组件配合搬运开放式晶圆匣，采用开放式晶圆匣搬运车搬运开放式晶圆匣时，相对于现有技术中人工搬运省时省力，能够提高开放式晶圆匣的搬运效率，使得开放式晶圆匣搬运更加方便；另外，主体结构上还设置有用于实现主体结构移动的行走机构，通过行走机构可以控制开放式晶圆匣搬运车移动，使得开放式晶圆匣能够实现远距离搬运。
[0006]在一些可能的实现方式中，夹紧组件包括定心抓手，定心抓手包括驱动器本体和两个夹爪，驱动器本体驱动两个夹爪相向运动实现夹紧，或者驱动两个夹爪相背运动实现张开。如此设置，通过驱动器本体驱动两个夹爪运动实现夹紧或张开，使得夹紧组件能够夹紧或松开开放式晶圆匣，保证开放式晶圆匣运动时的稳定性。
[0007]在一些可能的实现方式中，开放式晶圆匣两侧相对设置有两个边肋，两个夹爪的端部均设置有卡件，卡件和边肋其中一个上设置有卡销，另一个上设置有卡槽；
[0008]两个夹爪夹紧开放式晶圆匣时，两个夹爪的卡件分别夹紧在两个边肋上，卡销与
卡槽插接配合。如此设置，通过卡销与卡槽插接配合，能够使开放式晶圆匣夹紧后更加稳定。
[0009]在一些可能的实现方式中，卡件和边肋至少一个上设置有保护垫；两个夹爪夹紧开放式晶圆匣时，保护垫位于卡件和边肋之间。如此设置，通过保护垫对卡件和边肋进行保护，能够防止卡件和边肋碰撞后发生破损或刮伤。
[0010]在一些可能的实现方式中，夹紧组件还包括图像采集设备，图像采集设备用于采集开放式晶圆匣的图像。如此设置，当图像采集设备采集到开放式晶圆匣的图像后，工作人员或控制装置可以控制夹紧组件夹紧开放式晶圆匣，提高开放式晶圆匣搬运车的自动化程度。
[0011]在一些可能的实现方式中，夹紧组件还包括用于提供光源以便于图像采集设备采集图像的光源组件。如此设置，通过光源组件提高环境光亮，便于图像采集设备采集开放式晶圆匣的图像。
[0012]在一些可能的实现方式中，主体结构包括电池安装口和用于安装定位电池的电池辊道组件，电池辊道组件包括两个座体和多个相互平行设置的滚柱，滚柱的两端分别与两个座体转动连接；电池安装时，电池从电池安装口放置于电池辊道组件上，并通过多个滚柱输送至指定位置。如此设置，通过多个滚柱输送电池，使得电池安装时更加方便。
[0013]在一些可能的实现方式中，多个滚柱沿电池的输送方向倾斜分布，且靠近电池安装口一侧的滚柱高度高于远离电池安装口一侧的滚柱高度。如此设置，能够使电池安装后更加稳定。
[0014]在一些可能的实现方式中，承载结构包括用于承载开放式晶圆匣的托盘，托盘安装在主体结构上且托盘和主体结构之间设置有缓冲垫，托盘上设置有四个用于定位开放式晶圆匣的定位块。如此设置，能够使开放式晶圆匣定位更加精确。
[0015]在一些可能的实现方式中，主体结构包括底座结构，行走机构安装于底座结构上，行走机构包括驱动轮组和减震组件；
[0016]驱动轮组包括行走轮和固定在行走轮一端面的安装板；
[0017]减震组件包括第二弹簧、固定于底座结构的轴承组件和弹簧压板，以及沿垂直于安装板端面的方向上设置的两个限位块，轴承组件包括轴承座和轴承；
[0018]安装板的第一端沿垂直于其端面方向延伸有定位轴，定位轴固定在轴承内，安装板的第二端沿垂直于其端面方向延伸有弹簧座，第二弹簧安装在弹簧座和弹簧压板之间，行走轮位于安装板的第一端和第二端之间，且安装板的第二端位于两个限位块之间。如此设置，通过减震组件对驱动轮组进行减震，可以进一步提高开放式晶圆匣搬运车的平稳性能，防止开放式晶圆匣放置移送时掉落。
[0019]在一些可能的实现方式中，主体结构包括底座结构，底座结构外周设置有防撞条，主体结构上还设置有保护罩、散热风扇、警示灯、扬声器、激光障碍物传感器以及二维激光雷达传感器。如此设置，可以提高开放式晶圆匣搬运车的安全性能。
附图说明
[0020]此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的
不当限定。在附图中：
[0021]图1为本技术中搬运车的示意图；
[0022]图2为本技术中底座结构的剖视图；
[0023]图3为本技术中底座主体的俯视图；
[0024]图4为本技术中底座主体的仰视图；
[0025]图5为本技术中行走机构的示意图一；
[0026]图6为本技术中行走机构的示意图二；
[0027]图7为本技术中底座结构的示意图；
[0028]图8为本技术中上装结构的后视图；
[0029]图9为本技术中上装结构的侧视图；
[0030]图10为本技术中上装结构的主视图；
[0031]图11为本技术中上装结构的示意图；
[0032]图12为本技术中电池辊道组件的示意图；
[0033]图13为本技术中夹紧组件和开放式晶圆匣的示意图一；
[0034]图14为本技术中夹紧组件和开放式晶圆匣的示意图二。
[0035]附图标记：
[0036]1‑
主体结构，11
‑
上装结构，111本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种开放式晶圆匣搬运车，包括主体结构，所述主体结构上设置有用于承载开放式晶圆匣的承载结构、用于实现开放式晶圆匣移送/释放动作的执行机构以及用于实现所述主体结构移动的行走机构，其特征在于，所述执行机构包括夹紧组件和驱动所述夹紧组件运动的驱动装置，所述驱动装置驱动所述夹紧组件运动靠近或远离所述开放式晶圆匣，所述夹紧组件用于夹紧或松开所述开放式晶圆匣。2.根据权利要求1所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述夹紧组件包括定心抓手，所述定心抓手包括驱动器本体和两个夹爪，所述驱动器本体驱动两个所述夹爪相向运动实现夹紧，或者驱动两个所述夹爪相背运动实现张开。3.根据权利要求2所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述开放式晶圆匣两侧相对设置有两个边肋，两个所述夹爪的端部均设置有卡件，所述卡件和所述边肋其中一个上设置有卡销，另一个上设置有卡槽；两个所述夹爪夹紧所述开放式晶圆匣时，两个所述夹爪的卡件分别夹紧在两个所述边肋上，所述卡销与所述卡槽插接配合。4.根据权利要求3所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述卡件和所述边肋至少一个上设置有保护垫；两个所述夹爪夹紧所述开放式晶圆匣时，所述保护垫位于所述卡件和所述边肋之间。5.根据权利要求2所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述夹紧组件还包括图像采集设备，所述图像采集设备用于采集所述开放式晶圆匣的图像。6.根据权利要求5所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述夹紧组件还包括用于提供光源以便于图像采集设备采集图像的光源组件。7.根据权利要求1所述的开放式...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟勇，张泉伟，刘星宇，
申请(专利权)人：广东长虹智能制造技术有限公司，
类型：新型
国别省市：