外谐振腔半导体激光器及其制造方法技术

技术编号:3314007 阅读:303 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种用于外谐振腔单模式激光器的设计,其中用于光谐振腔(例如,~3-25mm)的短光学路径长度提供允许单波长选择元件例如微加工标准具的纵向模式的足够空间,以便提供单一模式操作和可选的可选择操作模式。(*该技术在2024年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般涉及光耦合到外部光学谐振腔的激光器,并且本专利技术特别涉及一种能够通过从一组离散的发射波长中选择出特定发射波长来进行调谐的激光二极管,其特征在于耦合的激光器和外部光学谐振腔。更具体地,本专利技术涉及在外谐振腔激光器系统中使用的、以选择所需激光发射模式的微加工Fabry-Perot标准具(etalons),经证明可用在波分多路复用(WDM)光纤通讯系统中。
技术介绍
光纤通讯系统、例如无线通讯中普遍采用的那些光纤通讯系统由三个基本元件组成发射机/光源,光纤链路或信道,以及探测器/接收机。如果采用激光器-与发光二极管(LED)相对-作为光源,对于数据传输容量、速度和距离,这种系统取得了绝对优势;并且如果具体地采用半导体激光二极管作为发射机光源,对于成本、紧凑性、可靠性和功耗就会进一步有利。虽然激光器名义上是单色光源,事实上,激光器通常产生几种发射波长(称为模式)的光,除非采取抑制所有模式而不是一种模式的步骤,在该情况下激光器称为单模式激光器。这种单模式激光器由于减少散射损耗而可在光纤系统中提供优越性能,其依然具有较高的数据速度和较长的传输距离。通过波分多路复用技术(WD本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制造微加工标准具的方法,包括:    提供具有第一和第二相对表面的晶体衬底;    在该衬底的第一表面之上提供间隔层,该间隔层具有一个外表面;    形成一个从第一表面延伸穿过该衬底直到第二表面的通孔,该通孔具有与该间隔层的暴露部分相邻的基底;以及    在该间隔层的该外表面之上提供第一干涉滤光片并在该间隔层的该暴露部分之上提供第二干涉滤光片,以便在干涉滤光片之间提供标准具。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:大卫W沙拉罗辉
申请(专利权)人:罗姆和哈斯电子材料有限责任公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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