谐振器以及谐振器的谐振频率调控方法技术

本发明专利技术公开了一种谐振器以及一种谐振器的谐振频率调控方法，该谐振频率调控方法包括：提供一谐振器，其中，谐振器包括压电层和多个电极层；根据预期的谐振频率要求，在谐振器表面形成多层分子薄膜，其中，多层分子薄膜用于对谐振器的谐振频率进行调整。本发明专利技术通过在谐振器表面形成多层分子薄膜，并能够通过形成的多层分子薄膜简单有效的实现对谐振器谐振频率的调控，同时又能够节省成本，并提高频率调控的精度；此外，本发明专利技术通过对谐振器表面进行等离子处理，使多层分子薄膜在谐振器表面得到了选择性的沉积，避免了加工后的谐振器对键合线连接的影响。

【技术实现步骤摘要】
谐振器以及谐振器的谐振频率调控方法
本专利技术涉及半导体领域，具体来说，涉及一种谐振器，以及一种谐振器的谐振频率调控方法。
技术介绍
随着通讯技术的快速发展，通讯设备的中心频率有了大幅提升，因此，通讯系统对选频器件——滤波器的性能、尺寸等诸多方面也有了更高的要求，并且，通讯系统的小型化以及集成化也已经成为了系统发展的必然趋势。然而，对于现有的传统滤波器来说，当通讯系统的中心频率提升到足够高时，例如中心频率达到千兆赫兹以上，那么由于其自身性能等原因的限制，现有的传统滤波器显然并不能够满足通讯系统集成化和小型化的需求。因此，为了克服传统滤波器的上述缺陷，市场上开发出了多种新型的滤波器，例如薄膜体声波谐振器滤波器，而由于新型滤波器具有体积小、品质因数高、工作频率高以及与半导体工艺兼容性高的诸多优点，使其在通讯领域有着更加广阔的市场前景。那么，就薄膜体声波谐振器滤波器而言，它是通过对多个薄膜体声波谐振器进行串联和并联所形成的拓扑结构来实现对信号的滤波的，因此，滤波器中谐振器的谐振频率直接影响着滤波器的通带位置，也就是说，谐振器的谐振频率对滤波器的滤波效果有着直接的影响。因此，为了使新型滤波器的滤波效果更好，在传统的谐振器工艺中，主要是通过改变谐振器表面的质量负载的厚度来实现对谐振器谐振频率的调控的，也就是说，现有技术是通过采用半导体工艺中传统的沉积、光刻以及刻蚀等方法来实现对谐振器谐振频率的调控。但是，对于上述传统的谐振器谐振频率的调控方法，普遍是存在着调控成本高、时间长，以及操作复杂和调控精度低的问题，此外，由于在上述传统调控过程中需要用到光刻胶、刻蚀液等化学制剂，因此，其也会对操作人员和环境带来一定的危害。而针对相关技术中在对谐振器的谐振频率进行调控时，所存在的调控时间长、成本高、操作复杂和调控精度低等问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
针对相关技术中在对谐振器的谐振频率进行调控时，所存在的调控时间长、成本高、操作复杂和调控精度低的问题，本专利技术提出一种谐振器以及一种谐振器的谐振频率调控方法，能够在谐振器表面通过形成多层分子薄膜的方式实现对谐振器谐振频率的调控，同时又能够节省成本，并提高频率调控的精度。本专利技术的技术方案是这样实现的：根据本专利技术的一个方面，提供了一种谐振器的谐振频率调控方法。该谐振频率调控方法包括：提供一谐振器，其中，谐振器包括压电层和多个电极层；根据预期的谐振频率要求，在谐振器表面形成多层分子薄膜，其中，多层分子薄膜用于对谐振器的谐振频率进行调整。其中，在谐振器表面形成多层分子薄膜时，可通过分子自组装技术，在谐振器表面形成多层分子薄膜。其中，实现分子自组装的方式可包括以下至少之一：将聚丙烯胺盐酸盐或丙烯胺盐酸盐，与聚丙烯酸进行组装；将聚乙烯亚胺与聚丙烯酸进行组装；将多聚赖氨酸与透明质酸进行组装；将聚苯乙烯磺酸盐或苯乙烯磺酸盐，与聚丙烯胺盐酸盐或丙烯胺盐酸盐进行组装；将聚二烯丙基二甲基氯化铵或二烯丙基二甲基氯化铵，与聚苯乙烯磺酸盐或苯乙烯磺酸盐进行组装；将丹宁酸与聚乙烯吡咯烷酮进行组装；将丹宁酸与聚N-乙烯基己内酰胺进行组装；将丹宁酸和聚N-异丙基丙烯酰胺进行组装；将聚4-乙烯吡啶或4-乙烯吡啶，与聚丙烯酸进行组装。此外，在谐振器表面形成多层分子薄膜时，可通过不同的多种溶液对谐振器分别进行沉积处理的方式，使不同的多种溶液在没有外力的作用下，通过多种溶液之间分子的相互作用力在谐振器表面形成多层分子薄膜。其中，沉积处理的方式包括以下至少之一：通过溶液浸泡的方式；通过旋转涂抹的方式。此外，在对谐振器的谐振频率进行调整时，调整的对象可包括以下至少之一：每种溶液的浓度；每种溶液的氢离子活度指数(PH)值；每种溶液在谐振器表面沉积的时间；对谐振器进行溶液的沉积处理的次数。其中，溶液可以是由有机物溶液组成，也可以是由无机物溶液组成，并且，不同的多种溶液可以由两种或两种以上的有机物溶液组成，也可以由两种或两种以上的无机物溶液组成。并且，多种溶液之间分子的相互作用力可以包括以下至少之一：有机物分子之间的静电作用；有机物分子之间的氢键作用；有机物分子之间的配位键作用；无机物分子之间的相互作用；无机物之间修饰的官能团的相互作用，其中，对无机物预先完成官能团修饰。此外，在谐振器表面形成多层分子薄膜之前，该谐振频率调控方法进一步包括：通过对谐振器进行官能团修饰，使谐振器的表面形成化学官能团；并且，与之相对应的，在谐振器表面形成多层分子薄膜时，可在已形成有化学官能团的谐振器的表面形成多层分子薄膜，其中，可以使化学官能团与多层分子薄膜实现分子自组装。其中，在对谐振器进行官能团修饰之前，该谐振频率调控方法进一步包括：通过对谐振器进行等离子处理，使谐振器表面形成羟基；并且，与之相对应的，在对谐振器进行官能团修饰时，可在已形成有羟基的谐振器的表面进行官能团修饰。其中，官能团修饰的方式可包括以下至少之一：化学气相沉积；湿法化学的方式。此外，在谐振器表面形成多层分子薄膜之前，该谐振频率调控方法进一步包括：通过对谐振器进行等离子处理，使谐振器表面形成羟基；并且，与之相对应的，在谐振器表面形成多层分子薄膜时，可在已形成有羟基的谐振器的表面形成多层分子薄膜，使羟基与多层分子薄膜实现分子自组装。根据本专利技术的另一方面，提供了一种谐振器。该谐振器包括：第一电极；压电层，其中，压电层的至少一部分安置在第一电极上方；第二电极，其中，第二电极的至少一部分安置在压电层上方；一表面，第一电极、压电层和第二电极均位于表面的下方；多层分子薄膜，位于表面的上方，其中，多层分子薄膜用于对谐振器的谐振频率进行调整。其中，多层分子薄膜可通过分子自组装技术来形成，并且，分子自组装的方式可包括以下至少之一：将聚丙烯胺盐酸盐或丙烯胺盐酸盐，与聚丙烯酸进行组装；将聚乙烯亚胺与聚丙烯酸进行组装；将多聚赖氨酸与透明质酸进行组装；将聚苯乙烯磺酸盐或苯乙烯磺酸盐，与聚丙烯胺盐酸盐或丙烯胺盐酸盐进行组装；将聚二烯丙基二甲基氯化铵或二烯丙基二甲基氯化铵，与聚苯乙烯磺酸盐或苯乙烯磺酸盐进行组装；将丹宁酸与聚乙烯吡咯烷酮进行组装；将丹宁酸与聚N-乙烯基己内酰胺进行组装；将丹宁酸和聚N-异丙基丙烯酰胺进行组装；将聚4-乙烯吡啶或4-乙烯吡啶，与聚丙烯酸进行组装。此外，该谐振器可以是薄膜体声波谐振器，也可以是声表面波谐振器，还可以是轮廓模式谐振器。另外，压电层的组成材料可选自包括以下材料的组：氧化锌、氮化铝。可选的，该谐振器进一步包括：界定空腔的衬底；种子层，安置在衬底上方，并且种子层的至少一部分安置在衬底中的空腔上方；并且，第一电极安置在种子层上方。其中，衬底为硅衬底。并且，种子层的组成材料可选自包括以下材料的组：氮化铝材料。另外，该谐振器还可包括：钝化层，用于实现谐振器的电学绝缘，并防止谐振器被氧化；金薄膜，用于实现谐振器与外围印制电路板(PCB)金线的键合；其中，钝化层和金薄膜均位于第一电极、压电层和第二电极以外，并且，多层分子薄膜形成于钝化层的外表面。并且，钝化层的组成材料可选自包括以下材料的组：氮化铝材料、硅材料、二氧化硅材料、石英材料。本专利技术根据预期的谐振频率要求，通过在谐振器表面形成多层分子薄膜，并通过多层分子薄膜实现了对谐振器的谐振频率的调整。在完成对谐振器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种谐振器的谐振频率调控方法，其特征在于，包括：提供一谐振器，其中，所述谐振器包括压电层和多个电极层；根据预期的谐振频率要求，在所述谐振器表面形成多层分子薄膜，其中，所述多层分子薄膜用于对所述谐振器的谐振频率进行调整。

【技术特征摘要】
1.一种谐振器的谐振频率调控方法，其特征在于，包括：提供一谐振器，其中，所述谐振器包括压电层和多个电极层；根据预期的谐振频率要求，在所述谐振器表面形成多层分子薄膜，其中，所述多层分子薄膜用于对所述谐振器的谐振频率进行调整，并且通过在所述谐振器表面进行等离子处理，使所述多层分子膜沉积在所述谐振器表面的非焊盘区域位置上，不会沉积在金焊盘区域位置上。2.根据权利要求1所述的谐振频率调控方法，其特征在于，在所述谐振器表面形成多层分子薄膜包括：通过分子自组装技术，在所述谐振器表面形成多层分子薄膜。3.根据权利要求2所述的谐振频率调控方法，其特征在于，实现分子自组装的方式包括以下至少之一：将聚丙烯胺盐酸盐或丙烯胺盐酸盐，与聚丙烯酸进行组装；将聚乙烯亚胺与聚丙烯酸进行组装；将多聚赖氨酸与透明质酸进行组装；将聚苯乙烯磺酸盐或苯乙烯磺酸盐，与聚丙烯胺盐酸盐或丙烯胺盐酸盐进行组装；将聚二烯丙基二甲基氯化铵或二烯丙基二甲基氯化铵，与聚苯乙烯磺酸盐或苯乙烯磺酸盐进行组装；将丹宁酸与聚乙烯吡咯烷酮进行组装；将丹宁酸与聚N-乙烯基己内酰胺进行组装；将丹宁酸和聚N-异丙基丙烯酰胺进行组装；将聚4-乙烯吡啶或4-乙烯吡啶，与聚丙烯酸进行组装。4.根据权利要求1所述的谐振频率调控方法，其特征在于，在所述谐振器表面形成多层分子薄膜包括：通过不同的多种溶液对所述谐振器分别进行沉积处理，使所述不同的多种溶液在没有外力的作用下，通过多种溶液之间分子的相互作用力在所述谐振器表面形成多层分子薄膜。5.根据权利要求4所述的谐振频率调控方法，其特征在于，所述沉积处理的方式包括以下至少之一：通过溶液浸泡的方式；通过旋转涂抹的方式。6.根据权利要求4所述的谐振频率调控方法，其特征在于，在对所述谐振器的谐振频率进行调整时，调整的对象包括以下至少之一：每种溶液的浓度；每种溶液的氢离子活度指数PH值；每种溶液在所述谐振器表面沉积的时间；对所述谐振器进行溶液的沉积处理的次数。7.根据权利要求4所述的谐振频率调控方法，其特征在于，所述溶液包括有机物溶液或无机物溶液，并且，所述不同的多种溶液包括至少两种有机物溶液或至少两种无机物溶液。8.根据权利要求7所述的谐振频率调控方法，其特征在于，所述多种溶液之间分子的相互作用力包括以下至少之一：有机物分子之间的静电作用；有机物分子之间的氢键作用；有机物分子之间的配位键作用；无机物分子之间的相互作用；无机物之间修饰的官能团的相互作用，其中，对所述无机物预先完成官能团修饰。9.根据权利要求1所述的谐振频率调控方法，其特征在于，在所述谐振器表面形成多层分子薄膜之前，所述谐振频率调控方法进一步包括：对所述谐振器进行官能团修饰，使所述谐振器的表面形成化学官能团；并且，在所述谐振器表面形成多层分子薄膜包括：在已形成有化学官能团的所述谐振器的表面形成多层分子薄膜，其中，使所述化学官能团与所述多层分子薄膜实现分子自组装。10.根据权利要求9所述的谐振频率调控方法，其特征在于，在对所述谐振器进行官能团修饰之前，所述谐振频率调控方法进一步包括：对所述谐振器进行等离子处理，使所述谐...

【专利技术属性】
技术研发人员：段学欣，刘文朋，俞逸飞，庞慰，张浩，张代化，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：天津;12