一种高精度纳米压印光刻设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高精度纳米压印光刻设备，包括底座，所述第二蜗杆啮合连接有斜齿轮，所述斜齿轮顶端安装有螺纹筒，且螺纹筒顶端连接有轴承座，所述螺纹筒内部螺旋连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆底端安装有固定块，且固定块底端安装有万向轮。本实用新型专利技术中，第一电机带动第一蜗杆转动，第一蜗杆转动时通过链轮和链条带动第二蜗杆进行同时转动，第一蜗杆带动斜齿轮转动，斜齿轮带动螺纹筒进行转动，螺纹筒螺旋带动第二螺纹杆进行转动，使第二螺纹杆进行旋转下降，从而带动万向轮进行下降，将万向轮推出底座，便于进行移动，不需要进行移动时，第一电机反转，将万向轮收纳在底座内部，使万向轮不用长期承受机器重量，便于长期使用。期使用。期使用。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度纳米压印光刻设备


[0001]本技术涉及纳米压印光刻机
，尤其涉及一种高精度纳米压印光刻设备。

技术介绍

[0002]压印本质上从本质上是一种印刷复制技术，是将模板进行大量复制的技术，压印技术加工技术根据图形尺寸的大小可分为纳米压印技术和模压技术，最初提出的纳米压印技术为热压印纳米技术和室温纳米压印技术。
[0003]现有的技术存在以下问题：
[0004]纳米压印光刻机经常被人们使用，但现有的一些纳米压印光刻机不方便进行移动，在移动时费时费力，不方便进行使用。
[0005]我们为此，提出了一种高精度纳米压印光刻设备解决上述弊端。

技术实现思路

[0006]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种高精度纳米压印光刻设备。
[0007]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种高精度纳米压印光刻设备，包括底座，所述底座内部安装有第一电机，且第一电机输出端连接有第一蜗杆，所述第一蜗杆表面焊接有链轮，且链轮表面安装有链条，所述第一蜗杆通过链轮、链条连接有第二蜗杆，所述第二蜗杆啮合连接有斜齿轮，所述斜齿轮顶端安装有螺纹筒，且螺纹筒顶端连接有轴承座，所述螺纹筒内部螺旋连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆底端安装有固定块，且固定块底端安装有万向轮，所述固定块表面安装有连接杆。
[0008]优选的，所述底座顶端安装有固定筒，且固定筒定顶端连接有顶板，所述顶板底端安装有纳米压印光刻机，所述顶板内部设置有第二电机，且第二电机输出端连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆表面螺旋连接有螺纹套，且螺纹套通过连接块连接有固定框，所述固定块顶端安装有风琴式防尘罩。
[0009]优选的，所述底座顶端安装有支撑杆，且支撑杆表面滑动连接有滑套，所述滑套通过连接块与固定框连接。
[0010]优选的，所述斜齿轮与螺纹筒固定连接，所述斜齿轮内部与第二螺纹杆不接触。
[0011]优选的，所述底座底端开设有开口槽，所述底座底端连接有橡胶垫。
[0012]优选的，所述万向轮设置有多组，且多组万向轮之间通过固定块、连接杆连接。
[0013]优选的，所述底座表面安装有控制面板。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是；
[0015]1、本技术，通过设置第一蜗杆、第二蜗杆、万向轮、斜齿轮、螺纹筒和第二螺纹杆的配合使用，便于对纳米压印光刻装置进行移动，通过第一电机带动第一蜗杆转动，第一蜗杆转动时通过链轮和链条带动第二蜗杆进行同时转动，第一蜗杆带动斜齿轮转动，斜齿
轮带动螺纹筒进行转动，螺纹筒螺旋带动第二螺纹杆进行转动，使第二螺纹杆进行旋转下降，从而带动万向轮进行下降，将万向轮推出底座，便于进行移动，不需要进行移动时，第一电机反转，将万向轮收纳在底座内部，使万向轮不用长期承受机器重量，便于长期使用，底座底端安装有橡胶垫，具有防滑减震作用。
[0016]2、本技术，通过设置风琴式防尘罩、第二电机、第一螺纹杆、螺纹套和固定框的配合使用，在纳米压印光刻装置不使用时，进行防尘保护，通过第二电机带动第一螺纹杆转动，第一螺纹杆螺旋带动螺纹套运动，使螺纹套带动固定框进行下降，固定框带动风琴式防尘罩进行展开，第二电机反转，带动固定框上升，将风琴式防尘罩收起，支撑杆和滑套起到导向作用。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0018]图1为本技术提出的一种高精度纳米压印光刻设备的结构示意图；
[0019]图2为本技术提出的一种高精度纳米压印光刻设备底座剖面示意图；
[0020]图3为本技术提出的一种高精度纳米压印光刻设备A放大示意图；
[0021]图4为本技术提出的一种高精度纳米压印光刻设备固定框示意图。
[0022]图例说明：
[0023]1、底座；2、第一电机；3、万向轮；4、开口槽；5、橡胶垫；6、第一蜗杆；7、连接杆；8、控制面板；9、支撑杆；10、滑套；11、风琴式防尘罩；12、纳米压印光刻机；13、顶板；14、第二电机；15、固定框；16、螺纹套；17、第一螺纹杆；18、链轮；19、链条；20、螺纹筒；21、第二蜗杆；22、轴承座；23、斜齿轮；24、第二螺纹杆；25、固定筒。
具体实施方式
[0024]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本技术进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
[0025]请参照图1
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4，一种高精度纳米压印光刻设备，包括底座1，所述底座1内部安装有第一电机2，且第一电机2输出端连接有第一蜗杆6，所述第一蜗杆6表面焊接有链轮18，且链轮18表面安装有链条19，所述第一蜗杆6通过链轮18、链条19连接有第二蜗杆21，所述第二蜗杆21啮合连接有斜齿轮23，所述斜齿轮23顶端安装有螺纹筒20，且螺纹筒20顶端连接有轴承座22，所述螺纹筒20内部螺旋连接有第二螺纹杆24，所述第二螺纹杆24底端安装有固定块，且固定块底端安装有万向轮3，所述固定块表面安装有连接杆7，斜齿轮23与螺纹筒20固定连接，所述斜齿轮23内部与第二螺纹杆24不接触，万向轮3设置有多组，且多组万向轮3之间通过固定块、连接杆7连接。
[0026]本实施方案中：通过设置第一蜗杆6、第二蜗杆21、万向轮3、斜齿轮23、螺纹筒20和第二螺纹杆24的配合使用，便于对纳米压印光刻装置进行移动，通过第一电机2带动第一蜗杆6转动，第一蜗杆6转动时通过链轮18和链条19带动第二蜗杆21进行同时转动，第一蜗杆6
带动斜齿轮23转动，斜齿轮23带动螺纹筒20进行转动，螺纹筒20螺旋带动第二螺纹杆24进行转动，使第二螺纹杆24进行旋转下降，从而带动万向轮3进行下降，将万向轮3推出底座1，便于进行移动，不需要进行移动时，第一电机2反转，将万向轮3收纳在底座1内部，使万向轮3不用长期承受机器重量，便于长期使用。
[0027]具体的，底座1顶端安装有固定筒25，且固定筒25定顶端连接有顶板13，所述顶板13底端安装有纳米压印光刻机12，所述顶板13内部设置有第二电机14，且第二电机14输出端连接有第一螺纹杆17，所述第一螺纹杆17表面螺旋连接有螺纹套16，且螺纹套16通过连接块连接有固定框15，所述固定块顶端安装有风琴式防尘罩11，底座1顶端安装有支撑杆9，且支撑杆9表面滑动连接有滑套10，所述滑套10通过连接块与固定框15连接。
[0028]本实施方案中：通过设置风琴式防尘罩11、第二电机14、第一螺纹杆17、螺纹套16和固定框15的配合使用，在纳米压印光刻装置不使用时，进行防尘保护，通过第二电机14带动第一螺纹杆17转动，第一螺纹杆17螺旋带动螺纹套本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度纳米压印光刻设备，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)内部安装有第一电机(2)，且第一电机(2)输出端连接有第一蜗杆(6)，所述第一蜗杆(6)表面焊接有链轮(18)，且链轮(18)表面安装有链条(19)，所述第一蜗杆(6)通过链轮(18)、链条(19)连接有第二蜗杆(21)，所述第二蜗杆(21)啮合连接有斜齿轮(23)，所述斜齿轮(23)顶端安装有螺纹筒(20)，且螺纹筒(20)顶端连接有轴承座(22)，所述螺纹筒(20)内部螺旋连接有第二螺纹杆(24)，所述第二螺纹杆(24)底端安装有固定块，且固定块底端安装有万向轮(3)，所述固定块表面安装有连接杆(7)。2.根据权利要求1所述的一种高精度纳米压印光刻设备，其特征在于，所述底座(1)顶端安装有固定筒(25)，且固定筒(25)定顶端连接有顶板(13)，所述顶板(13)底端安装有纳米压印光刻机(12)，所述顶板(13)内部设置有第二电机(14)，且第二电机(14)输出端连接有第一螺纹杆(17)，所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡胜，关成刚，黄豆，
申请(专利权)人：江西微瑞光学有限公司，
类型：新型
国别省市：