一种半自动匀胶机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半自动匀胶机，包括壳体，所述壳体内部焊接有隔板，且隔板底面的中心处紧固安装有离心电机。本实用新型专利技术中，通过控制面板开启离心电机，促使离心电机输出轴带动支撑盘传动，进而嵌入支撑盘的多个圆孔槽内的硅片离心转动，使得涂布于硅片表面的光刻胶均匀排布，而部分光刻胶在离心力的作用下脱离硅片抛出，直至附着在环状收集斗的延伸环上，实现多余光刻胶的收集，而通过按压连接柱，促使连接柱推动刮板脱离容纳槽，进而刮板脱离与磁块的吸附并深入收集斗内，促使支撑盘转动过程带动刮板刮动光刻胶，配合控制面板开启电热盘对收集斗进行加热，使得光刻胶由L型排胶管流入收取盒内，减少光刻胶的浪费以及对壳体内壁的污染。内壁的污染。内壁的污染。

【技术实现步骤摘要】
一种半自动匀胶机


[0001]本技术涉及半导体材料加工
，尤其涉及一种半自动匀胶机。

技术介绍

[0002]目前，在硅片加工中，需要将光刻胶涂布在硅片上，以满足硅片曝光的需要，其中，光刻胶为从厂家购买的成品负性光刻胶加二甲苯稀释剂进行调稀而成，由于硅片表面光刻胶胶液分布均匀度不高，需要通过匀胶机进行光刻胶的均匀涂布。
[0003]现有硅片匀胶机在使用过程中，由于硅片表面涂布的光刻胶往往较为充足，在匀胶机的传动机构带动硅片离心转动过程中，使得部分光刻胶由硅片的表面的甩出，进而附着在匀胶机内壁面，存在光刻胶和浪费以及增加匀胶机后期清理的负担。
[0004]我们为此，提出了一种半自动匀胶机解决上述弊端。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种半自动匀胶机。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种半自动匀胶机，包括壳体，所述壳体内部焊接有隔板，且隔板底面的中心处紧固安装有离心电机，所述离心电机的输出轴贯穿隔板固定连接有支撑盘，且支撑盘表面的边缘处开设有圆孔槽，所述支撑盘的外围设置有收集斗，且收集斗顶面的边缘处焊接有延伸环，并且收集斗的外壁面与壳体内壁焊接，所述隔板顶面的边缘处嵌设安装有电热盘，且电热盘与收集斗的底面贴合，所述离心电机一侧位于壳体内部活动安放有收取盒，且收取盒的上方设置有排胶管，所述排胶管的一端贯穿隔板与收集斗连通，所述支撑盘的侧面焊接有侧耳，且侧耳内穿插连接有连接柱，所述连接柱的底端焊接有刮板，所述支撑盘底面的边缘处对应刮板开设有容纳槽，且容纳槽内侧通过磁块与刮板吸附连接。
[0007]优选的，所述支撑盘顶面的中心处焊接有挡环，且挡环的外围环绕开设有多个圆孔槽，多个所述圆孔槽内粘接有橡胶环，且橡胶环内圈环绕设置有多个凸起。
[0008]优选的，所述收集斗为环状结构，且收集斗的内圈连通有L型结构的排胶管。
[0009]优选的，所述壳体下部表面对应收取盒开设有开口，所述收取盒的顶面开设有敞口，且收取盒的侧面焊接有圆柱型手柄。
[0010]优选的，所述壳体的顶面铰接有顶盖，且顶盖的表面嵌设安装有钢化玻璃。
[0011]优选的，所述壳体的外壁面设置有控制面板，且控制面板的输出端分别与离心电机和电热盘电性连接。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是；
[0013]1、本技术，通过控制面板开启离心电机，促使离心电机输出轴带动支撑盘传动，进而嵌入支撑盘的多个圆孔槽内的硅片离心转动，使得涂布于硅片表面的光刻胶均匀排布，而部分光刻胶在离心力的作用下脱离硅片抛出，直至附着在环状收集斗的延伸环上，
实现多余光刻胶的收集，而通过按压连接柱，促使连接柱推动刮板脱离容纳槽，进而刮板脱离与磁块的吸附并深入收集斗内，促使支撑盘转动过程带动刮板刮动光刻胶，配合控制面板开启电热盘对收集斗进行加热，使得光刻胶由L型排胶管流入收取盒内，减少光刻胶的浪费以及对壳体内壁的污染。
[0014]2、本技术，通过在支撑盘的顶面环绕开设有多个圆孔槽，且在多个圆孔槽内设置有橡胶环，当安放硅片时，通过将硅片置于圆孔槽内，促使硅片的侧面与橡胶环内圈环绕设置的多个凸起抵触，使得硅片紧密置于圆孔槽内，从而提升硅片放置的稳固性。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本技术提出的一种半自动匀胶机的内部结构示意图；
[0017]图2为本技术提出的一种半自动匀胶机的支撑盘俯视图；
[0018]图3为本技术提出的一种半自动匀胶机的收集斗切面图。
[0019]图例说明：
[0020]1、壳体；2、控制面板；3、隔板；4、离心电机；5、收取盒；6、开口；7、电热盘；8、顶盖；9、收集斗；10、支撑盘；11、容纳槽；12、侧耳；13、刮板；14、连接柱；15、磁块；16、圆孔槽；17、橡胶环；18、挡环；19、延伸环；20、排胶管。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参照图1
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3，一种半自动匀胶机，包括壳体1，壳体1内部焊接有隔板3，且隔板3底面的中心处紧固安装有离心电机4，离心电机4的输出轴贯穿隔板3固定连接有支撑盘10，且支撑盘10表面的边缘处开设有圆孔槽16，支撑盘10的外围设置有收集斗9，且收集斗9顶面的边缘处焊接有延伸环19，并且收集斗9的外壁面与壳体1内壁焊接，隔板3顶面的边缘处嵌设安装有电热盘7，且电热盘7与收集斗9的底面贴合，离心电机4一侧位于壳体1内部活动安放有收取盒5，且收取盒5的上方设置有排胶管20，排胶管20的一端贯穿隔板3与收集斗9连通，支撑盘10的侧面焊接有侧耳12，且侧耳12内穿插连接有连接柱14，连接柱14的底端焊接有刮板13，支撑盘10底面的边缘处对应刮板13开设有容纳槽11，且容纳槽11内侧通过磁块15与刮板13吸附连接，通过控制面板2开启离心电机4，促使离心电机4输出轴带动支撑盘10传动，进而支撑盘10的多个圆孔槽16内的硅片离心转动，使得涂布于硅片表面的光刻胶均匀排布，而部分光刻胶在离心力的作用下脱离硅片抛出，直至附着在环状收集斗9的延伸环19上，实现多余光刻胶的收集，而通过按压连接柱14，促使连接柱14推动刮板13脱离容纳槽11，进而刮板13脱离与磁块15的吸附并深入收集斗9内，促使支撑盘10转动过程带动刮板13
刮动光刻胶，配合控制面板2开启电热盘7对收集斗9进行加热，使得光刻胶由L型排胶管20流入收取盒5内，减少光刻胶的浪费以及对壳体1内壁的污染。
[0023]在一个实施例中，支撑盘10顶面的中心处焊接有挡环18，且挡环18的外围环绕开设有多个圆孔槽16，多个圆孔槽16内粘接有橡胶环17，且橡胶环17内圈环绕设置有多个凸起，通过将硅片置于圆孔槽16内，促使硅片的侧面与橡胶环17内圈环绕设置的多个凸起抵触，使得硅片紧密置于圆孔槽16内，提升硅片放置的稳固性。
[0024]在一个实施例中，收集斗9为环状结构，且收集斗9的内圈连通有L型结构的排胶管20，通过环状收集斗9，便于光刻胶的充分收取，而排胶管20便于胶液的转移。
[0025]在一个实施例中，壳体1下部表面对应收取盒5开设有开口6，收取盒5的顶面开设有敞口，且收取盒5的侧面焊接有圆柱型手柄，通过开口6便于收取盒5的取放。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半自动匀胶机，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)内部焊接有隔板(3)，且隔板(3)底面的中心处紧固安装有离心电机(4)，所述离心电机(4)的输出轴贯穿隔板(3)固定连接有支撑盘(10)，且支撑盘(10)表面的边缘处开设有圆孔槽(16)，所述支撑盘(10)的外围设置有收集斗(9)，且收集斗(9)顶面的边缘处焊接有延伸环(19)，并且收集斗(9)的外壁面与壳体(1)内壁焊接，所述隔板(3)顶面的边缘处嵌设安装有电热盘(7)，且电热盘(7)与收集斗(9)的底面贴合，所述离心电机(4)一侧位于壳体(1)内部活动安放有收取盒(5)，且收取盒(5)的上方设置有排胶管(20)，所述排胶管(20)的一端贯穿隔板(3)与收集斗(9)连通，所述支撑盘(10)的侧面焊接有侧耳(12)，且侧耳(12)内穿插连接有连接柱(14)，所述连接柱(14)的底端焊接有刮板(13)，所述支撑盘(10)底面的边缘处对应刮板(13)开设有容纳槽(11)，且容纳槽(11)内侧通过磁块(15)与刮板...

【专利技术属性】
技术研发人员：关成刚，陈波，方志鹏，
申请(专利权)人：江西微瑞光学有限公司，
类型：新型
国别省市：