本实用新型专利技术公开了一种多组式旋涂镀膜装置，包括匀胶机主机和承片平台两部分，其中承片平台包括由承片台、承片架和小齿轮组成的多组承片装置及隔离多组承片装置的挡板。本实用新型专利技术通过匀胶机电极齿轮与连接承片平台中心部分齿轮实现平台旋转，同时，齿轮又与每个承片装置上的小齿轮组合，实现每个承片台的反向自转。最终通过吸气孔固定的基片衬底，在旋涂过程中能够保持公转和反向自动，实现均匀涂膜。四个等效的承片装置可以实现一次旋涂过程中，四个衬底同时旋涂镀膜，大大提升旋涂效率，节约投入成本，提升涂膜重复率，具有很大工业上批量推广的潜力。上批量推广的潜力。上批量推广的潜力。
【技术实现步骤摘要】
多组式旋涂镀膜装置
[0001]本技术涉及一种多组式旋涂镀膜装置，可用于同时基于单一或多种衬底的批量旋涂制备薄膜工艺。
技术介绍
[0002]溶胶
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凝胶旋涂法是一种广泛适用的薄膜制备方法。该方法具有合成周期短，实验操作简单，成本低廉，可大面积制备及潜在工业化推广等优点。目前市场上具有单一承片台匀胶机被广泛推广，已成为实验室中采用旋涂法进行薄膜制备的必备装置。然而，该类型的匀胶机装置存在如下缺点：(1)旋涂薄膜时极容易导致薄膜不均匀，通常薄膜厚度从衬底中心到边沿成梯度分布；(2)重复操作时，容易存在人为操作误差或失误,实验过程重复性差等；(3)不能批量操作，实验效率差等问题。
技术实现思路
[0003]为了克服上述缺陷，本技术提供了一种多组式旋涂镀膜装置，即提升实验效率，又可减少人为因素，同时提高重复率，增加数据可靠性。
[0004]本技术为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种多组式旋涂镀膜装置，包括匀胶机主机和承片平台，所述承片平台设于所述匀胶机主机的上方，所述承片平台中设置若干组承片装置，每组承片装置包括带孔承片台、与所述带孔承片台连接的承片架，以及与所述承片架连接的小齿轮，每组承片装置中的小齿轮分别设置在中间齿轮的外周并分别与该中间齿轮啮合传动连接；所述中间齿轮的中心转轴向下延伸至所述匀胶机主机内的大齿轮，该匀胶机主机内还设有电机齿轮，该电机齿轮通过传送带能够带动所述大齿轮旋转，所述大齿轮旋转将带动中心转轴和中间齿轮旋转；所述承片平台与所述中间齿轮的中心转轴固定连接，每组承片装置的承片架通过轴承转动设于所述承片平台内。
[0005]作为本技术的进一步改进，所述带孔承片台中心设有吸片孔，该吸片孔与所述匀胶机主机内设置的真空泵连通。
[0006]作为本技术的进一步改进，所述承片平台位于每组承片装置之间和以及外周分别设有挡板，所述承片平台上对应挡板位置设有凹槽，所述挡板下端固作为本技术的进一步改进，所述匀胶机主机上设有用于控制所述电机的转速调节开关和时间调节开关，用于显示和监测所述带孔承片台转速的显示屏和提示灯，以及用于和电源连接的电源线。
[0007]本技术的有益效果是：本技术通过在匀胶机主机的基础上，设计多组旋涂承片台，并实现承片台公转和反向自转；通过优化旋转方式来实现薄膜均匀旋涂，克服了单一旋转类型旋涂的薄膜厚度不均匀的缺点；同时，新型的承片平台可用于多个或多种衬底同步旋涂，大大减少了人工成本，节约了时间，提高了工艺效率，提升了涂膜可重复性。
附图说明
[0008]图1为本技术的结构示意图；
[0009]图2为本技术实施例所述四组式旋涂镀膜装置的一种实施方式的部分组件结构示意图之一；
[0010]图3为本技术实施例所述四组式旋涂镀膜装置的一种实施方式的部分组件结构示意图之二；
[0011]图4为本技术实施例所述四组式旋涂镀膜装置的工作模式示意图；
[0012]图5为本技术所述承片平台结构示意图。
[0013]结合附图，作以下说明：
[0014]1——匀胶机主机；
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2——承片平台；
[0015]3——带孔承片台；
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4——承片架；
[0016]5——小齿轮；
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6——中间齿轮；
[0017]601——大齿轮；
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602——传送带；
[0018]603——电机齿轮；
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7——挡板；
[0019]701——凹槽；
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101——转速调节开关；
[0020]102——时间调节开关；
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103——显示屏；
[0021]104——提示灯；
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105——电源线；
[0022]301——吸片孔；
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600——中心转轴。
具体实施方式
[0023]以下结合附图，对本技术的一个较佳实施例作详细说明。但本技术的保护范围不限于下述实施例，即但凡以本技术申请专利范围及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本技术专利涵盖范围之内。
[0024]如图1所示，一种多组式旋涂镀膜装置，包括匀胶机主机1和承片平台2。该匀胶机主机包括转速调节开关101、时间调节开关102、显示屏103、提示灯104、电源线105、抽真空泵及气管线路等。电源线105所接电源为家用交流电220伏/50赫兹；显示屏103可用来监测承片平台2和承片台3旋转转速；通过匀胶机主机1操作可实现旋涂时的转速及时间的控制。
[0025]所述的承片平台2是本技术专利技术的重点，该承片平台2内设有中间齿轮6，中间齿轮6的中心转轴600下方主机内部有大齿轮601，与匀胶机主机1内的电机齿轮603，通过传送带602相连，实现承片平台2旋转，即电机齿轮603通过传送带602带动中心转轴600转动，从而实现整个承片平台2转动。
[0026]承片平台2上方有若干组承片装置，本实施例以四组为例说明，四组承片装置距离平台中心等距离分布在四周；每个承片装置包括：承片台3、承片架4和小齿轮5，小齿轮5位于承片平台内，四个小齿轮5均匀啮合在中间齿轮6外周，中心转轴600随大齿轮601转动时，带动中间齿轮6旋转，从而驱动四个小齿轮5同步反向旋转，承片架4和承片台3固定在小齿轮的转轴上，随小齿轮5同步转动，承片平台与中间齿轮6的中心转轴600固定连接，每组承片装置的承片架4通过轴承转动设于承片平台内，承片平台随主机内大齿轮公转，同时带动中间齿轮转动，然后通过中间齿轮和小齿轮组合实现每组承片装置的承片台3自转；四个承片台的旋转总重心位于承片平台2中心轴上，与中间齿轮中心转轴600的轴承线重合，这样
设计保证每个承片台能够公转和反向自转，同时维持平衡。
[0027]为有效分离四组承片装置，减少彼此实验过程污染或影响，承片平台上方设置可拆卸式的挡板7，实现对承片平台十字形区域分离，保持四组承片装置彼此隔离；挡板7通过平台上或四周壁上的凹槽701固定，旋涂时可随承片平台转动。这样能够有效避免胶液在旋涂过程中飞溅导致匀胶机本体受到损伤，提高了仪器的耐用性。
[0028]所述的每个承片台3中心设有通气孔301，该通气孔通过中心转轴600的中空结构及气道连接于设置在所述匀胶机主机外的抽真空机械泵，在此不作限定，通过对气路管道抽气操作，利用吸片孔固定薄膜衬底。本技术多组旋涂装置能够实现一次旋涂，四个基片衬底同时成膜，保证了一致性和高效性。
[0029]本技术的具体操作实例过程如下：打开电源，分别在四个承片台上放上四个基片衬底，打开抽气装置实现衬底的固定；然本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多组式旋涂镀膜装置，包括匀胶机主机(1)和承片平台(2)，所述承片平台设于所述匀胶机主机(1)的上方，其特征在于：所述承片平台中设置若干组承片装置，每组承片装置包括带孔承片台(3)、与所述带孔承片台(3)连接的承片架(4)，以及与所述承片架(4)连接的小齿轮(5)，每组承片装置中的小齿轮(5)分别设置在中间齿轮(6)的外周并分别与该中间齿轮(6)啮合传动连接；所述中间齿轮(6)的中心转轴(600)下部设有大齿轮(601)；所述匀胶机主机(1)内设有电机齿轮(603)，该电机齿轮能够带动所述大齿轮(601)旋转，所述大齿轮转动能够带动所述中心转轴(600)同步转动，从而实现所述承片平台转动；同时所述中心转轴(600)转动能够带动所述中间齿轮(6)同向转动，该中间齿轮(6)的转动能够带动每个小齿轮(5)反向转动。2.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄方，孙书杰，徐晶晶，安红燕，赵俊丽，张思梦，石常浩，
申请(专利权)人：信阳师范学院，
类型：新型
国别省市：
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