多通道投影光学组件、多通道投影设备以及投影方法技术

本发明专利技术提供一种多通道投影光学组件，包括：第一微透镜阵列，包括多个第一微透镜，配置成可接收入射光；第二微透镜阵列，包括多个第二微透镜，并设置在所述第一微透镜阵列的光路下游；图像生成器，设置在所述第一微透镜阵列与所述第二微透镜阵列之间；场镜，所述场镜设置在所述第二微透镜阵列的光路下游，其中所述第一微透镜阵列中的每个第一微透镜与所述第二微透镜阵列中的一个第二微透镜对应，形成多个光通道，其中在每个光通道中，所述第一微透镜将入射光整形后照射在所述图像生成器上，并通过所述第二微透镜和所述场镜将所述图像生成器的像形成在同一目标面上，并且每个光通道所成的像基本重合。

Multi channel projection optical component, multi-channel projection equipment and projection method

【技术实现步骤摘要】
多通道投影光学组件、多通道投影设备以及投影方法
本专利技术大致涉及光学
，尤其涉及一种多通道投影光学组件、包括该多通道投影光学组件的多通道投影设备以及使用该多通道投影光学组件进行图案投影的方法。
技术介绍
在很多场合中，需要将不同的图案投影到目标平面上。一些方案中通过改变物结构(诸如数字成像仪的形式)或通过机械操控映射光学器件，诸如改变焦距，来实现投影。但这种解决方案通常较为昂贵，并且图像边缘的清晰度或者锐利度较差。同时现有解决方案在出现最终投影面与微透镜光轴不重合的情况下，成像边缘的强度和锐度都会有挑战。
技术实现思路
有鉴于现有技术的至少一个缺陷，本专利技术提供一种多通道投影光学组件，包括：第一微透镜阵列，包括多个第一微透镜，配置成可接收入射光；第二微透镜阵列，包括多个第二微透镜，并设置在所述第一微透镜阵列的光路下游；图像生成器，设置在所述第一微透镜阵列与所述第二微透镜阵列之间；场镜，所述场镜设置在所述第二微透镜阵列的光路下游，其中所述第一微透镜阵列中的每个第一微透镜与所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多通道投影光学组件，包括：/n第一微透镜阵列，包括多个第一微透镜，配置成可接收入射光；/n第二微透镜阵列，包括多个第二微透镜，并设置在所述第一微透镜阵列的光路下游；/n图像生成器，设置在所述第一微透镜阵列与所述第二微透镜阵列之间；/n场镜，所述场镜设置在所述第二微透镜阵列的光路下游，/n其中所述第一微透镜阵列中的每个第一微透镜与所述第二微透镜阵列中的一个第二微透镜对应，形成多个光通道，其中在每个光通道中，所述第一微透镜将入射光整形后照射在所述图像生成器上，并通过所述第二微透镜和所述场镜将所述图像生成器的像形成在同一目标面上，并且每个光通道所成的像基本重合。/n

【技术特征摘要】
1.一种多通道投影光学组件，包括：
第一微透镜阵列，包括多个第一微透镜，配置成可接收入射光；
第二微透镜阵列，包括多个第二微透镜，并设置在所述第一微透镜阵列的光路下游；
图像生成器，设置在所述第一微透镜阵列与所述第二微透镜阵列之间；
场镜，所述场镜设置在所述第二微透镜阵列的光路下游，
其中所述第一微透镜阵列中的每个第一微透镜与所述第二微透镜阵列中的一个第二微透镜对应，形成多个光通道，其中在每个光通道中，所述第一微透镜将入射光整形后照射在所述图像生成器上，并通过所述第二微透镜和所述场镜将所述图像生成器的像形成在同一目标面上，并且每个光通道所成的像基本重合。


2.如权利要求1所述的多通道投影光学组件，其中在每个光通道中，所述第一微透镜的光轴与所述第二微透镜的光轴重合，所述图像生成器位于所述第二微透镜阵列的焦平面处。


3.如权利要求1和2所述的多通道投影光学组件，其中所述第二微透镜阵列位于所述第一微透镜阵列的焦平面处。


4.如权利要求1或2所述的多通道投影光学组件，其中所述场镜的光轴平行于所述第一微透镜阵列和第二微透镜阵列的光轴，所述目标面垂直于所述场镜的光轴；或者
所述场镜的光轴非平行于所述第一微透镜阵列和第二微透镜阵列的光轴，所述目标面垂直于所述场镜的光轴。


5.如权利要求1或2所述的多通道投影光学组件，其中所述图像生成器包括掩模，所述掩模上具有多个图案，每个图案与一个所述光通道对应。


6.如权利要求3所述的多通道投影光学组件，其中所述第一微透镜、所述第二微透镜、以及所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王卓，刘国栋，
申请(专利权)人：江西微瑞光学有限公司，
类型：发明
国别省市：江西;36