一种长行程准零刚度柔性导向机构制造技术

本发明专利技术提出了一种长行程准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、第一正刚度簧片组件、第二正刚度簧片组件、负刚度簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧分别通过两个第一正刚度簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件前后两侧分别通过两个第二正刚度簧片组件与两个固定组件相连，第一正刚度簧片组件和第二正刚度簧片组件结构相同，直接驱动部件左右两侧均与负刚度簧片组件一端相连，两个负刚度簧片组件的另一端均连接有负刚度簧片固定组件，直线电机驱动模块与直接驱动部件相连。机驱动模块与直接驱动部件相连。机驱动模块与直接驱动部件相连。

【技术实现步骤摘要】
一种长行程准零刚度柔性导向机构


[0001]本专利技术属于精密仪器及机械
，特别是涉及一种长行程准零刚度柔性导向机构。

技术介绍

[0002]极紫外线光刻机是现阶段最先进的光刻机。该设备采用波长为13.5nm的极紫外光作为工作光源，拥有最高的光刻分辨率。极紫外光几乎对所有物质均不透明且折射率接近于1，因此极紫外光刻机的照明系统、物镜系统及运动系统等均需置于真空中。常见的导向机构，如滚珠丝杠导向机构、气浮导向机构以及磁浮导向机构由于自身特点限制以及难以维护等原因无法应用于极紫外光刻机。柔性机构以其精度高、无需冷却、无摩擦、无需润滑、以及无线缆等优点，成为极紫外光刻机运动系统导向机构的首选方案。然而，常见的柔性机构存在行程小、有回弹力的等缺点。因此设计一种长行程恒力柔性导向机构，是极紫外光刻机中运动系统结构设计的关键。
[0003]现有的柔性导向机构的不足之处是无法在拥有大行程的同时满足恒力与高精度的要求。但是在EUV光刻机的运动系统中，为了保证运动的高速、高精度与稳定性，运动系统需要克服长行程柔性机构产生大变形回弹力带来的控制问题，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种长行程准零刚度柔性导向机构，其特征在于：它包括间接驱动部件(1)、直接驱动部件(6)、第一正刚度簧片组件(2)、第二正刚度簧片组件(11)、负刚度簧片组件(7)和直线电机驱动模块(10)，所述直接驱动部件(6)左右两侧分别通过两个第一正刚度簧片组件(2)与两个间接驱动部件(1)相连，所述两个间接驱动部件(1)前后两侧分别通过两个第二正刚度簧片组件(11)与两个固定组件(3)相连，所述第一正刚度簧片组件(2)和第二正刚度簧片组件(11)结构相同，所述直接驱动部件(6)左右两侧均与负刚度簧片组件(7)一端相连，两个负刚度簧片组件(7)的另一端均连接有负刚度簧片固定组件(5)，所述直线电机驱动模块(10)与直接驱动部件(6)相连。2.根据权利要求1所述的一种长行程准零刚度柔性导向机构，其特征在于：所述直接驱动部件(6)与光栅尺反馈模块(8)相连。3.根据权利要求2所述的一种长行程准零刚度柔性导向机构，其特征在于：所述光栅尺反馈模块(8)包括所述光栅尺(81)、光栅读数头(82)和光栅读数头固定件(83)，所述光栅读数头(82)通过光栅读数头固定件(83)与直接驱动部件(6)底部相连，所述光栅读数头(82)与光栅尺(81)位置对应，通过光栅读数头(82)读取光栅尺(81)刻度。4.根据权利要求1所述的一种长行程准零刚度柔性导向机构，其特征在于：所述间接驱动部件(1)下部设置有间接驱动部件重力补偿模块(4)，所述直接驱动部件(6)下部设有直接驱动部件重力补偿模块(9)。5.根据权利要求4所述的一种长行程准零刚度柔性导向机构，其特征在于：所述间接驱动部件重力补偿模块(4)和直接驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴剑威，张银，李一帆，赵鹏越，晏祯卓，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：