一种用于复合网版曝光的上光源曝光机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，包括机体，所述机体的内部设置有曝光室，所述曝光室的后侧内壁设置有导热组件，所述机体的后侧设置有散热组件，所述曝光室的下方设置有蓄水室和吸尘室，所述蓄水室的内部固定安装有水泵。该一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，在进行日常使用的过程中，通过水泵将蓄水室中的冷却水导入导热曲管中，导热曲管利用铜管的高效热传导性将热量吸收，并传递给冷却水，再通过连接管导入散热器中，通过散热器的散热片将热量散发出来，利用散热扇加速热量驱散，再回收到蓄水室中重新利用，降低了曝光机内部温度，保护电子器件、线路等，提高了曝光机的使用寿命。提高了曝光机的使用寿命。提高了曝光机的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种用于复合网版曝光的上光源曝光机


[0001]本技术涉及复合网版加工
，具体为一种用于复合网版曝光的上光源曝光机。

技术介绍

[0002]曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备，曝光机是20世纪60年初扫描电子显微镜基础发展而来的一种新光刻技术,在70年代后广泛应用于半导体电路板生产制造，曝光机即电子串曝光机,是集电子光学、机械、真空、电气、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备，在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形，根据电路板的线路的粗细来决定上下光源的曝光能量,能量不足电路板无法曝光,要是能量过高电路板就会过曝,所以在曝光电路板时,必须先测试电路板所需的能量,从而进行电路板的曝光生产。
[0003]现有的用于复合网版曝光的上光源曝光机不具备散热功能，长时间的曝光和光源等电子器件工作产生热量，导致本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的内部设置有曝光室(2)，所述曝光室(2)的后侧内壁设置有导热组件(3)，所述机体(1)的后侧设置有散热组件(8)，所述曝光室(2)的下方设置有蓄水室(13)和吸尘室(14)，所述蓄水室(13)的内部固定安装有水泵(15)，所述吸尘室(14)的内部设置有吸尘组件(16)。2.根据权利要求1所述的一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，其特征在于：所述导热组件(3)包括固定安装在曝光室(2)后侧内壁的支座(4)，所述支座(4)的四个边角处通过螺丝(5)与曝光室(2)固定安装，所述支座(4)的前侧固定安装有导热曲管(6)，所述导热曲管(6)的一端固定安装有进水管(7)，所述进水管(7)贯穿曝光室(2)的底部与水泵(15)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，其特征在于：所述散热组件(8)包括固定安装在机体(1)后侧的散热器(9)，所述散热器(9)的表面固定安装有散热扇(10)，所述散热器(9)的一端固定安装有回流管(11)，所述回流...

【专利技术属性】
技术研发人员：庾涛，郑涛，
申请(专利权)人：博伦希尔苏州智能制造有限公司，
类型：新型
国别省市：