翻转式晶圆刻蚀机制造技术

本实用新型专利技术是翻转式晶圆刻蚀机，其结构包括主机架，主机架正面顶部设触控式工业电脑，触控式工业电脑下方的主机架上的开口内设开合透视盖，开合透视盖两侧的主机架上设有控制按钮，开合透视盖下方的主机架内侧设水槽，水槽后侧的主机架内侧相邻设有工艺槽，水槽与工艺槽之间顶端设晶圆翻转料架。本实用新型专利技术的优点：结构设计合理，实现了晶圆在工艺槽和水槽之间以及晶圆装卸工位共三个工位之间的翻转式切换，有效提高了生产处理效率，并将带动晶圆转动的机构进行了结合，占用空间小，可有效满足生产需要。满足生产需要。满足生产需要。

【技术实现步骤摘要】
翻转式晶圆刻蚀机


[0001]本技术涉及的是翻转式晶圆刻蚀机。

技术介绍

[0002]晶圆的刻蚀是晶圆生产中的重要环节，需要将晶圆片浸入化学药剂中进行处理，然后再进行清洗。
[0003]现有技术晶圆刻蚀机一般为升降式，需要将晶圆片依次升降放置入相邻的工艺槽和水槽中，动作步骤较多，导致速度较慢，影响处理效率，无法有效满足生产需要。

技术实现思路

[0004]本技术提出的是翻转式晶圆刻蚀机，其目的旨在克服现有技术存在的上述缺陷，实现有效提高处理效率。
[0005]本技术的技术解决方案：翻转式晶圆刻蚀机，其结构包括主机架，主机架正面顶部设触控式工业电脑，触控式工业电脑下方的主机架上的开口内设开合透视盖，开合透视盖两侧的主机架上设有控制按钮，开合透视盖下方的主机架内侧设水槽，水槽后侧的主机架内侧相邻设有工艺槽，水槽与工艺槽之间顶端设晶圆翻转料架。
[0006]优选的，所述的晶圆翻转料架包括平行设置在水槽与工艺槽之间顶端的翻转轴，翻转轴靠近两端处穿过主机架上的限位孔，翻转轴一端连接安装在主机架上的翻转油缸的输出端，翻转轴外侧面靠近两端处分别设有平行设置的支撑杆和支撑壳体，支撑杆和支撑壳体端部通过转动连接部转动连接晶圆架，翻转轴另一端外侧的主机架上设电机，电机输出端连接主动齿轮，翻转轴另一端设传动齿轮，主动齿轮与传动齿轮之间连接有传动链，传动齿轮通过设置在支撑壳体和翻转轴内侧的传动机构传动连接转动连接部、驱动晶圆架转动。
[0007]优选的，所述的支撑杆或支撑壳体上设有对准晶圆架的光纤传感器，光纤传感器与控制器信号连接，控制器与报警模块信号连接。
[0008]本技术的优点：结构设计合理，实现了晶圆在工艺槽和水槽之间以及晶圆装卸工位(即工艺槽和水槽之间顶端)共三个工位之间的翻转式切换，有效提高了生产处理效率，并将带动晶圆转动的机构进行了结合，占用空间小，可有效满足生产需要。
附图说明
[0009]图1是本技术翻转式晶圆刻蚀机的结构示意图。
[0010]图2是图1的侧视图。
[0011]图3是图1的俯视图。
[0012]图4是图2、3中晶圆翻转料架的结构示意图。
[0013]图5是图4的右视图。
[0014]图6是图4的立体图。
[0015]图中的1是主机架、2是触控式工业电脑、3是开合透视盖、4是控制按钮、5是水槽、6是晶圆翻转料架、61是翻转轴、62是翻转油缸、63是支撑杆、64是支撑壳体、65是转动连接部、66是晶圆架、67是电机、68是主动齿轮、69是传动齿轮。
具体实施方式
[0016]下面结合实施例和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0017]如图1
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3所示，翻转式晶圆刻蚀机，其结构包括主机架1，主机架1正面顶部设触控式工业电脑2，触控式工业电脑2下方的主机架1上的开口内设开合透视盖3，开合透视盖3两侧的主机架1上设有控制按钮4，开合透视盖3下方的主机架1内侧设水槽5，水槽5后侧的主机架1内侧相邻设有工艺槽，水槽5与工艺槽之间顶端设晶圆翻转料架6。
[0018]如图4
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6所示，晶圆翻转料架6包括平行设置在水槽5与工艺槽之间顶端的翻转轴61，翻转轴61靠近两端处穿过主机架1上的限位孔，翻转轴61一端连接安装在主机架1上的翻转油缸62的输出端，翻转轴61外侧面靠近两端处分别设有平行设置的支撑杆63和支撑壳体64，支撑杆63和支撑壳体64端部通过转动连接部65转动连接晶圆架66，翻转轴61另一端外侧的主机架1上设电机67，电机67输出端连接主动齿轮68，翻转轴61另一端设传动齿轮69，主动齿轮68与传动齿轮69之间连接有传动链，传动齿轮69通过设置在支撑壳体64和翻转轴61内侧的传动机构传动连接转动连接部65、驱动晶圆架66转动。
[0019]所述的传动机构可根据现有技术设计，实现电机67对晶圆架66的转动驱动即可。
[0020]所述的支撑杆63或支撑壳体64上设有对准晶圆架66的光纤传感器，光纤传感器与控制器信号连接，控制器与报警模块信号连接。光纤传感器用于检测晶圆架66是否转动，如果检测到未转动，可由报警模块进行报警，然后进行停机检修。
[0021]根据以上结构，将晶圆片码放在晶圆架66内，启动设备，翻转油缸62驱动翻转轴61向内转动，支撑杆63和支撑壳体64带动晶圆架66转动入工艺槽内，然后电机67启动，带动转动连接部65转动，进而带动晶圆架66在工艺槽内转动，进行刻蚀，刻蚀完毕后，电机67停止工作，翻转油缸62反向驱动翻转轴61向外转动，晶圆架66转动入水槽内，与前序步骤一样进行转动，进行清洗，然后电机67停止，翻转油缸62带动翻转轴61转动到中间工位，取下晶圆即可，然后重复进行前序动作。
[0022]以上所述各部件均为现有技术，本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。
[0023]以上所述的仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.翻转式晶圆刻蚀机，其特征包括主机架(1)，主机架(1)正面顶部设触控式工业电脑(2)，触控式工业电脑(2)下方的主机架(1)上的开口内设开合透视盖(3)，开合透视盖(3)两侧的主机架(1)上设有控制按钮(4)，开合透视盖(3)下方的主机架(1)内侧设水槽(5)，水槽(5)后侧的主机架(1)内侧相邻设有工艺槽，水槽(5)与工艺槽之间顶端设晶圆翻转料架(6)。2.如权利要求1所述的翻转式晶圆刻蚀机，其特征是所述的晶圆翻转料架(6)包括平行设置在水槽(5)与工艺槽之间顶端的翻转轴(61)，翻转轴(61)靠近两端处穿过主机架(1)上的限位孔，翻转轴(61)一端连接安装在主机架(1)上的翻转油缸(62)的输出端，翻转轴(61)外侧面靠近两...

【专利技术属性】
技术研发人员：祁志明，刘四化，李松松，
申请(专利权)人：无锡吉智芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：