【技术实现步骤摘要】
刻蚀机用晶圆翻转料架
[0001]本技术涉及的是刻蚀机用晶圆翻转料架。
技术介绍
[0002]晶圆的刻蚀是晶圆生产中的重要环节，需要将晶圆片浸入化学药剂中进行处理，然后再进行清洗。
[0003]现有技术晶圆刻蚀机一般为升降式，需要将晶圆片依次升降放置入相邻的工艺槽和水槽中，动作步骤较多，导致速度较慢，影响处理效率，无法有效满足生产需要。如果能设计一种提高处理速度的晶圆料架，可有效提高生产效率。
技术实现思路
[0004]本技术提出的是刻蚀机用晶圆翻转料架，其目的旨在克服现有技术存在的上述缺陷，实现对晶圆料架进行方便翻转，提高再工艺槽和水槽之间的切换速度。
[0005]本技术的技术解决方案：刻蚀机用晶圆翻转料架，其结构包括翻转轴，翻转轴一端连接安装在支座上的翻转油缸的输出端，翻转轴外侧面靠近两端处分别设有平行设置的支撑杆，支撑杆端部通过转动连接部转动连接晶圆架，料架转动驱动机构驱动连接晶圆架绕转动连接部转动。
[0006]优选的，所述的远离翻转油缸一侧的支撑杆为中空的支撑壳体，料架转动驱动机构包括位于翻转轴另一端外侧的电机座上的电机，电机输出端连接主动齿轮，翻转轴另一端设传动齿轮，主动齿轮与传动齿轮之间连接有传动链，传动齿轮通过设置在支撑壳体和翻转轴内侧的传动机构传动连接转动连接部、驱动晶圆架转动。
[0007]优选的，所述的支撑杆或支撑壳体上设有对准晶圆架的光纤传感器，光纤传感器与控制器信号连接，控制器与报警模块信号连接。
[0008]本技术的优点：结构设计合理，设...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.刻蚀机用晶圆翻转料架，其特征包括翻转轴(1)，翻转轴(1)一端连接安装在支座(10)上的翻转油缸(2)的输出端，翻转轴(1)外侧面靠近两端处分别设有平行设置的支撑杆(3)，支撑杆(3)端部通过转动连接部(5)转动连接晶圆架(6)，料架转动驱动机构驱动连接晶圆架(6)绕转动连接部(5)转动。2.如权利要求1所述的刻蚀机用晶圆翻转料架，其特征是远离所述的翻转油缸(2)一侧的支撑杆(3)为中空的支撑壳体(4)，料架转动驱动机构包括位于翻转轴(1)另一端外侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：祁志明，刘四化，李松松，
申请(专利权)人：无锡吉智芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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