高架输送车及高架输送车系统技术方案

本发明专利技术的高架输送车(6)为具备能够沿着轨道(4)行进的行进部(18)，以及具有把持FOUP(10)的夹具(30A)、并且通过吊持构件(28A)而相对于行进部(18)升降的升降部(30)的高架输送车(6)。高架输送车(6)具备：设置在行进部(18)中、控制高架输送车(6)中的各部分的主体控制器(50)，设置在升降部(30)中、检测升降部(30)上产生的振动的振动检测部(55A)，设置在升降部(30)中、判定振动检测部(55A)对振动的检测结果是否在预先设定的允许范围(R)内、并且将判定结果向主体控制器(50)输出的振动监视部(55B)。(55B)。(55B)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】高架输送车及高架输送车系统


[0001]本专利技术的一个方案涉及高架输送车及高架输送车系统。

技术介绍

[0002]众所周知这样的高架输送车：具备能够沿着轨道行进的主体部，以及具有把持物品的把持部、并通过多个吊持构件相对于所述主体部卷取或放出而升降的升降部。在这样的高架输送车中，存在想要利用简单的结构监视被把持在升降部中的物品上产生的振动的需求。例如在专利文献1中公开了这样的诊断系统：在高架输送车内设置振动传感器，将由振动传感器获取的振动与行进电动机和升降电动机的输出扭矩、以及转速等一起发送给设置在高架输送车外部的诊断装置，诊断装置能自动地进行高架输送车的诊断。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2006－315813号公报
[0006]专利技术的概要
[0007]专利技术想要解决的课题
[0008]但是，上述以往的诊断系统有必要设置基于从高架输送车发送的各种信息进行深度分析、诊断的诊断装置，因此不符合想要利用简单的结构掌握被把持在升降部中的物品上产生的振动这样的需求。并且，上述以往的诊断系统为直接发送由振动传感器获取的振动信息，并且发送输出扭矩和转速的结构，因此搭载在高架输送车中的主体控制部的包含通信在内的处理的负担也变大。

技术实现思路

[0009]因此，本专利技术的一个方案的目的是提供一种不会增大搭载在高架输送车内的主体控制部中的处理的负担，并且能够简单的结构监视被把持在升降部中的物品上产生的振动的高架输送车及高架输送车系统。
[0010]用于解决课题的手段
[0011]本专利技术的一个方案所涉及的高架输送车为具备能够沿着轨道行进的主体部，以及具有把持物品的把持部、并且通过吊持构件而相对于主体部升降的升降部的高架输送车；其具备：设置于主体部、控制高架输送车中的各部分的主体控制部，设置于升降部、检测升降部上产生的振动的振动检测部，以及设置于升降部、判定振动检测部对振动的检测结果是否在预先设定的允许范围内、并且将判定结果向主体控制部输出的振动监视部。
[0012]在该结构中，由于只有振动的检测结果是否超过了预先设定的允许范围的判定结果从振动监视部输出到主体控制部，因此与由振动检测部检测到的检测结果全部输出到主体控制部的结构相比，能够减轻主体控制部中的处理负担。并且，在该结构中，由于只判定检测出的振动是否在预先设定的允许范围内，因此不用实施深度分析等，能够利用简单的结构监视物品上产生的振动。这些带来的结果是，不会增大搭载在高架输送车内的主体控
制部中的处理负担，并且能够利用简单的结构监视被把持在升降部的物品上产生的振动。
[0013]在本专利技术的一个方案所涉及的高架输送车中，主体控制部可以对振动监视部设定允许范围。由此，能够容易地设定用来判定异常振动的允许范围。
[0014]在本专利技术的一个方案所涉及的高架输送车中，振动监视部可以在由振动检测部检测出的振动超过了允许范围时，将该意思输出到主体控制部。在该结构中，由于只在判定为由振动检测部检测出的振动超过了允许范围时、即只在判定为振动监视部检知到异常振动时，将该意思输出到主体控制部，因此能够进一步减轻主体控制部中的处理负担。
[0015]在本专利技术的一个方案所涉及的高架输送车中，振动监视部可以将行进时的振动的判定结果及物品升降时的振动的判定结果中的至少一方输出到主体控制部。在该结构中，能够监视高架输送车行进中的异常振动和高架输送车停止状态下的升降部升降中的异常振动中的至少一方。
[0016]在本专利技术的一个方案所涉及的高架输送车中，振动监视部可以设置为能够设定多个允许范围，设定为根据高架输送车的动作状况而切换允许范围。这里所谓的动作状况包含例如直线轨道行进时、曲线轨道行进时和物品升降时等。在该结构中，能够适当地获取与高架输送车的动作状况相对应的异常振动。
[0017]本专利技术的一个方案所涉及的高架输送车系统具备上述多台高架输送车，以及设置成能够与多台高架输送车中的主体控制部通信的状态监视部；状态监视部将振动监视部的判定结果与轨道上的位置建立关联地进行存储，并且输出将判定结果叠加在表示轨道的配置的地图数据上的信息。在该结构中，由于异常振动(振动超过允许范围)和产生该异常振动的位置在建立了关联的状态下被存储，因此容易掌握产生异常振动的部位。并且，由于产生异常振动的位置被叠加在地图数据上进行显示，因此能够从视觉识别产生异常振动的位置。
[0018]专利技术的效果
[0019]根据本专利技术的一个方案，不会增大搭载在高架输送车内的主体控制部中的处理负担，并且能够利用简单的结构监视被把持在升降部的物品上产生的振动。
附图说明
[0020]图1为表示一个实施方式所涉及的具备移载装置的高架输送车的侧视图。
[0021]图2为表示图1的高架输送车的功能结构的方框图。
[0022]图3为振动检测部所检测的振动的检测结果的一例。
[0023]图4为表示图1的高架输送车中的振动监视的流程的时序图。
[0024]图5为输送控制器输出的振动监视画面的一例。
具体实施方式
[0025]下面，参照附图详细地说明本专利技术一个方案的优选一实施方式。另外，在附图的说明中，对于相同的要素添加相同的标号，省略重复的说明。
[0026]一个实施方式的高架输送车系统1具备多台高架输送车6(参照图1)、轨道4和输送控制器70(参照图2)。
[0027]如图1所示，一个实施方式的高架输送车6为能够沿着轨道4移动的高架输送车，被
用于在载置部(未图示)之间输送FOUP(Front Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒)(物品)10的系统中。高架输送车6也可以取代FOUP10而例如输送保存多块玻璃基板的掩模盒等之类的容器、以及普通零部件等。这里举例如被用于高架输送车6沿着铺设于工厂的顶棚等的单向通行的轨道4而行进的高架输送车系统1中的高架输送车6为例，进行说明。
[0028]轨道4例如铺设在操作者的头顶空间即顶棚附近。轨道4悬挂在例如顶棚上。轨道4为用来使高架输送车6行进的预先确定的行进道路。载置部沿着轨道4而配置，设置在高架输送车6能够移交FOUP10的位置上。载置部包含缓存区和移交端口。缓存区为临时载置FOUP10的载置部。缓存区为例如在因作为目的地的移交端口载置了其他的FOUP10等原因而不能将高架输送车6所输送的FOUP10移载到该移交端口的情况下，暂时放置FOUP10的载置部。移交端口为例如用来对以洗净装置、成膜装置、光刻装置、蚀刻装置、热处理装置、压平装置为主的半导体处理装置(未图示)进行FOUP10的移交的载置部。另外，处理装置没有特别的限定，可以是各种装置。
[0029]高架输送车6沿着轨道4行进，输送FOUP10。高架输送车6为顶棚行进式无人输送车。高架输送车系统1所具备的高架输送车6的台数没有特别限定，为多台。如图1和图2所示，高架输送车6具有行进部18、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种高架输送车，具备能够沿着轨道行进的主体部，以及具有把持物品的把持部、并且通过吊持构件而相对于所述主体部升降的升降部；其特征在于具备：设置于所述主体部、控制所述高架输送车中的各部分的主体控制部，设置于所述升降部、检测所述升降部上产生的振动的振动检测部，以及设置于所述升降部、判定所述振动检测部对所述振动的检测结果是否在预先设定的允许范围内、并且将所述判定结果向所述主体控制部输出的振动监视部。2.如权利要求1所述的高架输送车，其中，所述主体控制部对所述振动监视部设定所述允许范围。3.如权利要求1或2所述的高架输送车，其中，所述振动监视部在由所述振动检测部检测出的振动超过了所述允许范围时，将该意思输出到所述主体控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：青本和也，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：