一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台制造技术

本发明专利技术公开了一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，包括一号安装台，所述一号安装台上设置有横向纵向调节台，所述横向纵向调节台上设置有工作台，所述工作台的后侧位置设置有后部支架，所述后部支架上设置有观察镜筒，所述一号安装台上在位于工作台的两侧位置设置有侧面下部安装管，所述侧面下部安装管内设置有内部活动杆，所述内部活动杆上端位置设置有侧面上部安装柱，所述侧面下部安装管之间设置有下部安装板。本发明专利技术所述的一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，属于晶圆加工领域，设置的一号螺杆和二号螺杆等结构，便于将侧面安装台上下调节高度，水平调节位置，通过设置的折型托起杆等结构，能够将晶圆片托起，便于用户取出。用户取出。用户取出。

【技术实现步骤摘要】
一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台


[0001]本专利技术涉及探针台领域，特别涉及一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，在晶圆加工的过程中，需要使用到高性能高效率的晶圆测试探针台，通过该结构对晶圆进行检测，但是传统的测试探针台在使用的过程中，由于两侧的侧面安装台结构是固定的，不能调节，使用不便，当将晶圆切片放置于中部工作台上进行检测，由于晶圆呈现片形，容易和中部的工作台贴合，导致需要将晶圆取出时，比较麻烦，如果向侧面推动晶圆，容易导致晶圆和工作台发生摩擦划伤。

技术实现思路

[0003]本专利技术的主要目的在于提供一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：
[0005]一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，包括一号安装台，所述一号安装台上设置有横向纵向调节台，所述横向纵向调节台上设置有工作台，所述工作台的后侧位置设置有后部支架，所述后部支架上设置有观察镜筒，所述一号安装台上在位于工作台的两侧位置设置有侧面下部安装管，所述侧面下部安装管内设置有内部活动杆，所述内部活动杆上端位置设置有侧面上部安装柱，所述侧面下部安装管之间设置有下部安装板，所述下部安装板上设置有一号螺杆，所述一号螺杆上活动安装有一号移动体，所述侧面上部安装柱之间设置有上部安装板，所述上部安装板的中部位置设置有二号转动杆，所述上部安装板和下部安装板之间设置有斜向支撑板，所述侧面上部安装柱之间在位于上部安装板的上方位置设置有两个上部滑杆，所述上部滑杆上设置有活动安装有中部活动块，所述中部活动块的上端位置设置有侧面安装台，所述侧面安装台的底面在位于中部活动块的两侧设置有V形滑条，所述工作台的侧面位置设置有侧面收纳槽，所述工作台上在位于侧面收纳槽的侧面位置设置有侧面收纳盒，所述侧面收纳盒内设置有折型托起杆，所述折型托起杆之间设置有上部连接杆，所述折型托起杆之间在位于上部连接杆的下方位置设置有下部连接杆，所述侧面收纳盒内在位于上部连接杆的上方位置设置有偏心杆，所述偏心杆上设置有偏心轮。
[0006]优选的，所述侧面安装台底面设置的侧面上部安装柱的数量均为两个，所述侧面上部安装柱的上端位置设置有上部滑槽，所述侧面安装台通过V形滑条与侧面上部安装柱的上部滑槽活动安装。
[0007]优选的，所述二号螺杆位于上部滑杆之间位置，所述二号螺杆上设置有两个侧面转动板，所述侧面转动板位于侧面上部安装柱的内侧位置，所述二号螺杆的外端位置设置有上部调节头。
[0008]优选的，所述下部安装板上设置有两个一号侧面支撑板，所述一号螺杆上设置有连个一号轴承，所述一号螺杆通过一号侧面支撑板与一号侧面支撑板活动安装，所述一号螺杆的外端位置设置有下部调节头。
[0009]优选的，所述中部活动块上对应二号螺杆的位置设置有螺孔，所述一号移动体上对应一号螺杆的位置同样设置有螺孔，所述中部活动块上对应上部滑杆的位置设置有设置有通孔。
[0010]优选的，所述斜向支撑板的上下端位置设置有转动管体，所述斜向支撑板通过转动管体分别于一号转动杆、二号转动杆活动安装。
[0011]优选的，所述二号转动杆的两端位置设置有二号侧面支撑板，且通过二号侧面支撑板与上部安装板固定安装。
[0012]优选的，所述折型托起杆的数量为两个，且活动安装在侧面收纳槽内，所述侧面收纳盒两侧对应偏心杆的位置设置有通孔，所述偏心杆活动安装在侧面收纳盒的通过内，所述偏心杆的外端位置设置有侧面调节头。
[0013]优选的，所述下部连接杆位于侧面收纳盒的下方位置，所述折型托起杆上在位于上部连接杆的下方位置设置有内部弹簧，所述内部弹簧位于侧面收纳盒内。
[0014]与现有技术相比，本专利技术具有如下有益效果：通过设置的一号螺杆等结构，通过一号螺杆的转动，从而使得下部移动体能够活动移动，从而推动斜向支撑板的下端进行移动，使得斜向支撑板的上端推动上部安装板向上移动，从而将侧面安装台上下调节，便于竖向调节侧面安装台的高度；
[0015]通过设置的二号螺杆等结构，从而使得中部移动块能够水平移动，从而使得侧面安装台22能够被中部移动块带动水平移动，从而便于调节侧面安装台的水平位置；
[0016]通过设置的折型托起杆等结构，当晶圆片放置于工作台上检测完成后，通过转动偏心轮，使得折型托起杆向上移动，从而将晶圆片的一侧托起，便于工作人员取出晶圆片。
附图说明
[0017]图1为本专利技术一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台的整体结构示意图；
[0018]图2为本专利技术一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台的侧面下部安装管和侧面上部安装柱的结构示意图；
[0019]图3为本专利技术一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台的上部安装板的结构示意图；
[0020]图4为本专利技术一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台的侧面安装台的结构示意图；
[0021]图5为本专利技术一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台的侧面收纳盒的结构示意图；
[0022]图6为本专利技术一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台的折型托起杆的结构示意图。
[0023]图中：1、一号安装台；2、横向纵向调节台；3、工作台；4、后部支架；5、观察镜筒；6、侧面下部安装管；7、侧面上部安装柱；8、内部活动杆；9、上部滑槽；10、上部滑杆；11、下部安装板；12、一号侧面支撑板；13、一号轴承；14、一号螺杆；15、一号移动体；16、一号转动杆；17、上部安装板；18、二号侧面支撑板；19、二号转动杆；20、斜向支撑板；21、转动管体；22、侧面安装台；23、V形滑条；24、中部活动块；25、二号螺杆；26、侧面转动板；27、上部调节头；28、侧面收纳槽；29、侧面收纳盒；30、折型托起杆；31、上部连接杆；32、下部连接杆；33、内部弹簧；34、偏心杆；35、侧面调节头；36、偏心轮；37、下部调节头。
具体实施方式
[0024]为使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本专利技术。
[0025]如图1
‑
6所示，一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，包括一号安装台1，一号安装台1上设置有横向纵向调节台2，横向纵向调节台2上设置有工作台3，工作台3的后侧位置设置有后部支架4，后部支架4上设置有观察镜筒5，一号安装台1上在位于工作台3的两侧位置设置有侧面下部安装管6，侧面下部安装管6内设置有内部活动杆8，内部活动杆8上端位置设置有侧面上部安装柱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，其特征在于：包括一号安装台(1)，所述一号安装台(1)上设置有横向纵向调节台(2)，所述横向纵向调节台(2)上设置有工作台(3)，所述工作台(3)的后侧位置设置有后部支架(4)，所述后部支架(4)上设置有观察镜筒(5)，所述一号安装台(1)上在位于工作台(3)的两侧位置设置有侧面下部安装管(6)，所述侧面下部安装管(6)内设置有内部活动杆(8)，所述内部活动杆(8)上端位置设置有侧面上部安装柱(7)，所述侧面下部安装管(6)之间设置有下部安装板(11)，所述下部安装板(11)上设置有一号螺杆(14)，所述一号螺杆(14)上活动安装有一号移动体(15)，所述侧面上部安装柱(7)之间设置有上部安装板(17)，所述上部安装板(17)的中部位置设置有二号转动杆(19)，所述上部安装板(17)和下部安装板(11)之间设置有斜向支撑板(20)，所述侧面上部安装柱(7)之间在位于上部安装板(17)的上方位置设置有两个上部滑杆(10)，所述上部滑杆(10)上设置有活动安装有中部活动块(24)，所述中部活动块(24)的上端位置设置有侧面安装台(22)，所述侧面安装台(22)的底面在位于中部活动块(24)的两侧设置有V形滑条(23)，所述工作台(3)的侧面位置设置有侧面收纳槽(28)，所述工作台(3)上在位于侧面收纳槽(28)的侧面位置设置有侧面收纳盒(29)，所述侧面收纳盒(29)内设置有折型托起杆(30)，所述折型托起杆(30)之间设置有上部连接杆(31)，所述折型托起杆(30)之间在位于上部连接杆(31)的下方位置设置有下部连接杆(32)，所述侧面收纳盒(29)内在位于上部连接杆(31)的上方位置设置有偏心杆(34)，所述偏心杆(34)上设置有偏心轮(36)。2.根据权利要求1所述的一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，其特征在于：所述侧面安装台(22)底面设置的侧面上部安装柱(7)的数量均为两个，所述侧面上部安装柱(7)的上端位置设置有上部滑槽(9)，所述侧面安装台(22)通过V形滑条(23)与侧面上部安装柱(7)的上部滑槽(9)活动安装。3.根据权利要求1所述的一种具有高性能高效率的晶圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨凯翔，
申请(专利权)人：广东万维半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：