高低温冲击系统技术方案

本发明专利技术公开了一种高低温冲击系统，搅拌风扇将气流产生器产生的气流搅拌后送到气罩内；测试板设置在气罩内；测试板包括2个测试卡座；测试卡座用于插接待测芯片；2个测试卡座的一侧分别附着有热电偶；2个热电偶的正负极之间的电压分别经数字转换器转换为第一数字温度值、第一数字温度值发送到微控制器；当第一数字温度值及第二数字温度值同当前目标温度的差值的绝对值均小于设定温差时，微控制器输出报警驱动信号到报警电路，驱动报警电路发出报警信号。本发明专利技术的高低温冲击系统，能准确快速确定高低温冲击气罩内温度是否稳定，使两颗测试芯片样品均能在规定温度下开始测试，能够准确测试获得芯片样品的真实参数。确测试获得芯片样品的真实参数。确测试获得芯片样品的真实参数。

【技术实现步骤摘要】
高低温冲击系统


[0001]本专利技术涉及半导体检测技术，具体涉及一种高低温冲击系统。

技术介绍

[0002]目前半导体业界使用的高低温冲击系统，采用高低温气流直接冲击测试样品，由于在高低温测试过程中气流温度变换方式为25℃
→
0℃
→-
40℃
→
125℃
→
25℃。温变频繁，温差较大，机台喷头的位置和热电偶的位置使测试芯片样品之间存在温差，导致芯片样品测试数据出现偏差。
[0003]测试温度未达到指定温度会导致芯片样品读点测试数据偏差，数据无法准确显示出芯片样品各个读点的数据变化趋势，导致后续数据分析的干扰。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是提供一种高低温冲击系统，能准确快速确定高低温冲击气罩内温度是否稳定，使两颗测试芯片样品均能在规定温度下开始测试，能够准确测试获得芯片样品的真实参数。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供的高低温冲击系统，其包括气流产生器、搅拌风扇、气罩、测试板、热电偶、编程逻辑控制器及报警电路；
[0006]所述气流产生器，用于产生相应温度的气流；
[0007]所述搅拌风扇，用于将所述气流产生器产生的气流搅拌后送到气罩内；
[0008]所述测试板设置在所述气罩内；
[0009]所述测试板包括2个测试卡座；
[0010]测试卡座用于插接待测芯片；
[0011]第一测试卡座的一侧附着有第一热电偶；
[0012]第二测试卡座的一侧附着有第二热电偶；
[0013]第一热电偶的正负极之间的电压经数字转换器转换为第一数字温度值发送到所述微控制器的第一输入端；
[0014]第二热电偶的正负极之间的电压经数字转换器转换为第二数字温度值发送到所述微控制器的第二输入端；
[0015]当所述第一数字温度值同当前目标温度的差值的绝对值，以及当所述第二数字温度值同当前目标温度的差值的绝对值，均小于设定温差时，所述微控制器输出报警驱动信号到所述报警电路；
[0016]所述报警电路，当接收到报警驱动信号，发出报警信号。
[0017]较佳的，高低温冲击系统还包括一测试控制器；
[0018]所述测试控制器，用于发送当前目标温度控制信号到气流产生器，并同时发送对应当前目标温度到所述微控制器的第三输入端；
[0019]所述气流产生器，用于根据当前目标温度控制信号产生相应温度的气流。
[0020]较佳的，第一测试卡座、第二测试卡座前后邻接设置；
[0021]第一热电偶、第二热电偶分别贴附在第一测试卡座、第二测试卡座的左侧面或右侧面。
[0022]较佳的，高低温冲击系统还包括2个八段数码管；
[0023]所述2个八段数码管分别接所述微控制器的输出端；
[0024]第一个八段数码管用于显示所述第一数字温度值同当前目标温度的差值的绝对值；
[0025]第二个八段数码管用于显示所述第二数字温度值同当前目标温度的差值的绝对值；
[0026]绝对值大于或等于8时，八段数码管均显示为8。
[0027]较佳的，所述热电偶为K型热电偶或N型热电偶。
[0028]较佳的，所述热电偶为K型热电偶；
[0029]所述数字转换器均采用美信半导体公司的MAX6675。
[0030]较佳的，所述设定温差在0.1℃～1℃之间。
[0031]较佳的，所述报警电路包括一报警指示灯；
[0032]所述报警电路，当接收到报警驱动信号，点亮所述报警指示灯发出光报警信号。
[0033]较佳的，所述报警电路包括一蜂鸣器；
[0034]所述报警电路，当接收到报警驱动信号，使所述蜂鸣器加电发出声音报警信号。
[0035]较佳的，所述报警电路包括一报警指示灯及一蜂鸣器；
[0036]所述报警电路，当接收到报警驱动信号，点亮所述报警指示灯发出光报警信号，并使所述蜂鸣器加电发出声音报警信号。
[0037]本专利技术的高低温冲击系统，通过气罩内的热电偶和数字转换器将测试芯片样品所在测试卡座的温度转化为数字电信号，再传送给微控制器，微控制器判断2个测试卡座的温度同当前目标温度是否均一致，如果2个测试卡座(Socket)的温度均稳定同当前目标温度一致，微控制器驱动报警电路发出报警信号，提示可以进行测试了，能准确快速确定高低温冲击气罩内温度是否稳定，使两颗测试芯片样品均能在规定温度下开始测试，能够准确测试获得芯片样品的真实参数，确保测试数据的有效性，及时发现失效芯片样品，从而减少失效芯片样品混入后续质量测试的概率，有利于后续单个晶圆和整组晶圆数据分析，缩短芯片样品测试时间，提高测试资源利用率。
附图说明
[0038]为了更清楚地说明本专利技术的技术方案，下面对本专利技术所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0039]图1是本专利技术的高低温冲击系统一实施例电路图。
具体实施方式
[0040]下面将结合附图，对本专利技术中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普
通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0041]实施例一
[0042]高低温冲击系统包括气流产生器、搅拌风扇、气罩、测试板、热电偶、编程逻辑控制器(PLC)及报警电路；
[0043]所述气流产生器，用于产生相应温度的气流；
[0044]所述搅拌风扇，用于将所述气流产生器产生的气流搅拌均匀后送到气罩内，使气罩内的气流不存在较大温差；
[0045]所述测试板设置在所述气罩内；
[0046]所述测试板包括2个测试卡座(Socket)；
[0047]测试卡座用于插接待测芯片；
[0048]第一测试卡座的一侧附着有第一热电偶；
[0049]第二测试卡座的一侧附着有第二热电偶；
[0050]第一热电偶的正负极之间的电压经数字转换器转换为第一数字温度值发送到所述微控制器的第一输入端；
[0051]第二热电偶的正负极之间的电压经数字转换器转换为第二数字温度值发送到所述微控制器的第二输入端；
[0052]当所述第一数字温度值同当前目标温度的差值的绝对值，以及当所述第二数字温度值同当前目标温度的差值的绝对值，均小于设定温差时，所述微控制器输出报警驱动信号到所述报警电路；
[0053]实施例一的高低温冲击系统，通过气罩内的热电偶和数字转换器将测试芯片样品所在测试卡座的温度转化为数字电信号，再传送给微控制器，微控制器判断2个测试卡座的温度同当前目标温度是否均一致，如果2个测试卡座(Socket)的温度均稳定同当前目标温本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高低温冲击系统，其特征在于，其包括气流产生器、搅拌风扇、气罩、测试板、热电偶、编程逻辑控制器及报警电路；所述气流产生器，用于产生相应温度的气流；所述搅拌风扇，用于将所述气流产生器产生的气流搅拌后送到气罩内；所述测试板设置在所述气罩内；所述测试板包括2个测试卡座；测试卡座用于插接待测芯片；第一测试卡座的一侧附着有第一热电偶；第二测试卡座的一侧附着有第二热电偶；第一热电偶的正负极之间的电压经数字转换器转换为第一数字温度值发送到所述微控制器的第一输入端；第二热电偶的正负极之间的电压经数字转换器转换为第二数字温度值发送到所述微控制器的第二输入端；当所述第一数字温度值同当前目标温度的差值的绝对值，以及当所述第二数字温度值同当前目标温度的差值的绝对值，均小于设定温差时，所述微控制器输出报警驱动信号到所述报警电路；所述报警电路，当接收到报警驱动信号，发出报警信号。2.根据权利要求1所述的高低温冲击系统，其特征在于，高低温冲击系统还包括一测试控制器；所述测试控制器，用于发送当前目标温度控制信号到气流产生器，并同时发送对应当前目标温度到所述微控制器的第三输入端；所述气流产生器，用于根据当前目标温度控制信号产生相应温度的气流。3.根据权利要求1所述的高低温冲击系统，其特征在于，第一测试卡座、第二测试卡座前后邻接设置；第一热电偶、第二热电偶分别贴附在第一测试卡座、第二测...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭伟，程铖，吴奇伟，尹彬锋，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：