本实用新型专利技术涉及一种夹具，尤其涉及一种晶圆测试夹具。本实用新型专利技术的目的是提供一种能够降低影响的晶圆测试夹具。本实用新型专利技术提供了这样一种晶圆测试夹具，包括有橡胶垫、放置板、夹紧块、滑动块、齿条、转轴和齿轮等，放置板顶部连接有橡胶垫，放置板左右两侧中部均开有滑槽，滑槽上均滑动式连接有滑动块，滑动块内侧均连接有用于夹紧晶圆的夹紧块，左侧的滑动块前侧连接有齿条，右侧的滑动块后侧也连接有齿条，放置板底部中间转动式连接有转轴，转轴下部连接有齿轮，齿条均与齿轮相互啮合。本实用新型专利技术通过夹紧块与晶圆侧边接触，能够使夹紧块对晶圆进行夹紧，从而防止晶圆在测试过程中发生移动，进而不会影响人们对晶圆的检测。进而不会影响人们对晶圆的检测。进而不会影响人们对晶圆的检测。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆测试夹具
[0001]本技术涉及一种夹具，尤其涉及一种晶圆测试夹具。
技术介绍
[0002]随着航空航天、汽车电子、军用、光伏、工业自动化等许多领域技术的不断发展，芯片在各种极端温度环境下的应用也越来越广泛，在芯片的研发生产中，晶圆高低温测试变得越发重要。
[0003]现有的大部分对晶圆测试时的夹具中，在夹持晶圆时，夹具会与晶圆表面需要检测的部分接触，从而会影响人们对晶圆的检测，造成检测不精确的现象。
[0004]因此，针对上述不足之处，提供了一种能够降低影响的晶圆测试夹具。
技术实现思路
[0005]为了克服人们在使用大部分现有的晶圆夹具时，夹具会与晶圆表面需要检测的部分接触，从而会影响人们对晶圆的检测的缺点，本技术的目的是提供一种能够降低影响的晶圆测试夹具。
[0006]本技术通过以下技术途径实现：
[0007]一种晶圆测试夹具，包括有橡胶垫、放置板、夹紧块、滑动块、齿条、转轴、齿轮、导向杆、固定块和弹性件，放置板顶部连接有橡胶垫，放置板左右两侧中部均开有滑槽，滑槽上均滑动式连接有滑动块，滑动块内侧均连接有用于夹紧晶圆的夹紧块，左侧的滑动块前侧连接有齿条，右侧的滑动块后侧也连接有齿条，放置板底部中间转动式连接有转轴，转轴下部连接有齿轮，齿条均与齿轮相互啮合，放置板底部左右两侧均连接有固定块，滑动块内侧下部均连接有导向杆，左右两侧的导向杆分别与左右两侧的固定块滑动式连接，左右两侧的固定块分别与左右两侧的滑动块之间连接有弹性件，左右两侧的弹性件分别绕在左右两侧的导向杆上。
[0008]进一步地，还包括有滑块、定位架和导向板，放置板左右两侧均连接有滑块，滑块外侧均滑动式连接有导向板，导向板外侧之间连接有用于间隔放置晶圆的定位架。
[0009]进一步地，还包括有把手，放置板底部前侧中间连接有用于拉动作用的把手。
[0010]进一步地，还包括有限位架，定位架内部后侧连接有用于限位作用的限位架。
[0011]进一步地，还包括有防滑套，定位架底部左右两侧均前后对称式连接有用于防止打滑的防滑套。
[0012]进一步地，弹性件为压缩弹簧。
[0013]本技术提供了一种晶圆测试夹具，具备的优点是：
[0014]1、本技术通过夹紧块与晶圆侧边接触，能够使夹紧块对晶圆进行夹紧，从而防止晶圆在测试过程中发生移动，进而不会影响人们对晶圆的检测。
[0015]2、本技术在定位架的作用下，能够放置较多的晶圆，从而方便人们对较多的晶圆进行间隔放置。
[0016]3、本技术通过拉动把手向前移动，能够带动放置板向前移动，从而方便人们拉动放置板向前移动。
附图说明
[0017]图1为本技术的立体结构示意图。
[0018]图2为橡胶垫、晶圆和放置板等零部件的立体结构示意图。
[0019]图3为夹块、齿条和转轴等零部件的立体结构示意图。
[0020]图4为定位架和导向板等零部件的立体结构示意图。
[0021]图5为限位架和防滑套等零部件的立体结构示意图。
[0022]附图标号：1_橡胶垫，3_放置板，4_滑槽，5_夹紧块，51_滑动块，6_齿条，7_转轴，8_齿轮，9_导向杆，10_固定块，11_弹性件，12_把手，121_滑块，13_定位架，14_导向板，15_限位架，16_防滑套。
具体实施方式
[0023]以下结合说明书附图进一步阐述本技术，并结合说明书附图给出本技术的实施例。
[0024]实施例1
[0025]一种晶圆测试夹具，包括有橡胶垫1、放置板3、夹紧块5、滑动块51、齿条6、转轴7、齿轮8、导向杆9、固定块10和弹性件11，参看图1
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图3所示，放置板3顶部连接有橡胶垫1，放置板3左右两侧中部均开有滑槽4，两个滑槽4上均滑动式连接有滑动块51，两个滑动块51内侧均连接有夹紧块5，通过夹紧块5与晶圆接触，能够使夹紧块5对晶圆进行固定，左侧的滑动块51前侧连接有齿条6，右侧的滑动块51后侧也连接有齿条6，放置板3底部中间转动式连接有转轴7，转轴7下部连接有齿轮8，两个齿条6均与齿轮8相互啮合，放置板3底部左右两侧均焊接有固定块10，两个滑动块51内侧下部均连接有导向杆9，左右两侧的导向杆9分别与左右两侧的固定块10滑动式连接，左右两侧的固定块10分别与左右两侧的滑动块51之间连接有弹性件11，弹性件11为压缩弹簧，左右两侧的弹性件11分别绕在左右两侧的导向杆9上。
[0026]当人们需要使用该晶圆测试夹具时，首先将拉动一侧的滑动块51向外侧移动，从而带动夹紧块5、齿条6和导向杆9向外侧移动，弹性件11拉伸，期间齿条6会带动齿轮8和转轴7进行转动，从而带动另一侧的齿条6、滑动块51、导向杆9和夹紧块5向外侧移动，另一侧的弹性件11拉伸，然后人们即可将晶圆放置在橡胶垫1上，再松开滑动块51，在弹性件11的弹力作用下，弹性件11带动滑动块51、导向杆9、夹紧块5和齿条6向内侧移动，从而带动齿轮8和转轴7进行反转，使夹紧块5与晶圆侧边接触，从而使夹紧块5对晶圆进行夹紧，进而防止晶圆发生移动，然后人们即可搬动放置板3移动至指定位置对晶圆进行温度测试，当人们测试完成后，拉动一侧的滑动块51向外侧移动，从而带动导向杆9、齿条6和夹紧块5向外侧移动，弹性件11拉伸，使夹紧块5与晶圆分离，从而使夹紧块5松开晶圆，再将晶圆取出，晶圆与橡胶垫1分离，然后松开滑动块51，弹性件11恢复原状，弹性件11带动滑动块51、导向杆9、夹紧块5和齿条6向内侧移动复位，从而带动齿轮8和转轴7反转复位即可。
[0027]实施例2
[0028]在实施例1的基础之上，还包括有滑块121、定位架13和导向板14，参看图1、图3和图4所示，放置板3左右两侧均连接有滑块121，两个滑块121外侧均滑动式连接有导向板14，两个导向板14外侧之间连接有定位架13，通过人们将较多晶圆间隔放置在定位架13，能够对较多的晶圆进行放置。
[0029]当人们需要对晶圆进行测试时，先将放置板3放置在定位架13上，使滑块121与导向板14接触，然后推动放置板3向后移动，从而带动滑块121和晶圆向后移动，使滑块121位于导向板14中部，从而使放置板3和晶圆位于定位架13内部，当人们需要放置较多晶圆时，重复上述操作即可，进而方便人们间隔放置较多的晶圆，然后人们即可对晶圆进行温度测试，使晶圆均匀受热，当人们测试完成后，拉动放置板3向前移动，从而带动滑块121和晶圆向前移动，使滑块121与导向板14分离即可。
[0030]还包括有把手12，参看图2和图3所示，放置板3底部前侧中间连接有把手12，通过拉动把手12向前移动，能够带动放置板3向前移动。
[0031]当人们需要拉动放置板3向前移动时，可以拉动把手12向前移动，从而带动放置板3向前移动，进而方便人们拉动放置板3向前移动。
[0032]还包括有限位架15，参看图5所本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆测试夹具，其特征在于，包括有橡胶垫(1)、放置板(3)、夹紧块(5)、滑动块(51)、齿条(6)、转轴(7)、齿轮(8)、导向杆(9)、固定块(10)和弹性件(11)，放置板(3)顶部连接有橡胶垫(1)，放置板(3)左右两侧中部均开有滑槽(4)，滑槽(4)上均滑动式连接有滑动块(51)，滑动块(51)内侧均连接有用于夹紧晶圆的夹紧块(5)，左侧的滑动块(51)前侧连接有齿条(6)，右侧的滑动块(51)后侧也连接有齿条(6)，放置板(3)底部中间转动式连接有转轴(7)，转轴(7)下部连接有齿轮(8)，齿条(6)均与齿轮(8)相互啮合，放置板(3)底部左右两侧均连接有固定块(10)，滑动块(51)内侧下部均连接有导向杆(9)，左右两侧的导向杆(9)分别与左右两侧的固定块(10)滑动式连接，左右两侧的固定块(10)分别与左右两侧的滑动块(51)之间连接有弹性件(11)，左右两侧的弹性件(11)分...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨凯翔，陈朝杰，张文清，
申请(专利权)人：广东万维半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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