一种半导体检测用探针检测台制造技术

技术编号:38425286 阅读:12 留言:0更新日期:2023-08-07 11:23
本发明专利技术涉及一种探针检测台,尤其涉及一种半导体检测用探针检测台。需要设计一种能够对半导体进行居中定位后再进行探针检测,提高检测精准性的半导体检测用探针检测台。一种半导体检测用探针检测台,包括有支撑架、升降板和电动推杆等,支撑架上部滑动式的套装有升降板,支撑架外左侧面下部固接有电动推杆。本发明专利技术通过运料皮带组件带动半导体移动至升降板正下方,然后启动电动推杆使得海绵定位块向下移动,且通过限位架的作用,使得限位杆带动海绵定位块向内移动将半导体居中定位,再启动探针模组对半导体进行检测,通过显微镜对半导体的检测情况进行查看,如此,通过海绵定位块的作用,能够在检测前将半导体居中定位,从而提高检测精准性。高检测精准性。高检测精准性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体检测用探针检测台


[0001]本专利技术涉及一种探针检测台,尤其涉及一种半导体检测用探针检测台。

技术介绍

[0002]半导体生产出来后,需要进行检测处理,而半导体的检测需要使用到探针检测台。
[0003]公开号为CN215812867U的中国专利公开了一种半导体探针测试台,探针台下方设有底座,底座内设有用于带动探针台旋转的旋转组件、用于驱动旋转组件旋转的驱动组件以及用于带动探针台升降的升降组件,上述专利虽然能够通过探针对半导体进行检测,但由于半导体放入摆放台内后直接进行检测,放置的过程中容易导致半导体位置出现偏差不是处于居中的位置,影响检测的精准性。
[0004]本专利技术旨在解决上述专利中存在的问题,为此,提出一种能够对半导体进行居中定位后再进行探针检测,提高检测精准性的半导体检测用探针检测台。

技术实现思路

[0005]为了克服上述专利虽然能够通过探针对半导体进行检测,但由于半导体放入摆放台内后直接进行检测,放置的过程中容易导致半导体位置出现偏差不是处于居中的位置,影响检测的精准性的缺点,本专利技术提供一种能够对半导体进行居中定位后再进行探针检测,提高检测精准性的半导体检测用探针检测台。
[0006]本专利技术通过以下技术途径实现:
[0007]一种半导体检测用探针检测台,包括有支撑架、升降板、电动推杆、显微镜和探针模组,支撑架上部滑动式的套装有升降板,支撑架外左侧面下部固接有电动推杆,电动推杆的伸缩杆端部与升降板左侧固定连接,升降板顶部中间固接有显微镜,升降板顶部左前侧固接有用于对半导体进行检测的探针模组,还包括有运料机构和定位机构,支撑架上设置有用于带动半导体移动的运料机构,升降板上设置有用于将半导体居中定位的定位机构。
[0008]进一步的说明,运料机构包括有支撑板、运料皮带组件和伺服电机,支撑架前后两侧面上部都左右对称固接有支撑板,四块支撑板外端之间转动式的连接有用于带动半导体向前移动进行检测的运料皮带组件,前方左侧支撑板前部固接有伺服电机,伺服电机的输出轴与运料皮带组件左前侧固定连接。
[0009]进一步的说明,定位机构包括有限位架、第一弹簧、限位杆、第二弹簧和海绵定位块,升降板内侧沿周向均匀间隔的滑动式连接有四根限位杆,四根限位杆内侧都与升降板内侧之间连接有第二弹簧,四根限位杆内端都固接有用于对半导体进行居中定位的海绵定位块,升降板内侧沿周向滑动连接有用于带动限位杆向内移动的限位架,限位架向下移动与支撑架接触,限位架外顶部左右两侧都与升降板内侧之间前后对称连接有第一弹簧。
[0010]进一步的说明,还包括有用于对半导体进行压紧限位的限位机构,限位机构包括有活塞筒、活塞架、第三弹簧、导气管和气垫,升降板底部中间沿周向均匀间隔的固接有用于将半导体进行压紧限位的四个气垫,升降板顶部右侧前后对称固接有活塞筒,前后两侧
活塞筒内侧之间滑动式的连接有活塞架,活塞架前后两侧下部分别与右方前后两侧限位架下部固定连接,活塞架内底部与升降板底部右侧之间前后对称连接有第三弹簧,前后两侧活塞筒左侧上部都连通有用于将空气排入气垫内的导气管,前后两侧导气管尾端分别与前后两侧气垫固定连接并连通。
[0011]进一步的说明,还包括有用于将半导体限位的脱料机构,脱料机构包括有脱料架、第四弹簧、磁轨、铁块和第五弹簧,升降板左部前后对称滑动式的穿接有用于对半导体进行限位的脱料架,前后两侧脱料架下部都与升降板内侧之间连接有三根第四弹簧,支撑架左侧上部前后对称固接有一组磁轨,每组磁轨的数量为两个,每组两个磁轨之间滑动连接有铁块,前后两侧铁块顶部都前后对称转动连接有用于将脱料架限位的夹块,夹块与脱料架对应,每块铁块上的两块夹块左侧面之间连接有第五弹簧。
[0012]进一步的说明,还包括有固定架和定位板,支撑架内左右两侧面下部之间固接有固定架,固定架位于运料皮带组件内侧,固定架顶部固接有用于对运料皮带组件进行支撑的定位板,定位板与运料皮带组件接触。
[0013]进一步的说明,还包括有灯带,升降板内侧下部沿周向固接有用于将半导体照亮的灯带。
[0014]进一步的说明,还包括有防滑块,支撑架底部四个角都固接有防滑块。
[0015]本专利技术其显著进步在于:
[0016]1、通过运料皮带组件带动半导体移动至升降板正下方,然后启动电动推杆使得海绵定位块向下移动,且通过限位架的作用,使得限位杆带动海绵定位块向内移动将半导体居中定位,再启动探针模组对半导体进行检测,通过显微镜对半导体的检测情况进行查看,如此,通过海绵定位块的作用,能够在检测前将半导体居中定位,从而提高检测精准性。
[0017]2、在限位机构的作用下,每当海绵定位块向下移动对半导体进行居中定位后,限位机构运作能够将半导体压紧定位,可防止半导体位置出现偏移现象影响检测,从而提高半导体的稳固性。
[0018]3、在脱料机构的作用下,每当海绵定位块向上移动复位时,脱料机构运作能够将半导体先压紧限位,使得半导体与海绵定位块脱离接触,可防止半导体被海绵定位块带动向上移动与运料皮带组件脱离接触发生掉落的现象导致损坏,从而保证半导体的安全。
附图说明
[0019]图1为本专利技术第一视角立体结构示意图。
[0020]图2为本专利技术第二视角立体结构示意图。
[0021]图3为本专利技术运料机构及定位机构的立体结构示意图。
[0022]图4为本专利技术运料机构的立体结构示意图。
[0023]图5为本专利技术定位机构的立体结构示意图。
[0024]图6为本专利技术限位机构及脱料机构的立体结构示意图。
[0025]图7为本专利技术限位机构的立体结构示意图。
[0026]图8为本专利技术脱料机构的部分立体结构示意图。
[0027]图9为本专利技术铁块的立体结构示意图。
[0028]图10为本专利技术定位板及灯带的立体结构示意图。
[0029]附图中的标记:1:支撑架,2:防滑块,3:升降板,4:电动推杆,5:显微镜,6:探针模组,7:运料机构,71:支撑板,72:运料皮带组件,73:伺服电机,8:定位机构,81:限位架,82:第一弹簧,83:限位杆,84:第二弹簧,85:海绵定位块,9:限位机构,91:活塞筒,92:活塞架,93:第三弹簧,94:导气管,95:气垫,10:脱料机构,101:脱料架,102:第四弹簧,103:磁轨,104:铁块,105:第五弹簧,106:夹块,11:固定架,12:定位板,13:灯带。
具体实施方式
[0030]首先要指出,在不同描述的实施方式中,相同部件设有相同的附图标记或者说相同的构件名称,其中,在整个说明书中包含的公开内容能够按意义转用到具有相同的附图标记或者说相同的构件名称的相同部件上。在说明书中所选择的位置说明、例如上、下、侧向等也参考直接描述的以及示出的附图并且在位置改变时按意义转用到新的位置上。
[0031]实施例1
[0032]一种半导体检测用探针检测台,包括有支撑架1、防滑块2、升本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体检测用探针检测台,包括有支撑架(1)、升降板(3)、电动推杆(4)、显微镜(5)和探针模组(6),支撑架(1)上部滑动式的套装有升降板(3),支撑架(1)外左侧面下部固接有电动推杆(4),电动推杆(4)的伸缩杆端部与升降板(3)左侧固定连接,升降板(3)顶部中间固接有显微镜(5),升降板(3)顶部左前侧固接有用于对半导体进行检测的探针模组(6),其特征是,还包括有运料机构(7)和定位机构(8),支撑架(1)上设置有用于带动半导体移动的运料机构(7),升降板(3)上设置有用于将半导体居中定位的定位机构(8)。2.按照权利要求1所述的一种半导体检测用探针检测台,其特征是,运料机构(7)包括有支撑板(71)、运料皮带组件(72)和伺服电机(73),支撑架(1)前后两侧面上部都左右对称固接有支撑板(71),四块支撑板(71)外端之间转动式的连接有用于带动半导体向前移动进行检测的运料皮带组件(72),前方左侧支撑板(71)前部固接有伺服电机(73),伺服电机(73)的输出轴与运料皮带组件(72)左前侧固定连接。3.按照权利要求2所述的一种半导体检测用探针检测台,其特征是,定位机构(8)包括有限位架(81)、第一弹簧(82)、限位杆(83)、第二弹簧(84)和海绵定位块(85),升降板(3)内侧沿周向均匀间隔的滑动式连接有四根限位杆(83),四根限位杆(83)内侧都与升降板(3)内侧之间连接有第二弹簧(84),四根限位杆(83)内端都固接有用于对半导体进行居中定位的海绵定位块(85),升降板(3)内侧沿周向滑动连接有用于带动限位杆(83)向内移动的限位架(81),限位架(81)向下移动与支撑架(1)接触,限位架(81)外顶部左右两侧都与升降板(3)内侧之间前后对称连接有第一弹簧(82)。4.按照权利要求3所述的一种半导体检测用探针检测台,其特征是,还包括有用于对半导体进行压紧限位的限位机构(9),限位机构(9)包括有活塞筒(91)、活塞架(92)、第三弹簧(93)、导气管(94)和气垫(95),升降板(3)底部中间沿周向均匀间隔的固接有用于将半导体进...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨凯翔陈朝杰张文清
申请(专利权)人:广东万维半导体技术有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1