一种真空镀膜机制造技术

本发明专利技术公开了一种真空镀膜机，涉及镀膜机技术领域，包括真空炉、转架、推车和抽空机构，抽空机构连接真空炉用于将真空炉抽取真空，转架滑动连接在推车上并被推车送入至真空炉的内部，转架包括转动部和滑动部，转动部包括通过支撑杆连接的第一固定架和第二固定架，滑动部包括两呈圆弧形结构的底架，两底架之间通过连杆固定，底架两端分别设置转轮，采用卧式设计，通过推车将转架送入到真空炉的内部，推车上的丝杆能够上下调节导轨的高度，使得导轨的高度能够与滑架的高度持平，方便将转架平稳的推入到真空炉内，并且通过限位杆不仅能够保证转架移动能够保持稳定，还可以通过限位杆旋接锁紧螺帽将转架的位置进行固定。锁紧螺帽将转架的位置进行固定。锁紧螺帽将转架的位置进行固定。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机


[0001]本专利技术涉及镀膜机
，具体涉及一种真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。
[0003]但是现有的镀膜机在使用的时候也存在一定的缺陷，现有的镀膜机转架进入并安装在真空炉内操作麻烦，由于转架上安装需要镀膜的基片，质量大，如果将转架平稳的送入到真空炉的内部需要浪费大量的人力物力，而且如果不能保证转架在转动的时候保持稳定，可能会导致镀膜不均匀。因此我们有必要针对现有技术的不足，而提出一种真空镀膜机。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术中的不足，本专利技术提出一种真空镀膜机，其能够旋转暂时镀膜产品，并且能够适用于不同规格的镀膜样品。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术的一种真空镀膜机，包括真空炉、转架、推车和抽空机构，抽空机构连接真空炉用于将真空炉抽取真空，转架滑动连接在推车上并被推车送入至真空炉的内部，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机，包括真空炉、转架、推车和抽空机构，所述抽空机构连接真空炉用于将真空炉抽取真空，所述转架滑动连接在推车上并被推车送入至真空炉的内部，其特征在于，所述转架包括转动部和滑动部，所述转动部包括通过支撑杆连接的第一固定架和第二固定架，所述滑动部包括两呈圆弧形结构的底架，两所述底架之间通过连杆固定，所述底架两端分别设置转轮，所述第一固定架和第二固定架通过转轮分别与底架呈转动连接，所述转轮的下方还设置滑轮；所述推车包括车架和设置在车架底部的滚轮，所述车架前后内侧壁沿长度方向设置固定座，所述所述固定座上端面沿长度方向设置凹槽，所述凹槽内上下滑动连接呈T形结构的导轨，所述滑轮沿导轨的上端面滚动，所述固定座的底部还通过螺纹旋接丝杆，所述丝杆的顶部支撑导轨的下端面。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述第二固定架上设置若干卡座，所述卡座的连接轴穿过第一固定架连接齿轮，所述第一固定架上设置若干与卡座位置相对应的卡槽，所述卡槽与卡座之间连接用于固定基片的挂架。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机，其特征在于，两所述底架的外侧壁上均垂直连接支撑架，两所述支撑架之间连接设置加热组件，所述加热组件水平设置在第一固定架和第二固定架之间。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述真空炉包括箱炉和箱盖，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：应世强，应佳根，
申请(专利权)人：南京丙辰表面技术有限公司，
类型：发明
国别省市：