一种新结构薄膜热电堆制造技术

本实用新型专利技术是一种用半导体集成电路工艺和微机械工艺制造的薄膜热电堆。以硅片为衬底，热电堆中的热电偶由二种热电薄膜条夹在二氧化硅和氮化硅膜隔离层中，并通过引线孔串联成热电堆。热电堆中心为热端辐射吸收接收区，下面是凹坑和冷端硅片框架，凹坑顶部为电介质支撑膜。芯片上还设计有使热端暴露接收辐照，冷端和热电偶条被盖住的绝缘隔热膜以及膜上的一层或多层高反射散热层。是一种性能优良，作了实质性改进的薄膜热电堆。（*该技术在2010年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术涉及一种采用半导体集成电路工艺和微机械工艺制造的，热电堆中热电偶热端(热结)暴露，冷端(冷结)及热电偶条上面覆盖低热导绝缘隔离层，并在隔离层上面涂覆一层或多层高反射散热层的热电堆，属半导体传感器件。热电堆红外辐射探测器可在室温下工作，环境工作温度范围宽，且对很宽波长范围的红外辐射都能响应，器件制作成本也低，是光子型红外辐射探测器所无法取代的器件，近年来越来越受到世界各国重视。随着微电子和微机械技术的发展，薄膜热电堆进展很快，热电堆器件已商品化，并已研制成线阵和面阵器件。目前，红外辐射热电堆探测器主要是由单元热电偶串联，采用集成电路工艺和微机械工艺制成。其中，单元热电偶可以用半导体、金属或半导体和金属材料配对或混合配对组成，且根据需要热电堆设计成各式各样。显然，单元热电偶的材料配对构成以及性能好坏直接影响着热电堆的设计。1974年日本人公开了一种用铋锑、碲硒块体材料组成设计的辐射热电偶。热电偶设计成竖立式，其中接收热辐射的热端面采用金属箔焊接在热电偶的热端，冷端分别连接在二块铜块上，且铜块分开，外接信号输出连线。此外，这种热电偶的接收热辐射金属箔面设计成与冷端的铜块分隔开，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种采用半导体集成电路工艺和微机械工艺制造的薄膜红外辐射热电堆，包括双面抛光衬底硅片；硅片上的双面二氧化硅（或氮化硅）薄膜层；硅片一面二氧化硅（或氮化硅）层上的氮化硅（或二氧化硅）薄膜层；氮化硅（或二氧化硅）薄膜层上组成热电偶的热电薄膜条；热电薄膜条上的绝缘膜；绝缘膜上的另一种组成热电偶的热电薄膜条；热电薄膜条连接成热电偶并串联成热电堆的引线孔和外引线连接点；芯片热电堆衬底硅片上的凹坑，凹坑四周热电偶冷端衬底硅片框架，凹坑顶部热电偶热端的电介质支撑膜以及红外辐射接收区上的辐射吸收层，其特征在于热电堆中组成热电偶的热电薄膜条上面，有使热电偶热端（热结）暴露，冷端（冷结）及热电偶条被掩盖住的绝缘隔...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：沈德新，卢建国，
申请(专利权)人：中国科学院上海冶金研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]