【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本申请公开了薄膜PZT结构的粘合增强。一种例如用于盘驱动器的微型致动器，包括基底，基底上的夹层结构，以及基底和夹层结构上方的钝化层。该夹层结构具有由贵金属形成的下电极，压电层，以及由贵金属形成的上电极。该微型致动器进一步具有位于下电极和钝化层之间的下粘合层以及位于上电极和钝化层之间的上粘合层中的一个或两个。即该微型致动器可仅具有下粘合层，仅具有上粘合层，或同时具有下粘合层和上粘合层。【专利说明】薄膜PZT结构的粘合增强
技术介绍
硬盘驱动系统（HDD)典型地包括一个或多个数据存储盘。滑块携带的换能磁头用 于从磁盘上的数据磁道读取和写入。磁头万向组件（HGA)通过使换能器沿多个轴万向运动 以跟随媒体表面的形状，允许邻接于磁道的数据换能器磁头的精确定位。微型致动器降低 了 HGA的共振模式并提供第二级位置控制能力。微型致动器可由压电（PZT)或其他材料制 成，以诱发HGA换能器的受控旋转。在可操作时，关联于当前微型致动器设计的限制可包括 对增加的HGA堆叠高度的需求、非对称驱动和共振特性的采用、增加的HGA预加载力的集中 度、以及对用于将电控制信号...
【技术保护点】
一种微型致动器，包括：基底；基底上的夹层结构，所述夹层结构由包括贵金属的下电极、压电层、以及包括贵金属的上电极组成；以及钝化层，位于基底和夹层结构上方；所述微型致动器进一步包括以下一个或两个：下粘合层，位于下电极和钝化层之间；以及上粘合层，位于上电极和钝化层之间。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：D·斯蒂阿迪，田伟，Y·P·金，
申请(专利权)人：希捷科技有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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