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本申请公开了薄膜PZT结构的粘合增强。一种例如用于盘驱动器的微型致动器，包括基底，基底上的夹层结构，以及基底和夹层结构上方的钝化层。该夹层结构具有由贵金属形成的下电极，压电层，以及由贵金属形成的上电极。该微型致动器进一步具有位于下电极和钝化...
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