双面YBCO薄膜结构的超导开关制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双面YBCO薄膜结构的超导开关，工作于在液氮温区具有电、磁以及其优化组合的控制方式，开关主体由双面结构的YBCO薄膜材料构成。超导层被刻蚀空隙(100)阻挡分割成曲折路径；超导层上具有若干散布的刻蚀空孔(3)，且正反两面的刻蚀空孔呈交错排布。采用本实用新型专利技术结构可以增加线路电阻，提高空间结构设计的灵活性和开关的集成度，两超导层间MgO基底良好的传热效果起到平衡热场和临界电流密度分布的作用，大大提高开关模块开断的均匀度和响应速度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于超导能量变换
，是应用超导材料的非线性电阻以实现超导磁体的励磁、闭环运行以及快速去磁的超导开关器件。
技术介绍
高温超导电感磁储能是一种高效的储能技术，与电容储能相比具有储能密度高、稳定性好、系统体积小等优点，已经在交通、航天、电力、医学等领域中得到广泛的应用。超导开关是超导磁储能系统中的关键器件，利用超导-常导相变出现的电阻变化来实现电路的断开与闭合。超导开关和超导磁体组成的系统具有脉冲输出、稳定储能、磁体自保护等功倉泛。高性能的超导开关除了要具有超低损耗的载流性能，还要有快速有效的关断特性包括关断时间和关断电阻两个标准；达到稳态和瞬态下的优良性能是设计与制备高温超导开关的难点。目前制备超导开关的材料有低温NbTi线、高温超导带材(Bi系、Yi系)、超导薄膜、超导块材，不同材料组成的超导开关其结构和性能大相径庭。低温超导材料(工作在4. 2K液氦温区，主要以NbTi合金为代表)制备的超导开关已经得到较多研究，其接头电阻很低，性能良好，技术比较成熟。低温超导材料的使用性能已难以显著提高，特别是苛刻的低温环境要求，极大地限制了其应用的普及。高温超导带材是制备高温超导开本文档来自技高网...

【技术保护点】
双面YBCO薄膜结构的超导开关，工作于在液氮温区具有电、磁、热以及其优化组合的控制方式，开关主体由双面结构的YBCO薄膜材料构成，其特征在于，平面电路采用蛇形走线结构，即超导层被刻蚀空隙(100)阻挡分割成曲折路径；平面电路具有层内通孔，即超导层上具有若干散布的刻蚀空孔(3)，且正反两面的刻蚀空孔呈交错排布。

【技术特征摘要】
1.双面YBCO薄膜结构的超导开关，工作于在液氮温区具有电、磁、热以及其优化组合的控制方式，开关主体由双面结构的YBCO薄膜材料构成，其特征在于，平面电路采用蛇形走线结构，即超导层被刻蚀空隙(100)阻挡分割成曲折路...

【专利技术属性】
技术研发人员：王豫，桂志兴，李海涛，严仲明，王亮，刘阳，
申请(专利权)人：西南交通大学，
类型：实用新型
国别省市：