支撑架制造技术

本发明专利技术提供一种支撑架，其包括有至少一个设置于曝光机的光源产生器与主机工作机台之间的Ｈ型钢（Ｈ－ｂｅａｍ）用以支撑曝光机的光轴传输管路，至少一个设于Ｈ型钢的第一部位的支撑组件，一设于该Ｈ型钢的第二部位的信号发射器，以及一设于该Ｈ型钢的第三部位的信号接收器，用来检测光轴偏移的现象。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术提供一种支撑物品，特别是一种用来支撑曝光机的光轴传输管路的支撑架。
技术介绍
目前应用于晶圆厂的高能曝光机，多半是将光源产生器等附属机台与步进机(stepper)、扫描机(scanner)等主机工作机台分开置放，以避免工作人员或主机工作机台遭受到光源产生器所产生的高温、微粒(particles)、噪音(noise)、震动(vibration)及高能辐射的影响，造成损害，而且因主机工作机台必需放置在无尘室，以避免污染微粒，确保工艺良品率，然而无尘室的建构成本昂贵，故现行的规划方式大多是将曝光机的光源产生器与主机工作机台分开置放于不同楼层，以节省较多空间来放置更多主机工作机台，进而大幅降低厂务营运的成本。此外，分开楼层放置的光源产生器与主机工作机台间，除放置光轴传输管路与传递透镜组(lens)外，仍会夹杂放置许多其它传输管路造成管路重迭的现象，因此，在曝光机的应用方面，即需一支撑架，用以支撑设置于曝光机的光源产生器与主机工作机台间的光轴传输管路并固定及置放机台本身的电器线路与其它传输管路。请参考图1，图1为传统曝光机装设位置的示意图。如图1所示，光源产生器110与主机工作机台120分别放置于第一楼层130与第二楼层131，光源产生器110经由一光轴传输管路140及透镜组(未图示)传输激光等曝光光源至主机工作机台120，以供给主机工作机台120足够的曝光能量。而置于第一楼层130的光源产生器110与置于第二楼层131的曝光主机工作机台120之间，除放置光轴传输管路140外，仍设置有许多机台本身的电器线路150、151与其它传输管路(图未示)。传统支撑曝光机的结构即利用一支撑板160与多个嵌合组件161、162，来支撑、固定及置放光轴传输管路140、机台本身的电器线路150、151与其它传输管路。然而，因上述的支撑板160与多个嵌合组件161、162大多是在厂房建构完成的后才再架设上去，且置放光源产生器110与主机工作机台120两楼层间又具有会影响支撑板160架构的其它传输管路，因此造成传统技术的支撑结构有支撑效果不佳与装设不易等缺点，在有如地震、人为碰触、施工等外在因素所造成的震动情况下，非常容易受外力而发生偏移或扭曲，影响光轴传输管路140及透镜组的设定位置，使得进入主机工作机台120的曝光光源有光轴偏移的现象产生，造成光源曝光强度及均匀性不佳，进而影响半导体产品的线宽(critical dimension，CD)及产能(throughput)。
技术实现思路
因此，本专利技术的主要目的在于提供一种支撑架，用以支撑曝光机的光源产生器与主机工作机台间的光轴传输管路，以解决上述传统技术支撑光轴传输管路效果不佳的问题。而本专利技术的又一目的在于实时检测光轴的偏移，一但当光轴产生偏移时，便可迅速发出一警告信号，用以警告工作人员注意调整或直接暂停半导体工艺，以避免制造出品质不佳的产品。依据本专利技术的目的，本专利技术公开一用来支撑曝光机的光轴传输管路的支撑架，其包括有至少一个设置于曝光机的光源产生器与主机工作机台之间的H型钢，用以支撑曝光机的光轴传输管路，至少一个设于H型钢的第一部位的支撑组件，一设于H型钢的第二部位的信号发射器，以及一设于H型钢的第三部位的信号接收器，用来检测光轴的偏移。由于本专利技术利用H型钢作为支撑架，因此具有刚性强、体积小、材料规格容易取得、安装容易、且固定效果好等优点，故能有效避免因外在震动造成的支撑效果不佳而引起光轴偏移，进而确保曝光光源能稳定地进入主机工作机台。再者，本专利技术更利用信号发射器与信号接收器来对支撑架的结构位置进行一检测机制，以在一发生光轴偏移的时候，便能立即产生一警告信号予工作人员或直接暂停曝光工艺，进而避免因光轴偏移而制造出品质不佳的产品，造成不必要的损失。此外，因本专利技术的H型钢拆装容易、组合机动性高，故可减低管路重迭机会，以大幅节省移动管路的时间。为使更进一步了解本专利技术的特征及
技术实现思路
，以下即借由一实施方式来详细说明本专利技术。然而，以下所附的优选实施方式及附图仅供参考及说明之用，而非用来限制本专利技术的范围。附图说明图1为传统曝光机装设位置的示意图。图2为本专利技术的支撑架的立体示意图。图3为如图2所示的支撑架的侧视图。图4为本专利技术的支撑架的应用示意图。图5为本专利技术的支撑架的前视图。符号说明 具体实施方式请参考图2、图3与图4，图2为本专利技术的支撑架250的立体示意图，图3为图2所示的支撑架250的侧视图，图4为本专利技术的支撑架250的应用示意图。如图2和图3所示，支撑架250包括有多个平行设置的H型钢260、261及支撑组件262～267，其中支撑组件262～267用以使H型钢260、261与楼层固定接合，并支撑H型钢260、261，举例来说，如图4所示，多个支撑组件262～264的一端设于H型钢260的第一部位，例如底端部，另一端设于楼层230的地板上，如此设计使得H型钢260与楼层230可良好地固定接合，并有效地支撑H型钢260。而上述的支撑组件262～267的数量及样式更可视实际需求而为大小形状不一、数量不等的组件，例如可为六个角支撑座，而角支撑座又可为L型的角支撑座或直角三角形的角支撑座，用以固定H型钢260、261于设置楼层230的地板上，而本专利技术的支撑组件的设置位置当不仅限于上述的位置，亦可设置多个支撑组件(图未示)，用来将H型钢260、261固定于设置楼层的天花板上。另外，支撑架250可另包括至少一如铆钉或螺丝等的固定组件(图未示)，用以将各H型钢260、261与各支撑组件262～267固定连接，例如可透过铆钉将该H型钢260的底端部分别与支撑组件262～264的一端拴紧，以固定连接H型钢260。又如图4所示，支撑架250更另可包括至少一个嵌合组件270、271及连接于二H型钢之间的一固定板280、281，以嵌合光轴传输管路240与H型钢260、261，然而本专利技术的嵌合组件270、271的结构并不仅限于如图4所示的结构。接着，请参考图5，图5为本专利技术的支撑架的前视图，如图5所示，H型钢260、261上设置有二个固定板280、281，其中固定板280、281可含有多个孔洞，透过嵌合组件270、271选择嵌合固定板280、281上的孔洞，得以让H型钢260、261可以调整彼此之间的距离至适当大小，以避开机台本身的电器线路与其它传输管路，并支撑光轴传输管路240。此外，如图3所示，本专利技术另有一信号发射器268设于H型钢261的第二部位以及一与信号发射器268作用的信号接收器269设于H型钢261的第三部位。其中，第二部位与第三部位分别位于H型钢261的上方与下方，作为检测H型钢261的偏移、延展、扭曲等形变，进而得以用来监测固定于H型钢260、261上的光轴传输管路240(如图4所示)所可能产生的偏移。此外，并可使用上述的铆钉或螺丝等固定组件来拴紧信号发射器268与H型钢261或者拴紧信号接收器269与H型钢261。而值得注意的是，本专利技术的信号发射器268与其相作用的信号接收器269不限于一组，且信号发射器268与信号接收器269所设置的第二部位与第三部位，并不局限位于同一H型钢上，亦可分别各装设于相异的H型钢上，以检测水平位置是否偏移，例如信号发射器268位于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种支撑架，该支撑架包括有：至少一个Ｈ型钢，用以支撑位于曝光设备的主机工作机台与附属机台之间的光轴传输管路；至少一个支撑组件，设于该Ｈ型钢的第一部位；一信号发射器，设于该Ｈ型钢的第二部位；以及一信号接收器，设于该Ｈ型钢的第三部位。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈茂森，王宏祺，郭宗铭，
申请(专利权)人：力晶半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[]