一种过载缓冲保护装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种过载缓冲保护装置，包括：可被提升的主动块；与接版机械手相连的从动块；弹性元件，连接主动块和从动块；检测主动块和从动块相对位移的传感装置，所述传感装置通过控制回路实时地控制电机紧急制动。本发明专利技术通过主动块、从动块和弹性元件构成过载缓冲保护装置，同时通过过载传感装置实现对电机的控制，从而避免了在交接掩模版过程中出现垂向过载情况，以有效地保护掩模版和承版台，经过实际测试，在实际工作中不仅有效、而且安全可靠，大大降低了损伤掩模版或承版台的机率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种过载缓冲保护装置，尤其涉及一种应用于光刻设备上的过载缓冲保护装置。
技术介绍
在超大规模集成电路光学光刻中，决定微细图形最细线宽的主要因素是光刻设备的光刻工作分辨力，而掩模版和硅片的同步扫描运动是影响光刻分辨力的关键因素之一。随着大规模集成电路器件集成度的提高，光刻机工作分辨率和产率要求愈来愈高，即要求光刻机承版台和承片台的同步运动精度和步近扫描速度也得愈来愈高。现有的光刻设备在交接掩模版时，如果承版台和接版机械手位置未对准或传感器失效，接版机械手就会撞到承版台上。而承版台是一个非常精密的贵重核心部件，所以保护不必要的损伤是非常重要的。此外，在和版叉交接掩模版时，若未对准时，也会出现碰撞现象，所以设置过载保护是非常必要的。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种掩模版传输时的过载缓冲保护装置。本专利技术是通过以下技术方案实现的一种过载缓冲保护装置，包括可被提升的主动块；与接版机械手相连的从动块；弹性元件，连接主动块和从动块；检测主动块和从动块相对位移的传感装置，所述传感装置通过控制回路实时地控制电机紧急制动。传感装置包括过载传感器和过载传感器检测片，其中，过载传感器固定在从动块上，过载传感器检测片固定在主动块上，或者，过载传感器固定在主动块上，过载传感器检测片固定在从动块上。所述过载缓冲保护装置还包括定位销钉，引导主动块相对于从动块运动，调整主动块和从动块之间的最大位移量。所述过载缓冲保护装置还包括了上、下限位传感器，限定主动块和从动块的移动范围。电机通过齿形带驱动丝杠，带动主动块上升。主动块通过弹性元件拉动固定在一起的从动块和接版机械手。接版机械手碰到掩模版或承版台时，弹性元件发生形变，主动块和从动块产生相对位移。当主动块和从动块产生相对位移时，过载传感器检测片与过载传感器也相应地产生相对位移。过载传感器检测到与过载传感器检测片间的相对位移后，通过控制回路实时地控制电机紧急制动。弹性元件是弹簧。本专利技术通过主动块、从动块和弹性元件构成过载缓冲保护装置，同时通过过载传感装置实现对电机的控制，从而避免了在交接掩模版过程中出现垂向过载情况，以有效地保护掩模版和承版台，经过实际测试，在实际工作中不仅有效、而且安全可靠，大大降低了损伤掩模版或承版台的机率。附图说明图1是过载缓冲保护装置示意图。标号说明 1、接版机械手 2、弹簧 3、上限位传感器 4、丝杠5、下限位传感器 6、同步齿形带 7、主动块 8、定位销钉9、从动块 10、过载传感器检测片11、过载传感器 12、电机具体实施方式本专利技术的过载缓冲保护装置应用在光刻设备中的掩模版交接装置中，在接版机械手向上运动过程中起保护作用。如图1所示，过载缓冲保护装置主要包括可被提升的主动块7、与接版机械手1相连的从动块9、定位销钉8、弹簧2、过载传感器检测片10和过载传感器11组成。其中，过载传感器11是光耦传感器。主动块和从动块可通过类似于弹簧2的弹性元件相连，为了平衡本专利技术使用了两根弹簧。主动块7相对从动块9运动时用定位销钉8导向。主动块7与丝杠4配合传动，从动块与接版机械手1固连在一起，接版机械手1固定在一个线性导轨的滑块上。弹簧2一端挂在主动块7上，另一端挂在从动块9上，正常工作时主动块7和从动块9由弹簧2拉着靠在一起。在本专利技术的实施例中，过载传感器检测片10固定在主动块7上，过载传感器11固定在从动块9上。上限位传感器3和下限位传感器5设定了正常工作范围。在交接掩模版时，接版机械手1需要升降，其上升过程如下电机12通过同步齿形带6驱动丝杠4，丝杠4带动过载缓冲保护装置的主动块7上升。主动块7上升的过程中，通过弹簧2拉动从动块9，从而带动与从动块9固定在一起的接版机械手1抬升。接版机械手1在抬升过程中随时会碰到掩模版或承版台，也就是在上升方向上受到一个阻力，这使得过载缓冲保护装置的主动块7和从动块9发生相对位移。当主动块7相对从动块9有位移时，过载传感器检测片10移出光耦过载传感器11，使得有信号产生。过载传感器11检测到信号后通过控制回路实时传给电机12以紧急制动，在这过程中，弹簧2起了缓冲作用，使得掩模版或承版台不会被碰坏。此后，弹簧2又将主动块7和从动块9拉紧在一起，定位销钉8用于调整主动块7和从动块9之间的最大位移量。发生这段相对位移量的时间要远远大于控制回路的响应时间，使得系统有足够的时间对电机实施制动。同时，当接版机械手1碰到掩模版或承版台时，主动块7和从动块9通过弹簧2发生相对位移，减小了碰撞的力，起到了缓冲的作用。通过这两点使得本专利技术的过载缓冲保护装置十分有效和可靠，大大降低了损伤掩模版或承版台的机率。权利要求1.一种过载缓冲保护装置，其特征在于包括可被提升的主动块；与接版机械手相连的从动块；弹性元件，连接主动块和从动块；检测主动块和从动块相对位移的传感装置，所述传感装置通过控制回路实时地控制电机紧急制动。2.如权利要求1所述的过载缓冲保护装置，其特征在于传感装置包括过载传感器和过载传感器检测片，其中，过载传感器固定在从动块上，过载传感器检测片固定在主动块上，或者，过载传感器固定在主动块上，过载传感器检测片固定在从动块上。3.如权利要求1或2所述的过载缓冲保护装置，其特征在于所述过载缓冲保护装置还包括定位销钉，引导主动块相对于从动块运动，调整主动块和从动块之间的最大位移量。4.如权利要求3所述的过载缓冲保护装置，其特征在于所述过载缓冲保护装置还包括了上、下限位传感器，限定主动块和从动块的移动范围。5.如权利要求1所述的过载缓冲保护装置，其特征在于电机通过齿形带驱动丝杠，带动主动块上升。6.如权利要求5所述的过载缓冲保护装置，其特征在于主动块通过弹性元件拉动固定在一起的从动块和接版机械手。7.如权利要求6所述的过载缓冲保护装置，其特征在于接版机械手碰到掩模版或承版台时，弹性元件发生形变，主动块和从动块产生相对位移。8.如权利要求7所述的过载缓冲保护装置，其特征在于当主动块和从动块产生相对位移时，过载传感器检测片与过载传感器也相应地产生相对位移。9.如权利要求8所述的过载缓冲保护装置，其特征在于过载传感器检测到与过载传感器检测片间的相对位移后，通过控制回路实时地控制电机紧急制动。10.如权利要求1或6或7所述的过载缓冲保护装置，其特征在于弹性元件是弹簧。全文摘要本专利技术公开了一种过载缓冲保护装置，包括可被提升的主动块；与接版机械手相连的从动块；弹性元件，连接主动块和从动块；检测主动块和从动块相对位移的传感装置，所述传感装置通过控制回路实时地控制电机紧急制动。本专利技术通过主动块、从动块和弹性元件构成过载缓冲保护装置，同时通过过载传感装置实现对电机的控制，从而避免了在交接掩模版过程中出现垂向过载情况，以有效地保护掩模版和承版台，经过实际测试，在实际工作中不仅有效、而且安全可靠，大大降低了损伤掩模版或承版台的机率。文档编号H01L21/00GK1851558SQ20061002726公开日2006年10月25日 申请日期2006年6月2日 优先权日2006年6月2日专利技术者齐芊枫, 李生强 申请人:上海微电子装备有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种过载缓冲保护装置，其特征在于：包括可被提升的主动块；与接版机械手相连的从动块；弹性元件，连接主动块和从动块；检测主动块和从动块相对位移的传感装置，所述传感装置通过控制回路实时地控制电机紧急制动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：齐芊枫，李生强，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，上海微高精密机械工程有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]