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本发明提供一种支撑架，其包括有至少一个设置于曝光机的光源产生器与主机工作机台之间的Ｈ型钢（Ｈ－ｂｅａｍ）用以支撑曝光机的光轴传输管路，至少一个设于Ｈ型钢的第一部位的支撑组件，一设于该Ｈ型钢的第二部位的信号发射器，以及一设于该Ｈ型钢的第三部位...
该专利属于力晶半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过力晶半导体股份有限公司授权不得商用。

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