【技术实现步骤摘要】
本技术是一种红外面阵焦平面探测器,属于对红外面阵焦平面探测器结构的改进。中国专利ZL 98 2 49862.4公开了一种高探测率的红外焦平面探测器,其构成为在红外探测器窗口与其光敏面之间放置微光学聚能器,微光学聚能器由与红外探测器像元尺寸相匹配的若干大数值孔经的微透镜列阵组成;微光学聚能器用冷胶固定在微透镜架上,微透镜架则支撑在红外探测器的芯片上。由于微透镜架的存在,这种红外探测器存在体积较大的缺陷;并且由于微透镜焦深短,与探测器耦合时允许离焦的范围相对较小,故一方面容易导致微透镜列阵的各个微透镜单元子孔径的中心与红外探测器芯片各光敏元的中心错位,另一方面需要精修微透镜架的高度来保证微透镜列阵与红外探测器的芯片之间的耦合间隙,因此这种结构的红外探测器不易重复批量生产。本技术的目的在于克服现有技术的不足而提供一种集成红外探测器芯片与微透镜列阵的红外面阵焦平面探测器集成芯片。本技术的目的可通过以下技术措施实现由微透镜列阵与红外探测器芯片构成红外面阵焦平面探测器,微透镜列阵由多个微透镜单元相邻排列组成,微透镜列阵制作在红外探测器芯片上,微透镜列阵与红外探测器芯片构成一体,微透镜列阵形成红外面阵焦平面探测器的正面,红外探测器芯片的光敏元位于红外面阵焦平面探测器的反面。本技术的目的还可通过以下技术措施实现红外面阵焦平面探测器的微透镜列阵所包含的各个微透镜单元的中心与红外探测器芯片的各光敏元的中心对准,各个微透镜单元形成的子孔径与红外探测器芯片的各光敏元的中心相对应。本技术与现有技术相比有如下优点微透镜列阵直接与红外探测器集成构成红外面阵焦平面探测器,而不附加微 ...
【技术保护点】
一种红外面阵焦平面探测器,由微透镜列阵(1)与红外探测器芯片(2)构成,微透镜列阵(1)由多个微透镜单元(3)相邻排列组成,其特征在于:微透镜列阵(1)制作在红外探测器芯片(2)上,微透镜列阵(1)与红外探测器芯片(2)构成一体,微透镜列阵(1)形成红外面阵焦平面探测器的正面,红外探测器芯片(2)的光敏元(4)位于红外面阵焦平面探测器的反面。
【技术特征摘要】
1.一种红外面阵焦平面探测器,由微透镜列阵(1)与红外探测器芯片(2)构成,微透镜列阵(1)由多个微透镜单元(3)相邻排列组成,其特征在于微透镜列阵(1)制作在红外探测器芯片(2)上,微透镜列阵(1)与红外探测器芯片(2)构成一体,微透镜列阵(1)形成红外面阵焦平面探测器的正面,红外探测器芯...
【专利技术属性】
技术研发人员:杜春雷,邱传凯,白临波,潘丽,王永茹,
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所,
类型:实用新型
国别省市:51[中国|四川]
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