静电吸附台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种静电吸附台，包括：基台座、位于所述基台座上的基材层和位于所述基材层上用于吸附玻璃基板的电极层，在所述电极层上设置有用于保护电极层的保护层。其中，保护层可以为硅橡胶层、聚酰亚胺层，还可以在保护层和电极层之间设置一陶瓷层。本实用新型专利技术提供的静电吸附台，通过在ＥＳＣ台上采用单保护层，或者增加一层陶瓷层，或者增加保护层的厚度，来增强保护层对ＥＳＣ台上的电极层的保护，从而使得ＥＳＣ台不易损坏，提高生产效率，并降低生产成本。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及TFT液晶显示装置的制造工艺，特别涉及一种用于吸附 玻璃基板的静电吸附台。背景4支术在TFT液晶显示装置的制造工艺中，真空定位装置(vacu咖aligner)是用于在真空状态下实现液晶显示装置对盒的设备。但是液晶显示装置的吸 附对盒不能采用传统的真空吸附来完成，而是使用库仑力将液晶显示装置的 上、下两个玻璃基板在真空环境下进行吸附，所以在真空定位装置上设有产 生静电作用的静电吸附台(Electro-staticChucking stage,以下简称ESC 台)。真空定位装置分为上下两个安装台，将16个形状、大小完全一样的 ESC台安装在上下两个安装台上。如图l所示，ESC台主要包括基台座l， 由金属制成、基材层2、电极层3。在现在TFT液晶显示装置的制造生产工艺中，用到的ESC台表面的绝缘 层，虽然可以对电极层起到一定的保护作用，但是其保护能力是非常有限的， 在生产过程中，不可避免的会出现质地较硬的、相对较大的玻璃碎屑，常常 会穿透绝缘层，从而导致电极层3短路、破损，造成ESC台的损坏。据统计， 实际生产过程中，由于上述原因造成ESC台损坏的比率占ESC台总报废率的 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电吸附台，包括基台座、位于所述基台座上的基材层和位于所述基材层上用于吸附玻璃基板的电极层，其特征在于，所述电极层上设置有用于保护电极层的保护层。

【技术特征摘要】
1、 一种静电吸附台，包括基台座、位于所述基台座上的基材层和位于所 述基材层上用于吸附玻璃基板的电极层，其特征在于，所述电极层上设置有 用于保护电极层的保护层。2、 根据权利要求1所述的静电吸附台，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱海波，魏永辉，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]