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本实用新型公开了一种静电吸附台，包括：基台座、位于所述基台座上的基材层和位于所述基材层上用于吸附玻璃基板的电极层，在所述电极层上设置有用于保护电极层的保护层。其中，保护层可以为硅橡胶层、聚酰亚胺层，还可以在保护层和电极层之间设置一陶瓷层。本...
该专利属于北京京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京东方光电科技有限公司授权不得商用。

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