一种防划伤的滚轮装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种防划伤的滚轮装置，所述装置至少包括支架、滚轮、顶紧螺栓、挡圈和轴，所述轴穿过滚轮的中心位置，所述轴和滚轮之间设有挡圈，所述支架套接于一本体的突出部位。该装置可有效地防止其他本体被所述本体的突出部位划伤。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种滚轮装置，尤其是指一种防划伤的滚轮装置。技术背景炉管是集成电路制造业中的重要设备，用于在晶圆表面生成非金属薄膜，为晶圆的光刻工序作准备。如图l所示，炉管由加热器3、外管4、内管5、 底座6、晶舟l、升降机7等组成。加热器3用于炉管的加热升温；底座6用 于承载内、外管；外管4用于晶圓的加热腔室的密封；内管5置于外管4内 部，用于与外管5的空间相隔离，以形成晶圆的加热腔室；晶舟l用于承载 晶圓；升降机7用于控制晶舟1的运动，从而进行取、放晶圓的操作。炉管设备在运行一段时间后，内管5和外管4表面会生成一定厚度的非 金属薄膜，对正常的工作造成影响，因此需要定期拆卸内管5和外管4对其 进行清洗。在拆卸过程中，由于机台和拆卸装置水平误差及重力影响、拆卸 装置的抖动、人为碰动内管5等造成内管5倾斜或颤动，从而接触到底座6 内侧壁上突出的圆心定位装置，进而划伤内管5。该划伤会缩短内管5的使用 寿命；同时，划伤处易积聚粉尘，由于晶圓的制造过程对环境要求非常严格， 粉尘有可能造成晶圓的短路等。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种防划伤的滚轮装置，有效避免内管的划 伤。为达到上述目的，本技术的4支术方案如下所述装置至少包括支架、 滚轮、顶紧螺栓、挡圏和轴，所述轴穿过滚轮的中心位置，所述轴和滚轮之 间设有挡圏，所述支架套接于一本体的突出部位。进一步地，所述本体是炉管底座。所述突出部位是圓心定位装置，材质 是不锈钢等硬质材料。所述滚轮的材质是聚四氟或聚胺脂等软质材料。本技术的优点在于由于滚轮的材质是聚四氟或聚胺脂等软质材料， 故将其套接于圓心定位装置上，可有效避免内管的划伤，从而避免粉尘的积 聚，保证炉管装置内的洁净的运行环境。另外，可转动滚轮起导向作用，易于内管的拆卸和安装。附图说明图l是炉管的三维结构示意图；图2是本技术的滚轮装置的三维结构示意图；图3是本技术的滚轮装置的主视图；图4是本技术的滚轮装置的左视图。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术作详细说明。 图2、图3和图4分别是本技术的滚轮装置的三维结构示意图、主视 图和左视图。所述装置至少包括支架8、滚轮12、顶紧螺栓U、挡圏9和轴 10，所述轴10穿过滚轮12的中心位置，轴10和滚轮12之间设有挡圏9，所 述支架8套接于底座6内侧壁上突出的圓心定位装置上。滚轮12由聚四氟或 聚胺脂等软质材料制成。圓心定位装置一般由不锈钢等硬质材料制成，当内管5发生倾斜时，很容易划伤内管5。安装滚轮装置后，突出邢位是滚轮12，材质硬度低，可防 止内管5被划伤。同时滚轮12可以转动，起导向作用，易于内管5的拆卸和 安装。该滚轮装置也是可拆卸的，当拆卸或安装内管5时，将所述装置套在 圆心定位装置上起保护作用，内管拆卸或安装完毕后，即可将所述装置取下。所述滚轮装置的安装和拆卸步骤分别如下安装时先将支架8套装在底 座6内侧壁的圆心定位装置上，然后拧紧顶紧螺栓ll即可；拆卸时先松动顶 紧螺栓ll,然后将支架8从圓心定位装置上取下即可。底座6内侧壁上有三个圆心定位装置，故需三个上述的滚轮装置进行保 护。根据具体的圓心定位装置的数量，需设置相应数量的滚轮装置。以上已描述了本技术的具体实施方式，但本技术不局限用于炉 管的内管保护。具体的说，可以用于对任何突出部件的防护。因此，虽然已 公开了本技术的优选实施例，但本领域技术人员将会意识到，在不背离权利要求书中公开的本技术范围的情况下，任何修改、添加和替换均属 于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防划伤的滚轮装置，其特征在于：所述装置至少包括支架、滚轮、顶紧螺栓、挡圈和轴，所述轴穿过滚轮的中心位置，所述轴和滚轮之间设有挡圈，所述支架套接于一本体的突出部位。

【技术特征摘要】
1. 一种防划伤的滚轮装置，其特征在于所述装置至少包括支架、滚轮、顶紧螺栓、挡圈和轴，所述轴穿过滚轮的中心位置，所述轴和滚轮之间设有挡圈，所述支架套接于一本体的突出部位。2. 如权利要求1所述的防划伤的滚轮装置，其特征在于所述本体是炉管底座。3. 如权利要求1所述的防划伤的滚轮装置，其特征在于所述突出部位是 圓心定位装置。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：王歆，蔡俊，王鹏，王春华，王刚，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]