制造半导体器件的方法技术

一对形成有源矩阵液晶显示器的衬底，它们由具有柔韧性和透明性的树脂构成。一薄膜晶体管有一半导体层，该层形成于已形成在树脂衬底上的树脂薄膜上。形成该树脂层以阻止在薄膜的形成和使树脂衬底表面平面化过程中，在树脂衬底表面上产生齐聚物。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般涉及薄膜晶体管的结构，这种薄膜晶体管在如由工程塑料制成的树脂的柔韧(即有机械弹性)衬底上形成。本专利技术还涉及制造这种薄膜晶体管的方法。此外，本专利技术还涉及应用了这些薄膜晶体管所制造的有源矩阵液晶显示器。大家知道，薄膜晶体管一般在玻璃衬底或石英衬底上形成。以玻璃为衬底的薄膜晶体管主要用于有源矩阵液晶显示器。由于有源矩阵液晶显示器能够以高灵度、高信息量显示图像，所以期望有源矩阵液晶显示器可以取代简单矩阵液晶显示器。在有源矩阵液晶显示器中，每个象素都设置有作为开关单元的一个或多个薄膜晶体管。电荷进入和流出象素电极是由薄膜晶体管控制的。因为需要可见光穿过液晶显示器，所以采用玻璃或石英作衬底。液晶显示器是一种应用前途预计十分广泛的显示装置。例如用作卡式计算机、便携式计算机和作为各种远距离通信设备的便携式电子装置等的显示装置。在要处理采用更先进技术的信息时，这些信息需要在用作便推式电子装置的显示装置上显示出来。如需要有显示较大信息量和移动图象以及数码和符号的功能。这里，由于要求液晶显示器具有显示大信息量和移动图象的功能，所以很有必要采用有源矩阵液晶显示器。然而，由于衬底是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体器件，包括： 一薄膜树脂衬底； 一形成于所说的树脂衬底表面上的树脂层；和 形成于所说树脂层上的薄膜晶体管。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 1994-12-27 339162/941.一种半导体器件，包括一薄膜树脂衬底；一形成于所说的树脂衬底表面上的树脂层；和形成于所说树脂层上的薄膜晶体管。2.根据权利要求1所说的半导体器件，其特征是所说的树脂层使得所说的树脂衬底平面化。3.根据权利要求1所说的半导体器件，其特征是所说树脂层由丙烯树脂构成。4.一种制造半导体器件的方法，包括以下步骤在一薄膜树脂衬底上形成一树脂层；在所说的树脂衬底上，通过等离子辅助CVD形成一半导体层；和用所说半导体层形成薄膜晶体管。5.一种制造半导体器件的方法，包括以下步骤在给定温度热处理薄膜树脂衬底，使所说树脂衬底脱气；在所说薄膜树脂衬底上形成一树脂层；在所说树脂层上通过等离子辅助CVD形成半导体层；用所说半...

【专利技术属性】
技术研发人员：山崎舜平，荒井康行，寺本聪，
申请(专利权)人：株式会社半导体能源研究所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]