表面处理装置及液晶显示装置的制造方法制造方法及图纸

提供一种表面处理装置及液晶显示装置的制造方法。该清洗装置具有使转动的清洗刷接近基板的清洗刷驱动机构，对转动中的清洗刷的刷洗材前端的接触分离而在基板上形成的多个导体图形中发生的电位进行计测并利用该结果对清洗刷的定位进行控制。由此，可以利用清洗刷对以大型基板为对象的被清洗面进行均匀的清洗处理，结果可以以高成品率在清洗后的基板上形成高品质的液晶显示用晶体管。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种表面处理装置，其特征在于包括：使具有轴和前端朝向从该轴的外周面离开的方向的多个线材的部件，在围绕上述轴转动的同时，在使沿着上述轴的方向在基板的一个面内并置的第１及第２导体图形和上述轴的间隔变窄的方向上被移动的驱动单元；以及　 　分别测定通过与转动中的上述部件的线材的接触而带电的上述第１及第２导体图形的电位的电位测定单元。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高原洋一，山田将弘，大録范行，浅香昭二，高桥知顕，川中子宽，山本英明，
申请(专利权)人：株式会社日立显示器，
类型：发明
国别省市：JP[日本]