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表面处理装置及液晶显示装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:3203889
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提供一种表面处理装置及液晶显示装置的制造方法。该清洗装置具有使转动的清洗刷接近基板的清洗刷驱动机构,对转动中的清洗刷的刷洗材前端的接触分离而在基板上形成的多个导体图形中发生的电位进行计测并利用该结果对清洗刷的定位进行控制。由此,可以利用清洗...
该专利属于株式会社日立显示器所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立显示器授权不得商用。
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