发光装置制造方法及图纸

技术编号:3202652 阅读:137 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种发光装置(30),它具备电阻率0.5Ω.cm或其以下的氮化物半导体基板(1)、位于氮化物半导体基板的第1主表面侧的n型氮化物半导体层(3)、从氮化物半导体基板看位于比n型氮化物半导体层(3)更远的位置上的p型氮化物半导体层(5)和位于n型氮化物半导体层(3)以及p型氮化物半导体层(5)之间的发光层(4);将氮化物半导体基板(1)以及p型氮化物半导体层(5)的任意一方安装在放出光的上侧,另外将另一方安装在下侧,位于该上侧的电极由1个构成。由此,能够得到可小型化,另外因结构简单而制造容易,可长期稳定地得到较大的发光效率的发光元件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及发光装置,更具体的说,是涉及由氮化物半导体形成的发光装置的专利技术。所需说明的是,在以后的说明中,“发光装置”,只要不特别事先说明,均指“发光元件(芯片)”或“含有该发光元件的发光元件的安装结构”。
技术介绍
白色发光二极管(LEDLight Emitting Diode)被广泛使用在包括便携电话的便携式信息终端等的显示装置的照明。在将LED应用于便携式信息终端的显示装置的光源的情况下,能够特别地得到提高发光特性的效果。为此,提出了在每次使用后述的蓝宝石基板,装入GaN系发光元件而以n向下(p向上)的方式安装的侧视型LED的制作时,防止发光不均的结构(参照特开2000-223751号公报)。根据该方案,公开了一种分别位于从光取出侧(上侧)俯视发光装置时的矩形的相对的角部的2个电极沿着侧视型LED的厚度方向那样的配置,即在角部竖立的配置等形式。另外,LED虽然还暗涵有应用于大的空间或大面积的照明的可能性,但无论是否为大面积的照明及便携式信息终端的用途,都有必要提高LED的光的输出效率。图51中表示现在所提出的GaN系LED的构造(参照特开2003-8083号公报)。在该GaN系LED中,在蓝宝石基板101上设置n型GaN层102,在该n型GaN层102和p型GaN层104之间形成有量子势阱结构103。光是有该量子势阱结构103发出的。在p型GaN层104上以欧姆接触(电阻接触)的方式形成p电极105,另外,在n型GaN层102上以欧姆接触的方式形成n电极106。所述的p电极105以及n电极106,以软钎球107、108介于中间而与安装部件109相连接。安装部件(辅助安装部件)109由Si基板构成,形成有用于针对来自外部的浪涌电压进行保护的电路。即,与Ga、Al、In等III族的氮化物半导体相关的电路故障的主要原因,重视过渡电压及静电放电等浪涌电压,以不会向发光元件施加较大的顺电压及逆电压的方式,由稳压二极管(齐纳二极管)来形成用于保护发光元件的电力分路电路。对于浪涌电压下的保护,在后详细说明。上述的GaN系LED具有如下特征点以从蓝宝石基板101的背面侧发出光的方式,(a1)将p型GaN层104安装在下,并且(a2)在n型GaN层102上形成n电极层106。该GaN系LED的结构如图51所示,非常复杂。成为这样的复杂结构的原因的、(a2)在n型GaN层102上形成n电极层的理由是因为蓝宝石基板101为绝缘体而不能在蓝宝石基板上设置n型电极。不仅是使用了上述蓝宝石基板的发光元件,在应用于发光元件的GaAs系、GaP系、GaN系的化合物半导体中,与发光元件一并设置针对过渡电压及静电放电的保护电路的方案此前多次被提出过(参照特开2000-286457号公报、特开平11-54801号公报、以及特开平11-220176号公报)。尤其是在GaN系化合物半导体中,由于逆向的耐压低至50V左右,并且顺方向电压也只有150V左右的耐压,因此设置用于上述保护的电力分路电路就受到重视。即,在用于辅助安装的Si基板上形成上述GaN系等元件,在该Si基板上形成包含稳压二极管等的保护电路。上述那样的众多的保护电路的提案,正是与Ga、Al、In等III族氮化物半导体相关的电路故障的主要原因表现为过渡电压或静电放电等浪涌电压的佐证。另外,与设有上述保护电路的发光元件相区别地,还知道一种在设为导电体的SiC基板上形成有GaN系发光元件的例子。即,利用“SiC基板背面的n电极/SiC基板/n型GaN层/量子势阱层叠结构(发光层)/p型GaN层/p电极”的层叠结构而从p型GaN层发出光的构造的LED,也被广泛使用。另一方面,在上述的图51所示的使用了蓝宝石基板的GaN系LED中,无法避免构造复杂,制造成本上升。为了开拓多样的照明用途需求,必须使LED廉价,因此,上述的构造并不理想。另外,因为向下安装面一侧配置有p电极105和n电极106,所以电极的面积、尤其是p电极的面积受到限制。为了通入较大的电流而得到高输出,希望p电极为特别大的面积,但在图51所示的结构中受到限制,其结果导致光输出受到限制。进而,即使是从使伴随电流而发出的热散发掉的方面考虑,在一侧的面上配置2个电极层也是不理想的。另外,在n型GaN层102上沿与基板平行的方向通入电流时的电阻较大,还会成为发热及驱动电压、进而消耗功率的增加的原因。尤其是当以成膜工序的缩短化为目的而使n型GaN层的厚度薄化时,除了上述发热及消耗功率增加的问题以外,该n型GaN膜的露出的成品率也会变得非常差。另外,虽然以上述的使用了蓝宝石基板的发光元件为例而对所有的发光元件进行了说明,但因为散热面积受到限制,另外热阻(每单位面积由单位能量的输入而产生的温度上升)也变大,所以不能使每一发光元件获得较大的注入电流。尤其是在使用了蓝宝石基板的情况下,由于如上所述p电极的面积受到限制,所以通常都是进行几乎没有余量的热设计。进而,在上述的使用了蓝宝石基板的GaN系LED的情况下,由于散热面积受到制约,所以为了使电阻稍微下降以降低发热量,又出现了采用使p电极和n电极呈梳齿状地组入而扩大接触面积的构造的情况。这样的梳齿状的电极,加工不容易,明显会关系到制造成本的上升。如上所述,在发光元件中,热条件的设计基本上很重要,在想要获得较大的输出的情况下,由于上述那样的热的条件而受到制约,为了将其稍微缓和不得不采用复杂的电极形状。进而,还存在如下那样的问题。在将形成在蓝宝石基板上的GaN系发光元件向下安装,将蓝宝石基板的背面设为光的发出面的情况下,因为蓝宝石的折射率为1.8左右,GaN的折射率为2.4左右,所以在发出光并使其传播出来的GaN层和蓝宝石基板的临界面上,规定的入射角或其以上的光发生全反射,而无法向外面射出。即,入射角θ≥sin-1(1.8/2.4)42°的范围的光,留在GaN层内,而不会射出。因此,在蓝宝石基板的主面上的发光效率降低。但是,虽然发光效率的问题也是重要的,但不只于此。上述全反射的光会在GaN层传播,从GaN层的侧部射出。上述的全反射的光量占有相当的比例,另外,因为GaN层薄,所以从侧部射出的光的能量密度就增高。位于GaN层的侧部而受该光照射的密封树脂就会受到损伤,出现发光元件的寿命缩短的问题。另外,在从p层侧将光取出的“SiC基板背面的n电极/SiC基板/n型GaN层/量子势阱层叠结构(发光层)/p型GaN层/p电极”的结构的GaN系LED中,因为p电极的光吸收率大所以不能高效率地向外部发出光。若使p电极的覆盖率减少、即增大开口率来增加光的放出量,则会因为p型GaN层电阻高而不能使电流遍及p型GaN整体地流动,使发光输出降低,另外,还会出现电阻上升、发热及电源容量的问题。进而,若以使电流同样地流遍p型GaN层整体为目的而使p型GaN层的厚度增加,则由该p型GaN层引起的光的吸收会增大,制约输出。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种由于结构简单而容易制造,能够长时间稳定地得到较大的发光效率,并且能够容易小型化的发光装置。本专利技术的发光装置,其中具备电阻率0.5Ω·cm或其以下的氮化物半导体基板、位于前述氮化物半导体基板(1)的第1主表面侧的n型氮化物半导体层、从前述氮化物半导体基板看本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种发光装置(30),其中,具备电阻率0.5Ω.cm或其以下的氮化物半导体基板(1)、位于前述氮化物半导体基板(1)的第1主表面侧的n型氮化物半导体层(3)、从前述氮化物半导体基板(1)看位于比前述n型氮化物半导体层(3)更远的位置上的p型氮化物半导体层(5)和位于前述n型氮化物半导体层(3)以及p型氮化物半导体层(5)之间的发光层(4);将前述氮化物半导体基板(1)以及p型氮化物半导体层(5)的任意一方安装在放出光的上侧,另外将另一方安装在下侧,且位于该上侧的电极由1个构成。

【技术特征摘要】
JP 2003-12-3 2003-404266;JP 2004-9-27 2004-2799801.一种发光装置(30),其中,具备电阻率0.5Ω·cm或其以下的氮化物半导体基板(1)、位于前述氮化物半导体基板(1)的第1主表面侧的n型氮化物半导体层(3)、从前述氮化物半导体基板(1)看位于比前述n型氮化物半导体层(3)更远的位置上的p型氮化物半导体层(5)和位于前述n型氮化物半导体层(3)以及p型氮化物半导体层(5)之间的发光层(4);将前述氮化物半导体基板(1)以及p型氮化物半导体层(5)的任意一方安装在放出光的上侧,另外将另一方安装在下侧,且位于该上侧的电极由1个构成。2.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,具备与前述p型氮化物半导体层(5)接触并离散地配置在该p型氮化物半导体层(5)的表面上的第1p电极(12a),和填充该第1p电极(12a)的间隙并覆盖前述p型氮化物半导体层(5)及前述第1p电极(12a)的由Ag、Al或Rh构成的第2p电极(73)。3.如权利要求2所述的发光装置(30),其中,前述第1p电极(12a)的在前述p型氮化物半导体层(5)的表面的覆盖率,在10~40%的范围内。4.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,前述发光装置(30)被树脂(33)密封,在前述发光装置(30)的任意部分以及前述树脂(33)的任意部分上含有荧光体,前述荧光体接受前述光而发出荧光,并使从前述树脂(33)向外部放出的光成为白色光。5.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,位于前述上侧的1个电极,在俯视前述各层状态下,位于前述发光装置(30)的中央部。6.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,前述发光装置(30),以组入了该发光装置(30)而形成的侧视型LED灯(30)的厚度在0.5mm或其以下的方式被构成。7.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,前述发光装置(30),以组入了该发光装置(30)而形成的侧视型LED灯(30)的厚度在0.4mm或其以下的方式被构成。8.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,前述发光装置(30)的耐静电压为3000V或其以上。9.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,尤其不具备用于针对加在前述氮化物半导体基板(1)和前述p型氮化物半导体层(5)的一侧之间的过渡电压或静电放电来保护前述发光装置(30)的保护电路。10.如权利要求9所述的发光装置(30),其中,不具备包含用于应对前述过渡电压或静电放电的稳压二极管的电力分路电路。11.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,前述发光装置(30)通过施加4V或其以下的电压来发光。12.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,前述氮化物半导体基板(1)的厚度在50μm或其以上、且500μm或其以下。13.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,前述上侧的电极占有率不到50%,其开口率或透明部分是50%或其以上。14.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,前述上侧的面的至少一边是350μm或其以下。15.如权利要求14所述的发光装置(30),其中,将前述上侧的面镶边,相对的边都具有400μm或其以上的长度。16.如权利要求14所述的发光装置(30),其中,将前述上侧的面镶边,相对的边具有1.6mm或其以下的长度。17.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,前述上侧的面的至少一边在250μm或其以下。18.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,以热阻成为30℃/W或其以下的方式构成。19.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,在连续发光状态下温度上升最高的部分的温度在150℃或其以下。20.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,前述n型氮化物半导体层(3)的厚度在3μm或其以下。21.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,向下安装前述p型氮化物半导体层(5),在作为光放出面的前述氮化物半导体基板(1)的第2主表面上,在前述电极没有覆盖的部分上实施非镜面处理。22.如权利要求21所述的发光装置(30),其中,实施了前述非镜面处理的表面,是用氢氧化钾即KOH水溶液、氢氧化钠即NaOH水溶液、氨即NH3水溶液或其他的碱性水溶液进行非镜面化处理后的表面。23.如权利要求21所述的发光装置(30),其中,实施了前述非镜面处理的表面,是用硫酸即H2SO4水溶液、盐酸即HCl水溶液、磷酸即H2PO4水溶液、氟酸即HF水溶液以及其他的酸性水溶液的至少1种进行非镜面化处理后的表面。24.如权利要求21所述的发光装置(30),其中,实施了前述非镜面处理的表面,是用反应性离子蚀刻进行非镜面化处理后的表面。25.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,配置在前述安装侧的电极由反射率0.5或其以上的材质形成。26.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,以覆盖前述氮化物半导体基板(1)的第2主表面的方式配置荧光体。27.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,以从前述氮化物半导体基板(1)离开并与前述氮化物半导体基板(1)的第2主表面相对的方式配置荧光板(46)。28.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,将前述荧光板(46)的与前述氮化物半导体基板(1)的第2主表面相对的表面进行凹凸化处理。29.如权利要求1所述的发光装置(30),其中,前述氮化物半导体基板(1)包含有发出荧光的杂质以及缺陷的至少一方。30.一种发光装置(30),其中,包括2个或其以上的权利要求1所述的发光装置(30),并将这些发光装置(30)串联连接或并联连接。31.一种发光装置(30),其中,包括权利要求1所述的发光装置(30)和用于使这些发光装置(30)发光的电源电路,在前述电源电路中,将并联连接2个或其以上的前述发光装置(30)的2个或其以上的并联部串联连接。32.一种发光装置(30),其中,具备位错密度在108/cm2或其以下的氮化物半导体基板GaN基板(1)、位于前述GaN基板(1)的第1主表面侧的n型氮化物半导体层的n型AlxGa1-xN层(3)、从前述GaN基板(1)看位于比前述n型AlxGa1-xN层(3)更远的位置上的p型AlxGa1-xN层(5)和位于前述n型AlxGa1-xN层(3)以及p型AlxGa1-xN层(5)之间的发光层(4),其中0≤x≤1;以与作为前述GaN基板(1)的与前述第1主表面相对一侧的主表面的第2主表面接触的方式具有n电极(11),另外以与前述p型AlxGa1-xN层(5)接触的方式具有p电极(12);将前述n电极(11)以及p电极(12)的任意一方安装在放出光的上侧,另外将另一方安装在下侧,且位于该上侧的电极由1个构成。33.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,将前述GaN基板(1)安装在上侧,并通过氧掺杂使之n型化,该氧浓度在氧原子1E17个/cm3~2E19个/cm3的范围内,前述GaN基板的厚度为100μm~600μm。34.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,将前述GaN基板(1)安装在上侧,并通过氧掺杂使之n型化,该氧浓度在氧原子2E18个/cm3~5E18个/cm3的范围内,前述GaN基板(1)的厚度在100μm~300μm的范围内,前述第2主表面的放出光的面的矩形的面的两侧的边在0.5mm或其以下的范围内。35.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,将前述GaN基板(1)安装在上侧,并通过氧掺杂使之n型化,该氧浓度在氧原子3E18个/cm3~5E18个/cm3的范围内,前述GaN基板(1)的厚度在200μm~300μm的范围内,前述第2主表面的放出光的矩形的面的两侧的边在2mm或其以下的范围内。36.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,位错束在前述GaN基板(1)的第1主表面上以平均4E6个/cm2或其以下的密度分布,其中位错束是为了提高前述GaN基板(1)的大部分区域的结晶性而将在其形成时不可避免地生成的位错离散地、呈带状地集中化,使之沿基板厚度方向分布而成的。37.如权利要求36所述的发光装置(30),其中,前述位错束在前述第1主表面上以平均4E2个/cm2或其以下的密度分布,前述第2主表面的放出光的面的短边在200μm~400μm的范围内。38.如权利要求32所述的发光装置(30),其中n型AlGaN缓冲层(71)与前述GaN基板(1)接触地位于前述GaN基板(1)和前述n型AlxGa1-xN层(3)之间,另外n型GaN缓冲层(2)与该n型AlGaN缓冲层(71)接触地位于前述GaN基板(1)和前述n型AlxGa1-xN层(3)之间,并且前述n型AlxGa1-xN层(3)位于与该n型GaN缓冲层(2)相接触的位置,其中0≤x≤1。39.如权利要求38所述的发光装置(30),其中,前述GaN基板(1),具有偏离角为0.10°或其以下的区域、和1.0°或其以上的区域。40.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,具备与前述p型AlxGa1-xN层(5)接触地位于下侧的p型GaN缓冲层(6),和位于与该p型GaN缓冲层(6)相接触的位置上的p型InGaN接触层,其中0≤x≤1。41.如权利要求40所述的发光装置(30),其中,前述p型InGaN接触层的Mg浓度,在Mg原子1E18个/cm3~1E21个/cm3的范围内。42.如权利要求40所述的发光装置(30),其中,与前述p型InGaN接触层接触地具有由Ag、Al或Rh构成的p电极层。43.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,前述GaN基板(1),具有沿着其厚度方向与该GaN基板面内的1方向连续地延伸成平面状的板状结晶反转区域(51),将该GaN基板内的板状结晶反转区域(51)和在形成于前述GaN基板之上的前述n型以及p型氮化物半导体层(3,5)中传播的板状结晶反转区域(51),从前述p型氮化物半导体层(5)侧经过前述n型氮化物半导体层(3)到前述GaN基板内(1)的位置除去,与除去之后剩下的p型氮化物半导体层(5)相接触地在每个p型氮化物半导体层(5)上设置p电极(12)。44.如权利要求43所述的发光装置(30),其中,用KOH水溶液除去前述板状结晶反转区域(51)。45.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,具备与前述p型氮化物半导体层(5)接触并离散地配置在该p型氮化物半导体层(5)的表面上的第1p电极(12a),和填充该第1p电极(12a)的间隙并覆盖前述p型氮化物半导体层(5)和前述第1p电极(12a)的由Ag、Al或Rh构成的第2p电极(73)。46.如权利要求45所述的发光装置(30),其中,前述第1p电极(12a)的在前述p型氮化物半导体层(5)的表面的覆盖率,在10~40%的范围内。47.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,前述发光装置(30)被树脂(33)密封,在前述发光装置(30)的任意部分以及前述树脂(33)的任意部分上含有荧光体,前述荧光体接受前述光而发出荧光,并使从前述树脂(33)向外部放出的光成为白色光。48.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,位于前述上侧的1个电极,在俯视前述各层状态下,位于前述发光装置(30)的中央部。49.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,前述发光装置(30),以组入了该发光装置(30)而形成的侧视型LED灯(30)的厚度在0.5mm或其以下的方式被构成。50.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,前述发光装置(30),以组入了该发光装置(30)而形成的侧视型LED灯(30)的厚度在0.4mm或其以下的方式被构成。51.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,前述发光装置(30)的耐静电压为3000V或其以上。52.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,尤其不具备用于针对加在前述氮化物半导体基板(1)和前述p型氮化物半导体层(5)的一侧之间的过渡电压或静电放电来保护前述发光装置(30)的保护电路。53.如权利要求52所述的发光装置(30),其中,不具备包含用于应对前述过渡电压或静电放电的稳压二极管的电力分路电路。54.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,前述发光装置(30)通过施加4V或其以下的电压来发光。55.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,前述氮化物半导体基板(1)的厚度在50μm或其以上、且500μm或其以下。56.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,前述上侧的电极占有率不到50%,其开口率或透明部分是50%或其以上。57.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,前述上侧的面的至少一边是350μm或其以下。58.如权利要求57所述的发光装置(30),其中,将前述上侧的面镶边,相对的边都具有400μm或其以上的长度。59.如权利要求57所述的发光装置(30),其中,将前述上侧的面镶边,相对的边具有1.6mm或其以下的长度。60.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,前述上侧的面的至少一边在250μm或其以下。61.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,以热阻成为30℃/W或其以下的方式构成。62.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,在连续发光状态下温度上升最高的部分的温度在150℃或其以下。63.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,前述n型氮化物半导体层(3)的厚度在3μm或其以下。64.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,向下安装前述p型氮化物半导体层(5),在作为光放出面的前述氮化物半导体基板(1)的第2主表面上,在前述电极没有覆盖的部分上实施非镜面处理。65.如权利要求64所述的发光装置(30),其中,实施了前述非镜面处理的表面,是用氢氧化钾即KOH水溶液、氢氧化钠即NaOH水溶液、氨即NH3水溶液或其他的碱性水溶液进行非镜面化处理后的表面。66.如权利要求64所述的发光装置(30),其中,实施了前述非镜面处理的表面,是用硫酸即H2SO4水溶液、盐酸即HCl水溶液、磷酸即H2PO4水溶液、氟酸即HF水溶液以及其他的酸性水溶液的至少1种进行非镜面化处理后的表面。67.如权利要求64所述的发光装置(30),其中,实施了前述非镜面处理的表面,是用反应性离子蚀刻进行非镜面化处理后的表面。68.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,配置在前述安装侧的电极由反射率0.5或其以上的材质形成。69.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,以覆盖前述氮化物半导体基板(1)的第2主表面的方式配置荧光体。70.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,以从前述氮化物半导体基板(1)离开并与前述氮化物半导体基板(1)的第2主表面相对的方式配置荧光板(46)。71.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,将前述荧光板(46)的与前述氮化物半导体基板(1)的第2主表面相对的表面进行凹凸化处理。72.如权利要求32所述的发光装置(30),其中,前述氮化物半导体基板(1)包含有发出荧光的杂质以及缺陷的至少一方。73.一种发光装置(30),其中,包括2个或其以上的权利要求32所述的发光装置(30),并将这些发光装置(30)串联连接或并联连接。74.一种发光装置(30),其中,包括权利要求32所述的发光装置(30)和用于使这些发光装置(30)发光的电源电路,在前述电源电路中,将并联连接2个或其以上的前述发光装置(30)的2个或其以上的并联部串联连接。75.一种发光装置(30),其中,具备热传导率在100W/(m·k)或其以上的氮化物半导体AlN基板(1)、位于前述AlN基板(1)的第1主表面侧的n型氮化物半导体层的n型AlxGa1-xN层(3)、从前述AlN基板(1)看位于比前述n型AlxGa1-xN层(3)更远的位置上的p型AlxGa1-xN层(5)、和位于前述n型AlxGa1-xN层(3)以及p型AlxGa1-xN层(5)之间的发光层(4),其中0≤x≤1;以与作为前述AlN基板(1)的与前述第1主表面相对一侧的主表面的第2主表面接触的方式具有n电极(11),另外以与前述p型AlxGa1-xN层(5)接触的方式具有p电极(12);将前述n电极(11)以及p电极(12)的任意一方安装在放出光的上侧,另外将另一方安装在下侧,且位于该上侧的电极由1个构成。76.如权利要求75所述的发光装置(30),其中,具备与前述p型氮化物半导体层(5)接触并离散地配置在该p型氮化物半导体层(5)的表面上的第1p电极(12a),和填充该第1p电极(12a)的间隙并覆盖前述p型氮化物半导体层(5)和前述第1p电极(12a)的由Ag、Al或Rh构成的第2p电极(7...

【专利技术属性】
技术研发人员:永井阳一木山诚中村孝夫樱田隆秋田胜史上松康二池田亚矢子片山浩二吉本晋
申请(专利权)人:住友电气工业株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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