切割设备制造技术

公开了一种切割设备，包括用来保持工件的保持装置；可转动地安装着的心轴；固定在所述心轴上的环形切割刀片；用来旋转所述心轴的旋转装置；用来超声振动所述心轴的压电振子；以及将交流电供应至所述压电振子的供电装置。所述心轴被旋转和超声振动，从而旋转和超声振动所述切割刀片。安置用来冷却所述超声振子的冷却装置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种切割设备，其通过将环形切割刀片作用在工件上，同时旋转并超声振动所述环形切割刀片，以切割工件。
技术介绍
由于切割设备适于切割硬的和脆的工件，例如半导体晶片，日本特开第2000-210928号公报和日本特开第2001-162493号公报分别公开了一种切割设备，其通过以下方式来切割工件，即将环形切割刀片作用在所述工件上，而同时绕所述环形切割刀片的轴线转动其并且沿垂直于所述环形切割刀片的轴线的方向超声振动所述环形切割刀片。这种切割设备包括用来保持工件的保持装置，可转动地安装着的心轴，固定在所述心轴上的环形切割刀片，用来超声振动所述心轴的压电振子，以及用来向所述压电振子供应交流电的供电装置。供有交流电的压电振子沿所述心轴的中心轴线方向超声振动所述心轴，而这种超声振动被转化成沿垂直于所述心轴的中心轴线方向作用的超声振动，并传输至所述切割刀片。通过简单地将切割刀片作用在工件上而同时将切割刀片绕其中心轴线旋转即可切割工件。在另一方面，以上所述的切割设备通过以下方式来切割工件，即将切割刀片作用在工件上而同时将切割刀片绕其中心轴线旋转并且沿垂直于其中心轴线的方向超声振动切割刀片。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种切割设备，包括：用来保持工件的保持装置；可转动地安装着的心轴；固定在所述心轴上的环形切割刀片；用来旋转所述心轴的旋转装置；用来超声振动所述心轴的压电振子；以及将交流电供应至所述压电振子的供 电装置，并且所述切割设备被布置成旋转和超声振动所述心轴，从而旋转和超声振动所述切割刀片，并且将所述切割刀片作用在所述工件上，所述切割设备还包括用来冷却所述压电振子的冷却装置。

【技术特征摘要】
JP 2005-2-15 038236/20051.一种切割设备，包括用来保持工件的保持装置；可转动地安装着的心轴；固定在所述心轴上的环形切割刀片；用来旋转所述心轴的旋转装置；用来超声振动所述心轴的压电振子；以及将交流电供应至所述压电振子的供电装置，并且所述切割设备被布置成旋转和超声振动所述心轴，从而旋转和超声...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱晓明，
申请(专利权)人：株式会社迪斯科，
类型：发明
国别省市：JP[日本]