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公开了一种切割设备，包括用来保持工件的保持装置；可转动地安装着的心轴；固定在所述心轴上的环形切割刀片；用来旋转所述心轴的旋转装置；用来超声振动所述心轴的压电振子；以及将交流电供应至所述压电振子的供电装置。所述心轴被旋转和超声振动，从而旋转和...
该专利属于株式会社迪斯科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪斯科授权不得商用。

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