磁性导向物料搬运机器人制造技术

一种装置包括第一设备和第一传送器，第一设备被配置为将基板支撑在其上，第一传送器连接有第一设备，其中第一传送器包括：轨道或磁悬浮引导件；磁性系统，被配置为利用第一设备与轨道或磁悬浮引导件之间的间隙，将第一设备竖直间隔在轨道或磁悬浮引导件之上，其中磁性系统包括在第一设备的第一面的第一角部处的第一电磁致动器、在第一设备的第一面的第二角部处的第二电磁致动器、以及在第一设备的相对的第二面处的第三电磁致动器，其中第三电磁致动器没有定位为靠近第一设备的三个面的角部；以及线性致动器，被配置为沿着轨道或磁悬浮引导件移动第一设备。导件移动第一设备。导件移动第一设备。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】磁性导向物料搬运机器人


[0001]示例性和非限制性实施例总体上涉及基板传送机器人组件。

技术介绍

[0002]用于传送基板的机器人是已知的。用于传送基板传送机器人的线性驱动系统也是已知的，例如在美国专利公开号US 2016/0229296 A1、US 2013/0071218 A1、US 2015/0214086 A1和US 2017/0028546 A1中描述的，这些专利通过引用整体并入本文。

技术实现思路

[0003]以下
技术实现思路
仅旨在作为示例。
技术实现思路
并非旨在限制权利要求的范围。
[0004]根据一个方面，提供了一种装置，该在包括第一设备和第一传送器，第一设备被配置为将基板支撑在其上，第一传送器连接有第一设备，其中第一传送器被配置为支撑第一设备以用于沿着水平路径的移动，其中第一传送器包括至少两个轨道、磁性系统和磁性系统，磁性系统被配置为利用在第一设备与至少两个轨道之间的间隙，将第一设备竖直间隔在至少两个轨道之上，其中磁性系统包括在第一设备的第一面的第一角部处的第一电磁致动器、在第一设备的第一面的第二角部处的第二电磁致动器、以及在第一设备的相对的第二面处的第三电磁致动器，其中第三电磁致动器没有定位为靠近第一设备的三个面的角部，线性致动器被配置为沿着至少两个轨道在路径中移动第一设备。
[0005]根据另一方面，提供了一种方法，该方法包括：靠近第一设备的第一面的第一角部连接第一电磁致动器，其中第一角部位于第一设备的三个面处，其中第一设备被配置为将基板支撑在第一设备上，其中第一电磁致动器是连接有第一设备的第一传送器的磁性系统的一部分，其中第一传送器被配置为支撑第一设备以用于沿着水平路径的移动；靠近第一设备的第一面的第二角部连接第二电磁致动器，其中第二电磁致动器是磁性系统的一部分，其中第二角部位于第一设备的三个面处；靠近第一设备的相对的第二面连接第三电磁致动器，其中第三电磁致动器是磁性系统的一部分，其中第三电磁致动器没有定位为靠近第一设备的三个面的角部；以及将第一设备定位在至少两个引导件之上，其中第一电磁致动器和第二电磁致动器位于引导件中的第一引导件处并且第三电磁致动器位于引导件中的不同的第二引导件处。
[0006]根据另一方面，提供了一种方法，该方法包括：控制第一电磁致动器将第一设备的第一角部竖直间隔在第一轨道之上，其中第一电磁致动器是第一传送器的一部分，第一传送器被配置为利用在第一设备与轨道之间的间隙，将第一设备竖直磁性间隔在第一轨道和第二轨道之上，其中第一传送器被配置为支撑第一设备以用于沿着水平路径的移动，其中第一角部位于第一设备的三个面处，其中第一设备被配置为将基板支撑在第一设备上；控制磁性系统的第二电磁致动器将第一设备的不同的第二角部竖直间隔在第一轨道之上，其中第二角部位于第一设备的三个面处，其中第一角部和第二角部位于第一设备的第一面处；以及控制磁性系统的第三电磁致动器将第一设备竖直间隔在第二轨道之上，其中第三
电磁致动器位于第一设备的相对的第二面处，并且其中第三电磁致动器没有定位为靠近第一设备的三个面的角部。
附图说明
[0007]结合附图在以下描述中解释上述方面和其他特征，在附图中：
[0008]图1是包括如本文所述的特征的基板处理装置的示意性顶视图；
[0009]图2是图1所示的基板处理装置的基板传送装置的立体视图；
[0010]图3是图2所示的基板传送装置的立体视图；
[0011]图4是在基板处理装置的传送室内部示出的图2至图3所示的基板传送装置的立体视图的端视图；
[0012]图5是图1至图4所示的基板传送装置的机器人的侧视图；
[0013]图6是图5所示的机器人的顶视图；
[0014]图7是图5至图6所示的机器人的示意性截面图；
[0015]图8是基板处理装置的传送室内的基板传送装置的端视图；
[0016]图9是示出与图1所示的装置一起使用的各种系统的图；
[0017]图10是图1所示的基板处理装置的传送室内的基板传送装置的示意性顶视图；
[0018]图10A是图10所示的基板处理装置的传送室内的基板传送装置的端部截面图；
[0019]图11是图10所示的传送室内的基板传送装置的端视图；
[0020]图12是示出图10至图11所示的线性电机的磁驱动器和从动构件中的一个的立体视图；
[0021]图13是图12所示的磁驱动器的立体视图；
[0022]图14是与图10至图11所示的装置一起使用的电源模块的立体视图；
[0023]图14A是示出图14所示的多个电源模块的相对布局的立体视图；
[0024]图15是示出使用图14和图14A所示的电源模块的电力耦合的图；
[0025]图16是图15所示的一个示例性实施例耦合的等轴测图；
[0026]图17是示出图10至图11所示的光通信系统的一些组件的示意图；
[0027]图18是传送室的底壁上的基板传送装置的立体视图；
[0028]图18A是传送室的底壁上的基板传送装置的备选实施例的立体视图；
[0029]图19是包括如本文所述的特征的基板处理装置的示意性顶视图；
[0030]图20是磁性支撑系统和控制系统的引导件处的机器人驱动单元的外壳的示意图；
[0031]图20A至图20C是磁悬浮引导件处的电磁致动器的示意图；
[0032]图20D是示出电磁致动器相对于外壳的三角形布局的示意图；
[0033]图20E至图20F是示出电磁致动器相对于外壳的其他形状的三角形布局的示意图；
[0034]图20G是类似于图20的备选实施例的示意图，其中机器人驱动单元的外壳在磁性支撑系统和控制系统的引导件处；
[0035]图21是类似于图20的备选实施例的示意图，其中机器人驱动单元的外壳在磁性支撑系统和控制系统的引导件处；
[0036]图22是类似于图20的备选实施例的示意图，其中机器人驱动单元的外壳在磁性支撑系统和控制系统的引导件处；
[0037]图22A是备选实施例的示意性顶视图；
[0038]图23是类似于图20的备选实施例的示意图，其中机器人驱动单元的外壳在磁性支撑系统和控制系统的引导件处；
[0039]图24A和图24B是在图20至图23所示的磁性支撑系统中使用的电磁致动器的示例的示意图；
[0040]图25A和图25B是在图20至图23所示的磁性支撑系统中使用的电磁致动器的示例的示意图；；
[0041]图26A和图26B是在图20至图23所示的磁性支撑系统中使用的电磁致动器的示例的示意图；
[0042]图27是在图20至图23所示的磁性支撑系统中使用的电磁致动器的示例的示意图；
[0043]图28A和图28B是示例产生的竖直和水平力的示意图；
[0044]图28C是类似于图20的备选实施例的示意图，其中机器人驱动单元的外壳在磁性支撑系统和控制系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种装置，包括：第一设备，被配置为将基板支撑在所述第一设备上；第一传送器，连接有所述第一设备，其中所述第一传送器被配置为支撑所述第一设备以用于沿着水平路径的移动，其中所述第一传送器包括：至少两个引导件；磁性系统，被配置为利用所述第一设备与所述至少两个引导件之间的间隙，将所述第一设备竖直间隔在所述至少两个引导件之上，其中所述磁性系统包括在所述第一设备的第一面的第一角部处的第一电磁致动器、在所述第一设备的所述第一面的第二角部处的第二电磁致动器、以及在所述第一设备的相对的第二面处的第三电磁致动器，其中所述第三电磁致动器没有定位为靠近所述第一设备的三个面的角部；以及线性致动器，被配置为沿着所述至少两个引导件在所述路径中移动所述第一设备。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一电磁致动器、所述第二电磁致动器和所述第三电磁致动器是将所述第一设备竖直间隔在所述至少两个引导件之上的专有致动器。3.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一电磁致动器和所述第二电磁致动器每个被配置为在所述第一设备与第一引导件之间产生相对的水平力。4.根据权利要求3所述的装置，其中所述第三电磁致动器被配置为在所述第一设备与第二引导件之间不产生水平力。5.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一电磁致动器和所述第二电磁致动器每个被配置为在第一方向上在所述第一设备与所述第一引导件之间产生水平力，并且所述装置还包括第四电磁致动器和第五电磁致动器，所述第四电磁致动器和所述第五电磁致动器靠近所述第一设备的三个面的相应的第三角部和第四角部，其中所述第四电磁致动器和所述第五电磁致动器每个被配置为在相对的第二方向上在所述第一设备与所述第二引导件之间产生水平力。6.根据权利要求1所述的装置，还包括：第四电磁致动器，所述第四电磁致动器被定位为靠近所述第一设备的所述第一面，被配置为在第一方向上在所述第一设备与所述第一引导件之间产生水平力；以及第四电磁致动器和第五电磁致动器，所述第四电磁致动器和所述第五电磁致动器靠近所述第一设备的三个面的相应的第三角部和第四角部，其中所述第四电磁致动器和所述第五电磁致动器每个被配置为在相对的第二方向上在所述第一设备与所述第二引导件之间产生水平力。7.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少两个引导件包括在所述第一引导件与所述第二引导件之间的第三引导件，其中所述装置还包括在所述第三引导件处的第四电磁致动器和第五电磁致动器，其中所述第四电磁致动器和所述第五电磁致动器每个被配置为在所述第一设备与所述第三引导件之间产生相对的水平力。8.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一设备包括其中具有机器人电机的机器人外壳、以及被连接到所述机器人电机的机器人臂，其中所述机器人臂位于所述机器人外壳的外部，其中所述机器人臂包括末端执行器，所述末端执行器被配置为将所述基板支撑在所述末端执行器上，其中所述第一面是所述机器人外壳的第一侧面并且所述第二面是所述机器人外壳的相对的第二侧面。9.根据权利要求1所述的装置，还包括在所述第一电磁致动器处的第一传感器、在所述
第二电磁致动器处的第二传感器、以及在所述电磁致动器处的第三传感器，其中所述传感器被配置为测量所述第一设备相对于所述第一引导件和所述第二引导件的位置。10.根据权利要求1所述的装置，还包括被配置为与控制器通信的无线通信设备，所述控制器与所述装置分离。11.根据权利要求10所述的装置，其中所述无线通信设备被配置为周期性地向所述控制器发送来自所述装置的电机放大器的所有运动轴的位置、来自所述装置的输入/输出模块的数字和模拟输入的状态、以及来自所述装置的所述输入/输出模块的数字输入变化的定时。12.根据权利要求11所述的装置，其中所述无线通信设备被配置为向所述控制器发送来自所述电机放大器的数字和模拟输入的状态和/或来自所述电机放大器的数字输入变化的定时。13.根据权利要求10所述的装置，其中所述无线通信设备被配置为从所述控制器接收去往电机放大器的每个运动轴的命令电流、以及用于设置去往输入/输出模块的数字和模拟输出的信息。14.根据权利要求13所述的装置，其中所述无线通信设备被配置为从所述控制器接收用于设置去往所述电机放大器的数字和模拟输出的信息。15.一种方法，包括：靠近第一设备的第一面的第一角部连接第一电磁致动器...

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：