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一种装置包括第一设备和第一传送器，第一设备被配置为将基板支撑在其上，第一传送器连接有第一设备，其中第一传送器包括：轨道或磁悬浮引导件；磁性系统，被配置为利用第一设备与轨道或磁悬浮引导件之间的间隙，将第一设备竖直间隔在轨道或磁悬浮引导件之上，...
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