【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种线性马达等。
技术介绍
1、在专利文献1及专利文献2中公开了一种线性马达，其具备根据流过的电流而产生动力的线圈列。在这些专利文献中，将线圈列整体浸渍于制冷剂中从而进行冷却。
2、专利文献1：日本特开2006-6050号公报
3、专利文献2：日本特开2006-121813号公报
4、专利文献1及专利文献2中公开的线性马达为未设置有卷绕有构成线圈列的线圈的芯(磁性材料的芯)的所谓的无芯线性马达。另一方面，在设置有芯的线性马达中，由于在线圈的内侧及至少一个端面存在芯，因此制冷剂无法遍布。
技术实现思路
1、本专利技术是鉴于这种状况而完成的，其目的在于提供一种能够有效地冷却设置有芯的线圈列的线性马达等。
2、为了解决上述课题，本专利技术的一种实施方式的线性马达具备：线圈列，具备沿着移动方向排列的多个线圈，并且根据流过的电流而产生动力；芯部件，具备卷绕有多个线圈的多个芯部和在线圈列的至少一个端面侧连结多个芯部的芯连结部；及冷却部，使冷却线圈列的制冷剂流动。冷却部使制冷剂在设置于线圈列的至少一个端面侧的与移动方向垂直的宽度方向上的两侧的第1侧方空间及第2侧方空间、以及贯穿设置于芯连结部从而连通第1侧方空间与第2侧方空间的连通通道内流过。
3、在该实施方式中，利用流过设置在线圈列的宽度方向上的两侧的第1侧方空间及第2侧方空间、以及贯穿设置于芯连结部从而连通该第1侧方空间与该第2侧方空间的连通通道的制冷剂来有效地冷却线圈
4、本专利技术的另一种实施方式为定位装置。该装置将上述线性马达作为动力源。
5、本专利技术的又一种实施方式为处理装置。该装置利用上述定位装置来对被处理物进行定位。
6、本专利技术的又一种实施方式为器件制造方法。在该方法中，利用上述处理装置对被处理物进行处理从而制造器件。
7、另外，以上构成要件的任意组合或将这些表述转换成方法、装置、系统、存储介质或计算机程序等的方式也包括在本专利技术中。
8、根据本专利技术，能够有效地冷却设置有芯的线圈列。
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1.一种线性马达，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的线性马达，其特征在于，
5.根据权利要求3所述的线性马达，其特征在于，
6.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，
9.一种定位装置，其特征在于，
10.一种处理装置，其特征在于，
11.一种器件制造方法，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种线性马达，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的线性马达，其特征在于，
5.根据权利要求3所述的线性马达，其特征在于，
6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：池田隆，吉田达矢，篠平大辅，和田康太郎，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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