CMOS图像传感器的制造方法技术

技术编号:3185312 阅读:155 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开一种CMOS图像传感器的制造方法。该方法包括以下步骤:在衬底上形成焊盘之后,涂布氧化物层和氮化物层;通过蚀刻该氧化物层和氮化物层露出并清洗该焊盘;涂布焊盘保护层;执行氢退火工艺;执行微透镜工艺、平坦化工艺以及滤色镜阵列工艺;以及去除焊盘区域的焊盘保护层。从而防止氮化物层的脱落现象和圆形缺陷。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种CMOS图像传感器的制造方法,该方法包括以下步骤:    在衬底上形成焊盘之后,涂布氧化物层和氮化物层;    通过蚀刻该氧化物层和该氮化物层露出并清洗该焊盘;    涂布焊盘保护层;    执行氢退火工艺;    执行微透镜工艺、平坦化工艺以及滤色镜阵列工艺;以及    去除焊盘区域的焊盘保护层。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:金唇翰
申请(专利权)人:东部电子股份有限公司
类型:发明
国别省市:KR[韩国]

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