【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种CMOS图像传感器的制造方法,该方法包括以下步骤: 在衬底上形成焊盘之后,涂布氧化物层和氮化物层; 通过蚀刻该氧化物层和该氮化物层露出并清洗该焊盘; 涂布焊盘保护层; 执行氢退火工艺; 执行微透镜工艺、平坦化工艺以及滤色镜阵列工艺;以及 去除焊盘区域的焊盘保护层。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:金唇翰,
申请(专利权)人:东部电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:KR[韩国]
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