下载CMOS图像传感器的制造方法的技术资料

文档序号:3185312

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本发明公开一种CMOS图像传感器的制造方法。该方法包括以下步骤:在衬底上形成焊盘之后,涂布氧化物层和氮化物层;通过蚀刻该氧化物层和氮化物层露出并清洗该焊盘;涂布焊盘保护层;执行氢退火工艺;执行微透镜工艺、平坦化工艺以及滤色镜阵列工艺;以及去...
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