【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种曝光装置，透过液体使曝光用光照射于基板上，使该基板曝光，其特征在于，具备： 显示装置，该显示装置用于显示将该液体充满该曝光用光的光路空间时的进行状况、以及从该光路空间回收该液体时的进行状况的至少一个。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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