用于供给药液的泵单元制造技术

本发明专利技术提供一种用于供给药液的泵单元，可以对泵和泵前后的各开关阀进行单元化来实现小型化，能够在泵单元的药液流路中减少气泡或药液的滞留。泵单元（１０）是在泵（１１）（泵壳体２１，２２）上一体地组装有一体设有吸入侧截流阀（１３）的吸入侧流路部件（１７）、和一体设有排出侧截流阀（１４）的排出侧流路部件（１８）而形成的。与泵室（２５）连通的吸入通道（１７ａ，２１ｂ）和排出通道（１８ａ，２１ｃ）处于同一直线（Ｌ１）上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及例如在半导体制造装置的药液(化学液体)使用工序中适于将光致抗蚀剂等药液按照预定的量涂布到各半导体晶片的用于供给药液的泵单元。
技术介绍
在药液供给系统中，为了将光致抗蚀剂等药液从瓶中抽吸上来而按照预定的量涂布到各半导体晶片上，以往是在泵或泵的附近分别配置必要的各开关阀，用配管将其连接起来。但是，在这样的系统结构中，每当用配管连接时都需要管接头，配置这些配管和管接头的空间导致药液供给用系统的大型化。另外，为了在多个半导体晶片上同时涂布药液，一般地，处理槽(半导体晶片上涂布药液的室)在上下方向上为多层重叠设计。但是，处理槽的空间狭窄，无法将从排出药液的喷嘴、排出侧的开关阀、泵、直到吸入侧的开关阀全部配置在处理槽内。处理槽内只能设置喷嘴和排出侧开关阀，泵或吸入侧开关阀等都集中在设置于处理槽下段的容纳部中。因此，根据泵的不同，对于每个处理槽，下游侧的配管长度和高低差(扬程差)都不同，压力损失也就不同了。由于这是在每个处理槽的药液的排出量等方面产生差别的主要原因，因此在任一处理槽中均确保相同排出量的设定很难。因此，例如在专利文献1公开的药液供给系统中，将必要的各开关阀(入口阀和出口阀)一体组装在泵和泵附近来进行单元化。也就是说，省去了泵与各开关阀之间的配管及其所需的管接头而作为泵单元进行小型化，从而能够将泵单元配置在每个处理槽中。这样，由于可以在每个处理槽中使配管长度和从泵起至喷嘴的高低差(扬程差)相同，因此在任何处理槽中都确保相同的排出量变得容易。但是，从变空的瓶重新替换成充填药液的瓶之后，会存在气泡混入药液流路中的情况。由于该气泡成为药液定量排出的妨碍，因此需要从药液流路中去除气泡，此时，从喷嘴排放(放出)预定量的药液以去除气泡。然而，由于光致抗蚀剂等药液价格很高，需要尽量减小药液的排放量来去除气泡。但是，在专利文献1的泵单元中，吸入口中药液的导入方向和排出口中药液的排出方向是相差90度而分别朝向不同的方向，而且从吸入口到排出口的泵单元内的药液流路复杂地弯曲着。也就是说，由于在药液流路中产生了气泡滞留的部分，因此以较小的排出量不能有效地去除气泡，存在排出量增大的问题。另外，这种气泡滞留的部分也是药液滞留的部分，存在的问题是，在该部分由于长时间滞留使药液变质。专利文献1特开2003-49778号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题本专利技术的主要目的在于提供用于供给药液的泵单元，可以使泵或泵附近的各开关阀单元化而实现小型化，在单元的药液流路中可以减少气泡和药液的滞留。解决问题的方法根据本专利技术的用于供给药液的泵单元构成如下。即，一种用于供给药液的泵单元，包括泵，其具有进行药液的排出、吸入的泵室；吸入侧开关阀，与上述泵室连通，用于对将上述药液吸入该泵室的吸入通道进行开关；排出侧开关阀，与上述泵室连通，用于对将上述药液从该泵室排出的排出通道进行开关，上述吸入通道和上述排出通道以大致直线形状配置在同一直线上，且一体地组装上述泵、上述吸入侧开关阀和上述排出侧开关阀。在该用于供给药液的泵单元中，与泵室连通的吸入通道和排出通道共同呈大致直线状，按照吸入通道和排出通道处于同一直线上的方式，泵、对吸入通道进行开关的吸入侧开关阀和对排出通道进行开关的排出侧开关阀被组装为一体。由此，通过将泵、吸入侧开关阀、和排出侧开关阀组装为一体，能够省去泵与吸入侧开关阀之间的配管及其所需的管接头、泵与排出侧开关阀之间的配管及其所需的管接头，从而使泵单元小型化。据此，可以将泵单元配置在处理槽内，由于可以使每个处理槽中泵下游侧的配管长度和高低差(扬程差)相同，因此防止了在排出量等方面产生差别。另外，由于与泵室连通的吸入通道和排出通道共同呈大致直线状而配置在同一直线上，从而能够在泵单元的药液流路中尽可能减小气泡和药液滞留的部分。因此，能够以较小的排出量有效地去除气泡，可以减轻药液的变质。此外，作为上述用于供给药液的泵单元的具体例子举例如下一种用于供给药液的泵单元包括泵，具有进行药液的排出、吸入的泵室；吸入侧开关阀，与上述泵室连通，用于对将上述药液吸入该泵室的吸入通道进行开关；排出侧开关阀，与上述泵室连通，用于对将上述药液从该泵室排出的排出通道进行开关，同时，还包括吸入侧流路部件，具有大致直线形状的内部通道，且一体地组装有上述吸入侧开关阀；和排出侧流路部件，具有大致直线状的内部通道，且一体地组装有上述排出侧开关阀，上述泵是一种在泵壳体内具有与上述内部通道连通以构成上述吸入通道的大致直线状的内部通道、和与上述内部通道连通以构成上述排出通道的大致直线状的内部通道的泵，上述吸入侧流路部件和上述排出侧流路部件按照上述吸入通道和上述排出通道处于同一直线上的方式，相对于上述泵壳体组装为一体。在该用于供给药液的泵单元中，与泵室连通的吸入通道(泵壳体和吸入侧流路部件的内部通道)以及排出通道(泵壳体和排出侧流路部件的内部通道)共同呈直线状，吸入侧部件和排出侧部件按照吸入通道和排出通道处于同一直线上的方式，相对于泵壳体组装为一体。即，由于在吸入侧部件上一体设置有吸入侧开关阀，在排出侧部件上一体设置有排出侧开关阀，因此，可以省去泵与吸入侧开关阀之间的配管及其所需管接头、以及泵与排出侧开关阀之间的配管及其所需管接头，使泵单元小型化。据此，泵单元能够配置在处理槽内，由于每个处理槽中可以使泵下游侧的配管长度和高低差(扬程差)相同，因此防止在排出量等方面产生差别。另外，由于与泵室连通的吸入通道和排出通道共同呈大致直线形状而配置在同一直线上，因此，能够在泵单元的药液流路中尽可能减少气泡或药液的滞留部分。因此，能够以较少的排出量很好地进行气泡去除，能够减少劣质的药液形成。作为上述具体例子所示的用于供给药液的泵单元，在上述泵壳体与上述各流路部件之间设有按照上述内部通道内的药液从两部件间的缝隙不泄漏的方式进行密封的密封环，优选地，上述密封环的内周面被形成为与该密封环的上游侧和下游侧的内部通道的内周面光滑地连接的形状。在该结构中，密封环的内周面与泵壳体和各流路部件所具有的内部通道的内周面光滑地连接。在此，所谓光滑地连接的形状是指在密封环的上游侧和下游侧的内部通道之间不产生锐角凹陷的形状，例如为以下形状，即，与内部通道的内周面连接，并且在密封环的厚度方向上从通道侧向着中央部延伸的方向中，内周面的凹陷向着密封环的径向外侧逐渐变深。如果这样，则密封环部分中的药液流变得顺畅，能够防止药液或气泡滞留。此外，上述泵壳体为内部具有隔膜的薄型扁平形状，上述吸入侧流路部件和上述排出侧流路部件均呈棒状，沿上述泵壳体的扁平方向分别配置。优选地，上述吸入侧开关阀和上述排出侧开关阀在正交于上述吸入侧流路部件和上述排出侧流路部件的方向沿上述泵壳体的扁平方向分别配置。在该结构中，具有隔膜的泵(泵壳体)沿该隔膜的扩展方向呈薄型的扁平形状。如果沿这种泵壳体的扁平方向配置棒状的吸入侧流路部件和排出侧流路部件，则该流路部件在与扁平方向的正交方向上不突出，或者突出不大。另外，如果在正交于这种吸入侧流路部件和排出侧流路部件的方向沿泵壳体的扁平方向配置吸入侧开关阀和排出侧开关阀，则该开关阀不但在与扁平方向正交的方向上不突出，或者突出不大，而且在扁平方向上也不很突出。由此，能够实现包含泵单元薄型化的小型化。优选地，本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于供给药液的泵单元，包括：泵，具有进行药液的排出、吸入的泵室；吸入侧开关阀，与所述泵室连通，用于对将所述药液吸入到所述泵室的吸入通道进行开关；和排出侧开关阀，与所述泵室连通，用于对将所述药液从所述泵室排出的排出通道进行开关，其特征在于：　　所述吸入通道和所述排出通道共同呈大致直线状而配置在同一直线上，所述泵、所述吸入侧开关阀和所述排出侧开关阀组装为一体。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2004-9-10 264423/20041.用于供给药液的泵单元，包括泵，具有进行药液的排出、吸入的泵室；吸入侧开关阀，与所述泵室连通，用于对将所述药液吸入到所述泵室的吸入通道进行开关；和排出侧开关阀，与所述泵室连通，用于对将所述药液从所述泵室排出的排出通道进行开关，其特征在于所述吸入通道和所述排出通道共同呈大致直线状而配置在同一直线上，所述泵、所述吸入侧开关阀和所述排出侧开关阀组装为一体。2.用于供给药液的泵单元，包括泵，具有进行药液的排出、吸入的泵室；吸入侧开关阀，与所述泵室连通，用于对将所述药液吸入到所述泵室的吸入通道进行开关；和排出侧开关阀，与所述泵室连通，用于对将所述药液从所述泵室排出的排出通道进行开关，其特征在于所述用于供给药液的泵单元具有吸入侧流路部件，具有大致直线状的内部通道，且一体地组装有所述吸入侧开关阀；和排出侧流路部件，具有大致直线状的内部通道，且一体地组装有所述排出侧开关阀，同时，在所述泵的泵壳体内具有与所述吸入侧流路部件的内部通道连通以构成所述吸入通道的大致直线状的内部通道；和与所述排出侧流路部件的内部通道连通以构成所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥村胜弥，荒川和弘，伊藤重伸，
申请(专利权)人：CKD株式会社，奥特克株式会社，东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]