【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种薄膜图案层的制造方法。
技术介绍
目前制造薄膜图案层的方法主要包括光微影法及喷墨法。光微影法通过在基板上涂敷光阻材料,将具有预定图案的光罩设于光阻材料上,进行曝光显影,或加上蚀刻制程,而形成具有预设图案的薄膜图案层。该光微影法需要抽真空装置等大型设备或复杂的制程,并且,材料的使用效率较低而造成制造成本高。喷墨法喷墨方法能够一次形成薄膜图案层,使得制备过程大量简化,成本大幅降低。故喷墨方法具有制程简化、环保、节省原料等优点。在目前进行的薄膜图案层制作中,喷墨法皆是使用喷墨装置在已形成挡墙的玻璃基板上进行喷墨,并且一收容空间使用一个喷嘴进行喷墨,使墨水干燥形成薄膜图案层。然而,因为每个喷嘴的喷墨量与喷嘴有一定的联系,故往往容易造成各收容空间的墨量差异较大,从而造成薄膜图案层不均匀的状况。
技术实现思路
有鉴于此,有必要提供一种能提高均匀度的薄膜图案层的制造方法。一种薄膜图案层的制造方法,其步骤如下提供一个基板;在该基板上形成多个挡墙,该挡墙与基板限定多个收容空间;通过喷墨头将所需的墨水喷入收容空间内,并且使用至少两个喷嘴对同一个收容空间喷墨;干燥固化收容空间中的墨水而形成薄膜图案层。由于每个喷嘴的喷墨量因喷嘴而有所差异,相较于现有技术,所述薄膜图案层的制造方法,使用至少两个喷嘴对同一个收容空间喷墨,故可以降低各收容空间的墨量差异,从而提高薄膜图案层的均匀度。附图说明图1至图14为本专利技术实施例提供的一种薄膜图案层的制造方法示意图,其中图1为基板剖面示意图。图2为形成有挡墙的基板剖面示意图。图3至图4为喷墨步骤的第一实施方式示意图。图5至图8为 ...
【技术保护点】
一种薄膜图案层的制造方法,其包括以下步骤:提供一个基板;在该基板上形成多个挡墙,该挡墙与基板限定多个收容空间;通过喷墨头将所需的墨水喷入收容空间内,并且使用至少两个喷嘴对同一个收容空间喷墨;干燥固化收容空间中 的墨水而形成薄膜图案层。
【技术特征摘要】
1.一种薄膜图案层的制造方法,其包括以下步骤提供一个基板;在该基板上形成多个挡墙,该挡墙与基板限定多个收容空间;通过喷墨头将所需的墨水喷入收容空间内,并且使用至少两个喷嘴对同一个收容空间喷墨;干燥固化收容空间中的墨水而形成薄膜图案层。2.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述基板材料选自玻璃、石英玻璃、硅晶片、金属或塑料。3.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述挡墙是由树脂材料组成。4.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述挡墙是通过光罩对光阻材料层曝光显影形成。5.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述对同一个收容空间喷墨的喷嘴是设置在同一喷墨头上。6.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述喷墨步骤包括下列分步骤所述喷墨头中第一喷嘴对一收容空间喷墨;所述喷墨头朝着该收容空间水平移动;所述喷墨头中第二喷嘴对该收容空间喷墨。7.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述喷墨步骤包括下列分步骤所述喷墨头沿着第一方向移动;所述喷墨头中第一喷嘴对一收容空间喷墨;所述喷墨头继续沿着第一方向移动;所述喷墨头移动到该收容空间的一侧后,再沿着与第一方向垂直的第二方向移动喷墨头;当所述喷墨头中的第二喷嘴移动到与该收容空间在同一直线后,所述喷墨头沿着第一方向的反方向移动,第二喷嘴再对该收容空间喷墨。8.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述对同一个收容空间喷墨的喷嘴是分别设置在第一、第二喷墨头上。9.如权利要求8所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述喷墨步骤包括下列分步骤...
【专利技术属性】
技术研发人员:周景瑜,王宇宁,
申请(专利权)人:虹创科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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