一种管式PECVD辅助加热棒制造技术

本实用新型专利技术提供一种管式PECVD辅助加热棒，属于PECVD设备技术领域，更具体地涉及一种管式PECVD炉腔内辅助加热棒的结构。包括辅助加热棒、温度控制器、电源和壳体，辅助加热棒包括高温护套管、高温电热丝、高温导热绝缘层；高温电热丝、第一不发热电极和第二不发热电极均设置于高温护套管内，第一不发热电极和第二不发热电极均与高温电热丝电性连接，壳体与辅助加热棒相靠近的一端开设有安装槽，通过对温度控制器的调节，来控制整个辅助加热棒的温度，无需外部温度控制，提高使用安全性。提高使用安全性。提高使用安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种管式PECVD辅助加热棒


[0001]本技术属于属于PECVD设备技术，具体地涉及一种管式PECVD炉腔内辅助加热棒。

技术介绍

[0002]管式PECVD是广泛应用在太阳能光伏行业，用于电池片表面镀膜(减反膜)，以增强光吸收率并延长电池片寿命的重要设备。炉体作为热源，一般呈管状，为简化结构；现有加热方式的不足和缺陷:1、减反膜的沉积反应是在高温下进行的，反应完成后，炉体需要降温以方便取出电池片进行其他后续工艺，由于目前全部依靠炉体加热，这种加热方式在一个工艺周期内（只有40分钟左右）是很难将镀膜基片温度提高到500度以上的，工艺时间需要随之延长，进而影响PECVD设备的产能，降低效率；2、减反膜的沉积反应过程中，炉体内部的热量过高加之温度控制点仅有几个点造成为生产过程的温度不稳定因素。降温同时也很慢，延长工艺时间对产品生产效率有极大的影响。
[0003]随着管式PECVD的单管单批次产能越来越大，石墨舟和加热炉体也随之加大，原有的单一炉体加热方式已经无法达到快速响应升温的要求了，增长了升温时间，降低了生产效率，且大多由外部温度控制，无法从内部进行调节。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是克服上述现有技术的不足，提供一种管式PECVD炉腔内辅助加热棒结构，旨在解决现有技术中的辅助加热棒不能内部温度控制的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种管式PECVD辅助加热棒，包括辅助加热棒、温度控制器、电源和壳体，所述辅助加热棒包括高温护套管、高温电热丝、高温保护层、第一不发热电极和第二不发热电极，所述高温电热丝、第一不发热电极和第二不发热电极均设置于高温护套管内，所述高温电热丝设置有两个，所述第一不发热电极和第二不发热电极均与高温电热丝电性连接，所述壳体与辅助加热棒相靠近的一端开设有安装槽，所述辅助加热棒穿过安装槽并向壳体内延伸，所述温度控制器设置于壳体内，所述温度控制器包括毛细管、液涨式感温探头、温度调节旋钮、第一控制器电极和第二控制器电极，所述温度调节旋钮电性连接于温度调节旋钮和第一控制器电极之间，所述第一控制器电极和第一不发热电极均与电源电性连接，所述第二不发热电极与温度调节旋钮电性连接，所述毛细管电性连接于温度调节旋钮与第一控制器电极的断开处，所述液涨式感温探头与毛细管电性连接。
[0007]作为本技术一种优选的方案，所述安装槽内固定安装有连接法兰，所述连接法兰套设于辅助加热棒的圆周表面，所述连接法兰与壳体的连接处设置有法兰焊接密封层。
[0008]作为本技术一种优选的方案，所述第二不发热电极为氧化镁。
[0009]作为本技术一种优选的方案，所述电源为380V低压电源。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0011]1、本方案液涨式感温探头受高温电热丝温度的控制，温度随着升高和降低，温度升高，里面的液体膨胀，液体返流，通过挤压，使得第一控制器电极和第二控制器电极接触，此时电源的正负极相连接是实现通电，温度降低，液体回流，第一控制器电极和第二控制器电极之间断开，并产生距离，实现断电，辅助加热棒也随之降温，通过对温度控制器的调节，来控制整个辅助加热棒的温度，无需外部温度控制，提高使用安全性。
[0012]2、本方案法兰焊接密封层的设置，用于密封连接法兰与壳体之间的缝隙，保证其密封性，提高辅助加热棒的使用安全性。
附图说明
[0013]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0014]图1为本技术的整体结构图；
[0015]图2为本技术图1的A处放大图。
[0016]图中：1、辅助加热棒；101、高温护套管；102、高温电热丝；103、高温保护层；104、第一不发热电极；105、第二不发热电极；2、连接法兰；201、法兰焊接密封层；3、温度控制器；301、毛细管；302、液涨式感温探头；303、温度调节旋钮；304、第一控制器电极；305、第二控制器电极；4、电源；5、壳体。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0019]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
实施例
[0020]请参阅图1
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2，本实施例提供的技术方案如下：
[0021]一种管式PECVD辅助加热棒，包括辅助加热棒1、温度控制器3、电源4和壳体5，辅助
加热棒1包括高温护套管101、高温电热丝102、高温保护层103、第一不发热电极104和第二不发热电极105，高温电热丝102、第一不发热电极104和第二不发热电极105均设置于高温护套管101内，高温电热丝102设置有两个，第一不发热电极104和第二不发热电极105均与高温电热丝102电性连接，壳体5与辅助加热棒1相靠近的一端开设有安装槽，辅助加热棒1穿过安装槽并向壳体5内延伸，温度控制器3设置于壳体5内，温度控制器3包括毛细管301、液涨式感温探头302、温度调节旋钮303、第一控制器电极304和第二控制器电极305，温度调节旋钮303电性连接于温度调节旋钮303和第一控制器电极304之间，第一控制器电极304和第一不发热电极104均与电源4电性连接，第二不发热电极105与温度调节旋钮303电性连接，毛细管301电性连接于温度调节旋钮303与第一控制器电极304的断开处，液涨式感温探头302与毛细管301电性连接。
[0022]在本技术的具体实施例中，液涨式感温探头302受高温电热丝102温度的控制，温度随着升高和降低，温度升高，里面的液体膨胀，液体返流，通过挤压，使得第一控制器电极304和第二控制器电极305接触，此时电源本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管式PECVD辅助加热棒，其特征在于：包括辅助加热棒（1）、温度控制器（3）、电源（4）和壳体（5），所述辅助加热棒（1）包括高温护套管（101）、高温电热丝（102）、高温保护层（103）、第一不发热电极（104）和第二不发热电极（105），所述高温电热丝（102）、第一不发热电极（104）和第二不发热电极（105）均设置于高温护套管（101）内，所述高温电热丝（102）设置有两个，所述第一不发热电极（104）和第二不发热电极（105）均与高温电热丝（102）电性连接，所述壳体（5）与辅助加热棒（1）相靠近的一端开设有安装槽，所述辅助加热棒（1）穿过安装槽并向壳体（5）内延伸，所述温度控制器（3）设置于壳体（5）内，所述温度控制器（3）包括毛细管（301）、液涨式感温探头（302）、温度调节旋钮（303）、第一控制器电极（304）和第二控制器电极（305），所述温度调节旋钮（3...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋日永，蒋萧，
申请(专利权)人：江苏奥崎电气科技有限公司，
类型：新型
国别省市：