一种管式PECVD辅助加热棒制造技术

本实用新型专利技术提供一种管式PECVD辅助加热棒，属于PECVD设备技术领域，更具体地涉及一种管式PECVD炉腔内辅助加热棒的结构。包括辅助加热棒、温度控制器、电源和壳体，辅助加热棒包括高温护套管、高温电热丝、高温导热绝缘层；高温电热丝、第一不发热电极和第二不发热电极均设置于高温护套管内，第一不发热电极和第二不发热电极均与高温电热丝电性连接，壳体与辅助加热棒相靠近的一端开设有安装槽，通过对温度控制器的调节，来控制整个辅助加热棒的温度，无需外部温度控制，提高使用安全性。提高使用安全性。提高使用安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种管式PECVD辅助加热棒


[0001]本技术属于属于PECVD设备技术，具体地涉及一种管式PECVD炉腔内辅助加热棒。

技术介绍

[0002]管式PECVD是广泛应用在太阳能光伏行业，用于电池片表面镀膜(减反膜)，以增强光吸收率并延长电池片寿命的重要设备。炉体作为热源，一般呈管状，为简化结构；现有加热方式的不足和缺陷:1、减反膜的沉积反应是在高温下进行的，反应完成后，炉体需要降温以方便取出电池片进行其他后续工艺，由于目前全部依靠炉体加热，这种加热方式在一个工艺周期内（只有40分钟左右）是很难将镀膜基片温度提高到500度以上的，工艺时间需要随之延长，进而影响PECVD设备的产能，降低效率；2、减反膜的沉积反应过程中，炉体内部的热量过高加之温度控制点仅有几个点造成为生产过程的温度不稳定因素。降温同时也很慢，延长工艺时间对产品生产效率有极大的影响。
[0003]随着管式PECVD的单管单批次产能越来越大，石墨舟和加热炉体也随之加大，原有的单一炉体加热方式已经无法达到快速响应升温的要求了，增长了升温时间，降低了生产效率，且大多由外部温度控制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管式PECVD辅助加热棒，其特征在于：包括辅助加热棒（1）、温度控制器（3）、电源（4）和壳体（5），所述辅助加热棒（1）包括高温护套管（101）、高温电热丝（102）、高温保护层（103）、第一不发热电极（104）和第二不发热电极（105），所述高温电热丝（102）、第一不发热电极（104）和第二不发热电极（105）均设置于高温护套管（101）内，所述高温电热丝（102）设置有两个，所述第一不发热电极（104）和第二不发热电极（105）均与高温电热丝（102）电性连接，所述壳体（5）与辅助加热棒（1）相靠近的一端开设有安装槽，所述辅助加热棒（1）穿过安装槽并向壳体（5）内延伸，所述温度控制器（3）设置于壳体（5）内，所述温度控制器（3）包括毛细管（301）、液涨式感温探头（302）、温度调节旋钮（303）、第一控制器电极（304）和第二控制器电极（305），所述温度调节旋钮（3...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋日永，蒋萧，
申请(专利权)人：江苏奥崎电气科技有限公司，
类型：新型
国别省市：