一种适用于管式PECVD设备的真空抽气管道结构制造技术

一种适用于管式PECVD设备的真空抽气管道结构属于PECVD设备技术领域，具体涉及一种适用于管式PECVD设备的真空抽气管道结构。本实用新型专利技术提供一种能适应PECVD设备做工艺时的抽真空要求，减少工艺气体浪费，降低太阳能电池片单片成本的真空抽气管道结构。本实用新型专利技术包括真空泵，真空泵上设置有真空管道，真空管道上依次设置有蝶阀和真空挡板阀，真空管道末端为抽真空口，其特征在于：所述真空泵和蝶阀之间设置有慢抽管路，慢抽管路末端与抽真空口连通；所述蝶阀和真空挡板阀之间设置有工艺抽管路，工艺抽管路末端与抽真空口连通；所述真空管道的口径＞慢抽管路口径＞工艺抽管路口径。管道的口径＞慢抽管路口径＞工艺抽管路口径。管道的口径＞慢抽管路口径＞工艺抽管路口径。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于管式PECVD设备的真空抽气管道结构


[0001]本技术属于PECVD设备
，具体涉及一种适用于管式PECVD设备的真空抽气管道结构。

技术介绍

[0002]太阳能电池是一种具有光
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电转换特性的半导体器件，它直接将太阳辐射能转换成直流电，是光伏发电的最基本单元，在太阳能收集转化过程中，太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，据测算，光在硅表面的反射损失率高达35%左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率，同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小了暗电流，提升了开路电压，提高了光电转换效率；在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si
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H、N
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H键，游离出来的H进一步加强了对电池的钝化。
[0003]等离子增强型化学气相沉积（PECVD）是在一定真空条件下进行的，利用真空泵进行抽真空，通过真空蝶阀控制，另加手动高真空球阀辅助来实现调节抽速的目的。抽速快慢影响着做工艺的时间，抽速快能够快速达到做工艺要求的真空环境，为了尽快满足工艺要求的真空环境，采取了大口径（DN80）真空管道。但是若一开始就用大口径（DN80）抽真空会使得反应腔体内真空度骤变导致反应腔体出现应力集中现象，容易导致反应腔体损坏破裂。传统的设计解决方案是再加一路“辅抽”管路，构成“主抽”+“辅抽”的抽真空管路系统。在“主抽”进行之前先进行“辅抽”将反应腔体内气体抽走一部分，较好的解决了因真空环境骤变导致的反应腔体损坏破裂的问题。
[0004]开始做工艺时通过特气管道往反应腔体内通反应气体，为使腔体内真空度保持不变，抽真空要一直进行。为了维持特定的工艺压力，做工艺时抽速不能太快，需要通过真空蝶阀来调节抽速快慢以维持特定工艺压力，但真空蝶阀的蝶板完全闭合时不能完全密封，蝶板与阀体之间仍存在间隙。即使将真空蝶阀调到最小其抽速仍然较快，导致反应气体进量增加，又被快速抽离反应腔体并未起到相应的作用造成工艺气体严重浪费，增加了单片成本。

技术实现思路

[0005]本技术就是针对上述问题，提供一种能适应PECVD设备做工艺时的抽真空要求，减少工艺气体浪费，降低太阳能电池片单片成本的真空抽气管道结构。
[0006]为了实现本技术的上述目的，本技术采用如下技术方案，本技术包括真空泵，真空泵上设置有真空管道，真空管道上依次设置有蝶阀和真空挡板阀，真空管道末端为抽真空口，其特征在于：所述真空泵和蝶阀之间设置有慢抽管路，慢抽管路末端与抽真空口连通；所述蝶阀和真空挡板阀之间设置有工艺抽管路，工艺抽管路末端与抽真空口连通；所述真空管道的口径＞慢抽管路口径＞工艺抽管路口径。
[0007]作为本技术的一种优选方案，所述慢抽管路上设置有第一手动高真空球阀和第一角阀。
[0008]进一步的，所述慢抽管路上还设置有第一波纹管段。
[0009]作为本技术的另一种优选方案，所述工艺抽管路上设置有第二手动高真空球阀和第二角阀。
[0010]进一步的，所述工艺抽管路上还设置有第二波纹管段。
[0011]更进一步的，所述第一角阀和第二角阀设置为气动角阀或电动角阀。
[0012]本技术的有益效果：1、本技术通过设置慢抽管路，能对工艺腔室进行慢抽，然后转为主抽，从而避免工艺腔室出现应力集中的现象，保证设备安全。
[0013]2、本技术设置了工艺抽管路，将工艺抽管路设置在蝶阀和真空挡板阀之间，在工艺腔室做工艺时，可实现低工艺抽管路的低真空度抽吸，从而节约工艺气体，避免浪费，降低太阳能电池片的单片成本。
[0014]3、本技术工艺抽管路和慢抽管路上均设置了波纹管段，便于管路的连接和调整；同时，将第一角阀和第二角阀设置为气动角阀或电动角阀，便于抽真空的通断控制，使用方便。
附图说明
[0015]图1是本技术的结构示意图。
[0016]图2是本技术的俯视图。
[0017]附图中1为真空泵、2为主抽管路、3为第一手动高真空球阀、4为蝶阀、5为第二角阀、6为第二手动高真空球阀、7为真空挡板阀、8为工艺抽管路、9为真空管道、10为抽真空口、11为慢抽管路、12为第一角阀、13为第二波纹管段、14为压力表、15为第一波纹管段。
具体实施方式
[0018]本技术包括真空泵1，真空泵1上设置有由真空管道9及真空管道9上的蝶阀4和真空挡板阀7构成的主抽管路2，真空管道9末端为抽真空口10，其特征在于：所述真空泵1和蝶阀4之间设置有慢抽管路11，慢抽管路11末端与抽真空口10连通；所述蝶阀4和真空挡板阀7之间设置有工艺抽管路8，工艺抽管路8末端与抽真空口10连通；所述真空管道9的口径＞慢抽管路11口径＞工艺抽管路8口径。
[0019]作为本技术的一种优选方案，所述慢抽管路11上设置有第一手动高真空球阀3和第一角阀12。
[0020]进一步的，所述慢抽管路11上还设置有第一波纹管段15。
[0021]作为本技术的另一种优选方案，所述工艺抽管路8上设置有第二手动高真空球阀6和第二角阀5。
[0022]进一步的，所述工艺抽管路8上还设置有第二波纹管段13。
[0023]更进一步的，所述第一角阀12和第二角阀5设置为气动角阀或电动角阀。
[0024]所述真空管道9上相对于抽真空口10设置有压力表14。
[0025]所述第一角阀12、第一波纹管段15均为DN25；所述第二角阀5和第二波纹管第二角阀5均为DN25；所述真空挡板阀7为DN80。
[0026]本技术开始抽真空时先用慢抽管路11进行抽真空，其余两路关闭。慢抽管路11通过第一角阀12控制通断，第一手动高真空球阀3控制抽速大小。慢抽进行一段时间后主抽介入，慢抽管路11和工艺抽管路8关闭，主抽管路2通过真空挡板阀7控制通断，蝶阀4控制抽速大小。当开始通入反应气体时，主抽管路2和慢抽管路11关闭，只打开工艺抽管路8进行抽真空。
[0027]可以理解的是，以上关于本技术的具体描述，仅用于说明本技术而并非受限于本技术实施例所描述的技术方案，本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本技术进行修改或等同替换，以达到相同的技术效果；只要满足使用需要，都在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于管式PECVD设备的真空抽气管道结构，包括真空泵（1），真空泵（1）上设置有由真空管道（9）及真空管道（9）上的蝶阀（4）和真空挡板阀（7）构成的主抽管路（2），真空管道（9）末端为抽真空口（10），其特征在于：所述真空泵（1）和蝶阀（4）之间设置有慢抽管路（11），慢抽管路（11）末端与抽真空口（10）连通；所述蝶阀（4）和真空挡板阀（7）之间设置有工艺抽管路（8），工艺抽管路（8）末端与抽真空口（10）连通；所述真空管道（9）的口径＞慢抽管路（11）口径＞工艺抽管路（8）口径。2.根据权利要求1所述的一种适用于管式PECVD设备的真空抽气管道结构，其特征在于：所述慢抽管路（11）上设置有第一手动高真空球阀（3）和第一角阀（12）。3.根据权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈晖，周玉龙，孙烨，王玉明，李敦信，张欣，闫宝杰，李轶军，杨宝海，
申请(专利权)人：营口金辰机械股份有限公司，
类型：新型
国别省市：