【技术实现步骤摘要】
一种加工太阳能电池板的氨气加热装置
[0001]本技术涉及到太阳能领域,是一种加工太阳能电池板的氨气加热装置。
技术介绍
[0002]在太阳能电池片生产过程中PECVD工序是利用氨气和硅烷在真空管内离化成等离子体,通过电场的加速作用沉积在硅片表面,形成氮化硅膜层,由于氨气离化需要400度以上的温度,若低于400度,氨气离化不充分,导致颜色不均匀,因此,工艺上需要很长时间来弥补温度上的缺陷,使得产能利用率低,出现颜色色差。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是要提供一种加工太阳能电池板的氨气加热装置。
[0004]本技术是这样来实现的:一种加工太阳能电池板的氨气加热装置,其特征是不锈钢管圆柱体两端与端板A和端板B连接,空心圆柱体A、空心圆柱体B和空心圆柱体C在不锈钢管圆柱体内的两端与端板A和端板B连接,半圆柱体A和半圆柱体B的两端与端板A的半圆孔A及半圆孔B和端板B连接,所述不锈钢管圆柱体填充有石英填料。
[0005]所述端板A有进气孔和出气孔。
[0006]所述不锈钢管圆柱体是直径为210毫米,长度为400毫米的圆柱体。
[0007]所述空心圆柱体A、空心圆柱体B和空心圆柱体C直径为64毫米的空心圆柱体。
[0008]所述石英填料为直径6毫米、长度10毫米的空心圆柱。
[0009]由于采用了上述技术方案,通过加装该装置获得更好的加热效果,充分利用管内热量,不需要增加加热器,用尽可能小的成本完成对氨气的加热。
附图说明
[0010]图1 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种加工太阳能电池板的氨气加热装置,其特征是不锈钢管圆柱体两端与端板A和端板B连接,空心圆柱体A、空心圆柱体B和空心圆柱体C在不锈钢管圆柱体内的两端与端板A和端板B连接,半圆柱体A和半圆柱体B的两端与端板A的半圆孔A及半圆孔B和端板B连接,所述不锈钢管圆柱体填充有石英填料。2.根据权利要求1所述的一种加工太阳能电池板的氨气加热装置,其特征是所述端板A有进气孔和出气孔。3.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:廖昱芯,张小波,
申请(专利权)人:湖北华昶能源科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。