微波等离子化学气相沉积设备用冷却罩制造技术

本实用新型专利技术公开了微波等离子化学气相沉积设备用冷却罩，包括底座，所述底座的顶端两侧边缘处均固定连接有限位滑轨，两个所述限位滑轨共同嵌入滑动连接有罩体，所述罩体的内顶侧开设有顶腔，所述罩体的两端内侧壁内部均开设有侧腔，且侧腔与顶腔之间相互贯通，两个所述侧腔的内侧均嵌入设置有导热管，且两组导热管均延伸至顶腔的内侧，两组所述导热管的顶端之间固定连接。本实用新型专利技术中，通过将空气经过的路径降温，使得散热风机导入的空气被降温，从而使这些低温空气在被吹向微波等离子化学气相沉积设备在罩体时，可快速有效地对微波等离子化学气相沉积设备进行散热，有利于提升散热效率。热效率。热效率。

【技术实现步骤摘要】
微波等离子化学气相沉积设备用冷却罩


[0001]本技术涉及微波等离子化学气相沉积设备配件
，尤其涉及微波等离子化学气相沉积设备用冷却罩。

技术介绍

[0002]微波等离子体化学气相沉积系统是一种用于材料科学领域的工艺试验仪器；
[0003]目前，现有的微波等离子体化学气相沉积设备的散热多是被动式的散热，因此散热效率低，无法解决微波等离子体化学气相沉积设备快速降温散热的效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的微波等离子化学气相沉积设备用冷却罩。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：微波等离子化学气相沉积设备用冷却罩，包括底座，所述底座的顶端两侧边缘处均固定连接有限位滑轨，两个所述限位滑轨共同嵌入滑动连接有罩体，所述罩体的内顶侧开设有顶腔，所述罩体的两端内侧壁内部均开设有侧腔，且侧腔与顶腔之间相互贯通，两个所述侧腔的内侧均嵌入设置有导热管，且两组导热管均延伸至顶腔的内侧，两组所述导热管的顶端之间固定连接，两组所述导热管远离顶腔的一端均贯穿侧腔的内侧壁延伸至外侧并固定连接有排水接口，所述罩体的两端内侧壁均开设有若干散热槽，且散热槽与侧腔之间相互贯通，所述罩体的顶端一侧边缘处固定连接有供水接口，且供水接口贯穿罩体的顶端延伸至顶腔的内侧并与两组导热管的连接处之间固定连接，所述罩体的顶端中间位置固定连接有固定接口，所述固定接口通过螺栓固定连接有散热风机，所述罩体的顶端对应固定接口的位置开设有进气口，且进气口与顶腔之间相互贯通。r/>[0006]作为上述技术方案的进一步描述：
[0007]所述底座的顶端靠近散热槽的两侧均开设有多个排气孔。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述：
[0009]所述底座的底端四角处均固定连接有支撑脚。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：
[0011]所述底座靠近两个限位滑轨端口处的位置开设有定位滑槽，且定位滑槽与两个限位滑轨之间均相互垂直。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述：
[0013]所述定位滑槽嵌入滑动连接有限位侧板，所述限位侧板的一端顶侧固定连接有传动架，所述传动架远离限位侧板的一侧螺纹连接有螺纹手轮，且螺纹手轮与定位滑槽之间嵌入转动连接。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述：
[0015]所述散热风机的入风口处固定连接有过滤网。
[0016]本技术具有如下有益效果：
[0017]该微波等离子化学气相沉积设备用冷却罩，通过将空气经过的路径降温，使得散热风机导入的空气被降温，从而使这些低温空气在被吹向微波等离子化学气相沉积设备在罩体时，可快速有效地对微波等离子化学气相沉积设备进行散热，有利于提升散热效率。
附图说明
[0018]图1为本技术的整体结构示意图；
[0019]图2为本技术的正视结构示意图；
[0020]图3为本技术的限位侧板结构示意图。
[0021]图例说明：1、底座；2、限位滑轨；3、罩体；4、顶腔；5、侧腔；6、导热管；7、散热槽；8、供水接口；9、进气口；10、固定接口；11、排水接口；12、排气孔；13、支撑脚；14、定位滑槽；15、限位侧板；16、螺纹手轮；17、传动架；18、散热风机；19、过滤网。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]参照图1
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3，本技术提供的一种实施例：微波等离子化学气相沉积设备用冷却罩，包括底座1，底座1的顶端两侧边缘处均固定连接有限位滑轨2，两个限位滑轨2共同嵌入滑动连接有罩体3，罩体3的内顶侧开设有顶腔4，罩体3的两端内侧壁内部均开设有侧腔5，且侧腔5与顶腔4之间相互贯通，两个侧腔5的内侧均嵌入设置有导热管6，且两组导热管6均延伸至顶腔4的内侧，两组导热管6的顶端之间固定连接，两组导热管6远离顶腔4的一端均贯穿侧腔5的内侧壁延伸至外侧并固定连接有排水接口11，罩体3的两端内侧壁均开设有若干散热槽7，且散热槽7与侧腔5之间相互贯通，罩体3的顶端一侧边缘处固定连接有供水接口8，且供水接口8贯穿罩体3的顶端延伸至顶腔4的内侧并与两组导热管6的连接处之间固定连接，罩体3的顶端中间位置固定连接有固定接口10，固定接口10通过螺栓固定连接有散热风机18，罩体3的顶端对应固定接口10的位置开设有进气口9，且进气口9与顶腔4之间相互贯通。
[0025]底座1的顶端靠近散热槽7的两侧均开设有多个排气孔12，有利于对微波等离子化
学气相沉积设备的底侧起到一定的透气散热效果；底座1的底端四角处均固定连接有支撑脚13，有利于将底座1撑起，从而便于底座1的排气孔12气体排出；底座1靠近两个限位滑轨2端口处的位置开设有定位滑槽14，且定位滑槽14与两个限位滑轨2之间均相互垂直，将定位滑槽14设置于限位滑轨2的端口处，从而便于使定位滑槽14内的限位侧板15将嵌入罩体3内设备稳定抵住；定位滑槽14嵌入滑动连接有限位侧板15，限位侧板15的一端顶侧固定连接有传动架17，传动架17远离限位侧板15的一侧螺纹连接有螺纹手轮16，且螺纹手轮16与定位滑槽14之间嵌入转动连接，通过转动螺纹手轮16使传动架17带动限位侧板15沿着定位滑槽14进行稳定升降移动；散热风机18的入风口处固定连接有过滤网19，有利于避免散热风机18将外界的灰尘直接导入顶腔4与侧腔5。
[0026]工作原理：在使用微波等离子化学气相沉积设备用冷却罩时，首先在罩体3的供水接口8上接入供水设备的供水端，并在罩体3的排水接口11上接入回流水管，通过供水设备向导热管6内注入冷却用的蒸馏水，使导热管6的表面温度快速降低，同时使顶腔4与侧腔5内的温度快速下降，固定接口10上散热风机18在向顶腔4内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.微波等离子化学气相沉积设备用冷却罩，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶端两侧边缘处均固定连接有限位滑轨（2），两个所述限位滑轨（2）共同嵌入滑动连接有罩体（3），所述罩体（3）的内顶侧开设有顶腔（4），所述罩体（3）的两端内侧壁内部均开设有侧腔（5），且侧腔（5）与顶腔（4）之间相互贯通，两个所述侧腔（5）的内侧均嵌入设置有导热管（6），且两组导热管（6）均延伸至顶腔（4）的内侧，两组所述导热管（6）的顶端之间固定连接，两组所述导热管（6）远离顶腔（4）的一端均贯穿侧腔（5）的内侧壁延伸至外侧并固定连接有排水接口（11），所述罩体（3）的两端内侧壁均开设有若干散热槽（7），且散热槽（7）与侧腔（5）之间相互贯通，所述罩体（3）的顶端一侧边缘处固定连接有供水接口（8），且供水接口（8）贯穿罩体（3）的顶端延伸至顶腔（4）的内侧并与两组导热管（6）的连接处之间固定连接，所述罩体（3）的顶端中间位置固定连接有固定接口（10），所述固定接口（10）通过螺栓固定连接有散热风机（18），所述罩体（3）的顶端对应固定接口（10）的位置开设有进气口...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘华，刘引，
申请(专利权)人：成都华宇微波技术有限公司，
类型：新型
国别省市：