一种应用于真空腔体内新型铝加热板制造技术

本技术提供一种应用于真空腔体内新型铝加热板，涉及真空镀膜技术领域，包括铝合金加热板，所述铝合金加热板包括铝合金电加热板，所述铝合金电加热板的一面安装有辐射加热面，所述铝合金电加热板的顶面设置有铠装加热元件装配面，所述铠装加热元件装配面的表面开设有镶嵌铠装加热元件结构槽，所述镶嵌铠装加热元件结构槽的内壁设置有铠装加热件。本技术中，以铝合金加热板为传热载体，铝合金本身防腐蚀性能优异，导热性能好，发热比较均匀，加之铠装加热件、铝合金盖板及镶嵌铠装加热元件结构槽之间通过钎焊制造方法填充有金属导热又密封的高温绝缘氧化镁，为真空环境提供所需高温加热而又耐腐蚀的铝合金加热板。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜，尤其涉及一种应用于真空腔体内新型铝加热板。

技术介绍

1、目前市场上的铝基加热器主要分几类：1.在一定几何尺寸的铝基体表面加工好一定形状路径的槽，然后将细长不锈钢加热元件埋放槽体内，再将槽口间隔性的用点冲压倒口以防金属电热管脱落。2.在一定几何尺寸的铝基体表面加工好一定形状路径的槽，在加热元件外表面套有一层防腐蚀材料的套管，将不锈钢细长加热元件与有腐蚀性的介质隔离，然后将套有防腐蚀材料的加热元件埋放槽体内，再将槽口间隔性的用点冲压倒口以防金属电热管脱落。3.在一定几何尺寸的铝基体表面加工好一定形状路径的槽，所加工槽深度大于电热管的直径；所述的电热管是一种金属护套管外为壳，内绕有电热丝为发热源，两都之间设有高纯氧化镁绝缘，将金属电热管弯曲外形和路径一致的槽内；进一步将用一块铝板覆盖在电热管表面并与铝基体表相平采用焊接的方式将盖板与铝基体进行搅拌摩擦焊进行密封焊接，以达到保护发热源不与基体外介质接触而防腐蚀目的。

2、而当前的真空镀膜，半导体镀膜一般都需要在一定的真空环境中对镀膜基材进行加热；将几种含有构成沉积膜层材料的单质或化本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种应用于真空腔体内新型铝加热板，包括铝合金加热板(1)，其特征在于：所述铝合金加热板(1)包括铝合金电加热板(101)，所述铝合金电加热板(101)的一面安装有辐射加热面(102)，所述铝合金电加热板(101)的顶面设置有铠装加热元件装配面(103)，所述铠装加热元件装配面(103)的表面开设有镶嵌铠装加热元件结构槽(104)，所述镶嵌铠装加热元件结构槽(104)的内壁设置有铠装加热件(2)，所述镶嵌铠装加热元件结构槽(104)的内壁压紧有铝合金盖板(3)，所述铝合金盖板(3)与镶嵌铠装加热元件结构槽(104)之间填充有钎焊填料(4)，所述铠装加热件(2)包括铠装外护套(204)，...

【技术特征摘要】

1.一种应用于真空腔体内新型铝加热板，包括铝合金加热板(1)，其特征在于：所述铝合金加热板(1)包括铝合金电加热板(101)，所述铝合金电加热板(101)的一面安装有辐射加热面(102)，所述铝合金电加热板(101)的顶面设置有铠装加热元件装配面(103)，所述铠装加热元件装配面(103)的表面开设有镶嵌铠装加热元件结构槽(104)，所述镶嵌铠装加热元件结构槽(104)的内壁设置有铠装加热件(2)，所述镶嵌铠装加热元件结构槽(104)的内壁压紧有铝合金盖板(3)，所述铝合金盖板(3)与镶嵌铠装加热元件结构槽(104)之间填充有钎焊填料(4)，所述铠装加热件(2)包括铠装外护套(204)，所述铠装外护套(204)的内壁安装有铠装加热元件本体(201)，所述铠装加热元件本体(201)内设置有一根或多根的发热丝(203)，所述发热丝(203)的周围填充有高温绝缘氧化镁(202...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋日永，蒋萧，
申请(专利权)人：江苏奥崎电气科技有限公司，
类型：新型
国别省市：