一种应用于真空环境的铝合金加热板制造技术

本实用新型专利技术提供一种应用于真空环境的铝合金加热板，属于真空镀膜技术领域，其包括加热板体；辐射加热面，辐射加热面设置于加热板体的顶部；加热电缆装配面，加热电缆装配面设置于加热板体的底部；以及轮廓线路径槽，轮廓线路径槽设置有多个，多个轮廓线路径槽开设于加热电缆装配面的端面，每个轮廓线路径槽内均嵌入有铠装加热电缆，因为这种焊接原理为机械高速转动产生热量将连续铝压盖板和加热板体缝隙两侧的铝材高温熔化并合为一体，这样形成一个密闭的工艺加热腔体，通过搅拌摩擦焊接工艺，有效降低以应力的集中，同时保证焊接后具良好的机械加工的延伸率，防腐蚀，耐高温，致使材料的经济效率有效提高。材料的经济效率有效提高。材料的经济效率有效提高。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于真空环境的铝合金加热板


[0001]本技术属于真空镀膜
，具体涉及一种应用于真空环境的铝合金加热板。

技术介绍

[0002]电磁加热是通过电子线路板组成部分产生交变磁场、当用含铁质容器放置上面时，容器表面具即切割交变磁力线而在容器底部金属部分产生交变的电流（即涡流），涡流使容器底部的铁原子高速无规则运动，原子互相碰撞、摩擦而产生热能。从而起到加热物品的效果 。因为是铁制容器自身发热，所有热转化率特别高，最高可达到95%。
[0003]目前市场上的铝基加热器主要分几类：
[0004]1.在一定几何尺寸的铝基体表面加工好一定形状路径的槽，然后将细长不锈钢加热元件埋放槽体内，再将槽口间隔性的用点冲压倒口以防金属电热管脱落。
[0005]2.在一定几何尺寸的铝基体表面加工好一定形状路径的槽，在加热元件外表面套有一层防腐蚀材料的套管，将不锈钢细长加热元件与有腐蚀性的介质隔离，然后将套有防腐蚀材料的加热元件埋放槽体内，再将槽口间隔性的用点冲压倒口以防金属电热管脱落。
[0006]3.在一定几何尺寸的铝基体表面加工好一定形状路径的槽，所加工槽深度大于电热管的直径；所述的电热管是一种金属护套管外为壳，内绕有以螺旋形电热丝为发热源，两者之间设有高纯氧化镁绝缘，将金属电热管弯曲外形和路径一致的槽内；进一步将用一块铝板覆盖在电热管表面并与铝基体表相平采用焊接的方式将盖板与铝基体进行密封焊接，以达到保护发热源不与基体外介质接触并增强了传热效果。
[0007]以上结构形式存在以下缺陷：<br/>[0008]（1）当前的真空镀膜，半导体镀膜一般都需要在一定的真空环境中对镀膜基材进行加热，将几种含有构成沉积膜层材料的单质或化合物反应的气体，通过化学反应生成固态物质并沉积在基材上的一种成膜方式；由于这种工艺是在真空环境中需要加热到一定的温度才能完成，加之真空是个特殊的环境；对热量传递有着更高的要求，在热传递的过程中只有热辐射是有效加热，几乎没有热传导和热对流，这就需要加热装备要有比较高温度均匀性，中间温度与四周温度差较小，还要有一定的防腐蚀能力，而现有技术中，加热板体（1）是将不锈钢细长加热元件直接埋进铝合金加热板的槽中；然后在槽口间隔点压倒口，以防不锈钢加热元件脱落出槽口，这样虽然铝合金有一定的防腐蚀能力，但不锈钢加热元件是设置在开口的铝合金槽中，这对不锈钢材料的防腐蚀性能要求高，选用合适的不锈钢防腐蚀材料特别重要，需要同时符合有一定机械加工的延伸率，防腐蚀，耐高温，致使材料的经济效率差。
[0009]（2）是将不锈钢加热元件加套一层防腐蚀氟材料套管，这一层防腐蚀氟材料套管，最高温度260度,所以得到加热板的最高加热温度为260度左右，远远不能达到多数工艺材料的工艺温度350度的要求，再有将套有氟材料的加热元件埋入到前期开好槽的铝板中，直接埋入的不锈钢加热元件到铝板槽中，防腐蚀材料是套在不锈钢加热元件的外壳上在埋入
过程中与铝板槽相切入槽内难免有割开裂现象，一般的加热元件都要6米以上，导致防腐蚀材料的套管与不锈钢加热元件无法保持紧密结合，必须是防腐蚀材料套管内径大于一定数量级的不锈钢加热元件外径才有可能顺利地套上，导致存在温度无法均匀地传递至铝板，使得铝板温度不均匀。
[0010]（3）将铝基体开好一定形状路径的槽，将螺旋形发热丝的金属电热管（以下简称电热管）弯曲成和路径一致的槽内，进一步将用一块铝板覆盖在电热管表面并与铝基体表相平采用焊接的方式将盖板与铝基体进行密封焊接，这种工艺采用电热管工艺是螺旋电阻发热，电热管的电阻丝绕成弹簧状经过拉伸到一定的长度后装入电热管的护套管中，并以填充压实的氧化镁绝缘，这种拉伸弹簧形电阻丝制造工艺有均拉伸不均匀，致使电热管是发热不均匀。

技术实现思路

[0011]本技术的目的在于提供一种应用于真空环境中的铝合金辐射加热板，旨在解决现有技术中，对材料需要过高，导致经济效益差，防腐蚀材料的套管与不锈钢加热元件无法保持紧密结合，导致存在温度无法均匀地传递至铝板，使得铝板温度不均匀，拉伸弹簧形电阻丝制造工艺拉伸不均匀，致使电热管是发热不均匀。
[0012]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0013]一种应用于真空环境中铝合金加热板，包括加热板体；
[0014]辐射加热面，所述辐射加热面设置于加热板体的顶部；
[0015]加热电缆装配面，所述加热电缆装配面设置于加热板体的底部；以及
[0016]轮廓线路径槽，所述轮廓线路径槽设置有多个，多个所述轮廓线路径槽开设于加热电缆装配面的端面，每个所述轮廓线路径槽内均嵌入有铠装加热电缆。
[0017]作为本技术一种优选的方案，多个所述轮廓线路径槽呈回字形分布，由中心向四周分布。
[0018]作为本技术一种优选的方案，每个所述轮廓线路径槽的截面呈“Ω字形”。
[0019]作为本技术一种优选的方案，每个所述铠装加热电缆包括加热电缆护套、氧化镁和直线形电热丝，所述直线形电热丝设置于轮廓线路径槽内，所述轮廓线路径槽的圆周表面套设有加热电缆护套，所述加热电缆护套与直线形电热丝之间填充有氧化镁。
[0020]作为本技术一种优选的方案，所述直线形电热丝为单根或多根发热丝呈直线形捆绑而成。
[0021]作为本技术一种优选的方案，每个所述轮廓线路径槽均插设有连续铝压盖板，所述连续铝压盖板的侧端呈半弧内陷，且所述连续铝压盖板的半弧内陷侧端与铠装加热电缆的圆周表面相贴合。
[0022]作为本技术一种优选的方案，多个所述连续铝压盖板与多个轮廓线路径槽之间均设置有搅拌摩擦焊缝，多个所述搅拌摩擦焊缝通过搅拌摩擦焊接工艺焊接于多个连续铝压盖板和多个轮廓线路径槽之间。
[0023]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0024]1、本方案中，多个搅拌摩擦焊缝通过搅拌摩擦焊接工艺焊接于多个连续铝压盖板和多个轮廓线路径槽之间，因为这种焊接原理为机械高速转动产生热量将连续铝压盖板和
加热板体缝隙两侧的铝材高温熔化并合为一体，这样形成一个密闭的工艺加热腔体，通过搅拌摩擦焊接工艺，有效降低以应力的集中，同时保证焊接后具良好的机械加工的延伸率，防腐蚀，耐高温，致使材料的经济效率有效提高。
[0025]2、本方案中，每个轮廓线路径槽的截面呈“Ω字形”，可以有效与铠装加热电缆贴合，确保轮廓线路径槽与铠装加热电缆的外形紧密贴合，使得热量均匀地传递至铝板，使得铝板温度均匀。
[0026]3、本方案中，直线形电热丝为单根或多根发热丝呈直线形捆绑而成，通过采用非常规螺旋绕制的直线形电热丝，避免采用拉伸弹簧形直线形电热丝制造工艺拉伸不均匀，使得电热管发热均匀。
[0027]4、本方案中，多个轮廓线路径槽呈回字形分布，从加热板体的中心向四周分成多区域单元且间距不等，最外层路径间隙较小，最内层路径间隙较大，通过改变铠装加热电缆的分布路径，在相应单元区域的铠装加热电缆分别为单个控制区域，且铠装加本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于真空环境的铝合金加热板，其特征在于，包括；加热板体（1）；辐射加热面（102），所述辐射加热面（102）设置于加热板体（1）的顶部；加热电缆装配面（103），所述加热电缆装配面（103）设置于加热板体（1）的底部；以及轮廓线路径槽（101），所述轮廓线路径槽（101）设置有多个，多个所述轮廓线路径槽（101）开设于加热电缆装配面（103）的端面，每个所述轮廓线路径槽（101）内均嵌入有铠装加热电缆（2）。2.根据权利要求1所述的一种应用于真空环境的铝合金加热板，其特征在于，多个所述轮廓线路径槽（101）呈回字形分布，由中心向四周分布。3.根据权利要求2所述的一种应用于真空环境的铝合金加热板，其特征在于，每个所述轮廓线路径槽（101）的截面呈“Ω字形”。4.根据权利要求3所述的一种应用于真空环境的铝合金加热板，其特征在于，每个所述铠装加热电缆（2）包括加热电缆护套（201）、氧化镁（202）和直线形电热丝（203），所述直线...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋日永，蒋萧，
申请(专利权)人：江苏奥崎电气科技有限公司，
类型：新型
国别省市：