一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，包括：炉体；以及至少两个密封法兰，两所述密封法兰分别设置于所述炉体沿左右方向两侧；其中，所述炉体与所述密封法兰之间设有防窜动模组。根据本实用新型专利技术，其通过在炉体与所述密封法兰之间可拆卸的安装有防窜动模组，以防止管式PECVD设备在运输过程中出现炉体左右窜动的现象，同时通过在密封法兰表面可拆卸的安装有第一辅助件及第二辅助件，以在安装炉体时对炉体进行支撑，便于炉体的安装，大大提高了工作效率。大大提高了工作效率。大大提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构


[0001]本技术涉及管式PECVD设备领域。更具体地说，本技术涉及一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构。

技术介绍

[0002]在管式PECVD设备领域中，采用不同结构形式的炉体来实现石墨舟的放置是众所周知的。在研究和实现石墨舟的放置的过程中，技术人发现现有技术中的炉体至少存在如下问题：
[0003]首先，现有的炉体在运输过程中会出现左右窜动的现象，运输到达目的点后需要重新调试，浪费时间和人工，同时炉体在运输过程中总是窜动，容易损坏炉体；其次，由于炉体又长又大，在安装炉体的时候，炉体安装过程中比较困难，安装效率低下。
[0004]有鉴于此，实有必要开发一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，用以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中存在的不足之处，本技术的主要目的是，提供一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，其通过在炉体与所述密封法兰之间可拆卸的安装有防窜动模组，以防止管式PECVD设备在运输过程中出现炉体左右窜动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，其特征在于，包括：炉体(11)；以及至少两个密封法兰(12)，两所述密封法兰(12)分别安装于所述炉体(11)沿左右方向两侧；其中，所述炉体(11)与所述密封法兰(12)之间设有防窜动模组(13)。2.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，其特征在于，所述防窜动模组(13)包括：至少两个支撑板(131)，两所述支撑板(131)沿竖直方向设置；以及连接板(132)，其与所述支撑板(131)固定连接；其中，所述连接板(132)与所述炉体(11)之间设有隔离板(133)。3.如权利要求2所述的适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，其特征在于，所述隔离板(133)由聚氨酯材料制成。4.如权利要求2所述的适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，其特征在于，所述隔离板(133)的外周包覆有由聚氨酯材料组成的外层。5.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，其特征在于，还包括：进气法兰模组(14)及...

【专利技术属性】
技术研发人员：程海良，仲冕，陈晖，
申请(专利权)人：苏州拓升智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：