一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，包括：炉体；以及至少两个密封法兰，两所述密封法兰分别设置于所述炉体沿左右方向两侧；其中，所述炉体与所述密封法兰之间设有防窜动模组。根据本实用新型专利技术，其通过在炉体与所述密封法兰之间可拆卸的安装有防窜动模组，以防止管式PECVD设备在运输过程中出现炉体左右窜动的现象，同时通过在密封法兰表面可拆卸的安装有第一辅助件及第二辅助件，以在安装炉体时对炉体进行支撑，便于炉体的安装，大大提高了工作效率。大大提高了工作效率。大大提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构


[0001]本技术涉及管式PECVD设备领域。更具体地说，本技术涉及一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构。

技术介绍

[0002]在管式PECVD设备领域中，采用不同结构形式的炉体来实现石墨舟的放置是众所周知的。在研究和实现石墨舟的放置的过程中，技术人发现现有技术中的炉体至少存在如下问题：
[0003]首先，现有的炉体在运输过程中会出现左右窜动的现象，运输到达目的点后需要重新调试，浪费时间和人工，同时炉体在运输过程中总是窜动，容易损坏炉体；其次，由于炉体又长又大，在安装炉体的时候，炉体安装过程中比较困难，安装效率低下。
[0004]有鉴于此，实有必要开发一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，用以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中存在的不足之处，本技术的主要目的是，提供一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，其通过在炉体与所述密封法兰之间可拆卸的安装有防窜动模组，以防止管式PECVD设备在运输过程中出现炉体左右窜动的现象，同时通过在密封法兰表面可拆卸的安装有第一辅助件及第二辅助件，以在安装炉体时对炉体进行支撑，便于炉体的安装，大大提高了工作效率。
[0006]为了实现根据本技术的这些目的和其它优点，提供了一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，包括：炉体；以及
[0007]至少两个密封法兰，两所述密封法兰分别设置于所述炉体沿左右方向两侧；
[0008]其中，所述炉体与所述密封法兰之间设有防窜动模组。
[0009]优选的是，所述防窜动模组包括：至少两个支撑板，两所述支撑板沿竖直方向设置；以及
[0010]连接板，其与所述支撑板固定连接；
[0011]其中，所述连接板与所述炉体之间设有隔离板。
[0012]优选的是，所述隔离板由聚氨酯材料制成。
[0013]优选的是，所述隔离板的外周包覆有由聚氨酯材料组成的外层。
[0014]优选的是，还包括：进气法兰模组及第一水冷模组，所述进气法兰模组及所述第一水冷模组固定安装于一所述密封法兰表面；
[0015]其中，所述进气法兰模组及所述第一水冷模组的表面设有至少两个第一辅助件，每个所述第一辅助件可拆卸的安装于所述密封法兰表面。
[0016]优选的是，每个所述第一辅助件均由柔性材料制成。
[0017]优选的是，还包括：抽气法兰模组及第二水冷模组，所述抽气法兰模组及所述第二
水冷模组固定安装于另一所述密封法兰表面；
[0018]其中，所述抽气法兰模组及所述第二水冷模组的表面设有至少两个第二辅助件，每个所述第二辅助件可拆卸的安装于所述密封法兰表面。
[0019]优选的是，每个所述第二辅助件均由柔性材料制成。
[0020]上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：本技术通过在炉体与所述密封法兰之间可拆卸的安装有防窜动模组，以防止管式PECVD设备在运输过程中出现炉体左右窜动的现象，同时通过在密封法兰表面可拆卸的安装有第一辅助件及第二辅助件，以在安装炉体时对炉体进行支撑，便于炉体的安装，大大提高了工作效率。
[0021]本技术的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本技术的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本技术的一些实施例，而非对本技术的限制，其中：
[0023]图1为根据本技术一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构的三维结构视图；
[0024]图2为根据本技术一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构另一视角的三维结构视图；
[0025]图3为根据本技术一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构的正视图。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。
[0028]除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0029]在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词是相对于各附图中所示的构造进行定义的，特别地，“高度”相当于从
顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸，它们是相对的概念，因此有可能会根据其所处不同位置、不同使用状态而进行相应地变化，所以，也不应当将这些或者其他的方位用于解释为限制性用语。
[0030]涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接的关系，除非以其他方式明确地说明。
[0031]根据本技术的一实施方式结合图1～3的示出，可以看出，适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，其包括：炉体11；以及
[0032]至少两个密封法兰12，两所述密封法兰12分别设置于所述炉体11沿左右方向两侧；
[0033]其中，所述炉体11与所述密封法兰12之间设有防窜动模组13。
[0034]在优选的实施方式中，所述防窜动模组13可拆卸的安装于所述炉体11与所述密封法兰12之间。
[0035]可理解的是，管式PECVD设备在运输到客户现场时，出现了炉体左右窜动的现象，导致需要在客户现场对设备进行重新调试，浪费了时间及人工，同时炉体总是窜动，容易损坏炉体，增加成本。而本技术提供了一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，其在所述炉体11与所述密封法兰12之间可拆卸的安装有防窜动模组13本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，其特征在于，包括：炉体(11)；以及至少两个密封法兰(12)，两所述密封法兰(12)分别安装于所述炉体(11)沿左右方向两侧；其中，所述炉体(11)与所述密封法兰(12)之间设有防窜动模组(13)。2.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，其特征在于，所述防窜动模组(13)包括：至少两个支撑板(131)，两所述支撑板(131)沿竖直方向设置；以及连接板(132)，其与所述支撑板(131)固定连接；其中，所述连接板(132)与所述炉体(11)之间设有隔离板(133)。3.如权利要求2所述的适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，其特征在于，所述隔离板(133)由聚氨酯材料制成。4.如权利要求2所述的适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，其特征在于，所述隔离板(133)的外周包覆有由聚氨酯材料组成的外层。5.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，其特征在于，还包括：进气法兰模组(14)及...

【专利技术属性】
技术研发人员：程海良，仲冕，陈晖，
申请(专利权)人：苏州拓升智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：