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本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，包括：炉体；以及至少两个密封法兰，两所述密封法兰分别设置于所述炉体沿左右方向两侧；其中，所述炉体与所述密封法兰之间设有防窜动模组。根据本实用新型，其通过在炉体与所述密封法兰之...
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